| 研究課題/領域番号 |
21760263
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 岡山県立大学 |
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研究代表者 |
岸原 充佳 岡山県立大学, 情報工学部, 准教授 (50336905)
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| 連携研究者 |
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (80326298)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管フィルタ / 導波管カプラ |
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| 研究概要 |
本研究は,放射光によるテフロンの微細加工を行い,表面への金属の蒸着を施すことでミリ波やそれ以上のサブミリ波領域の周波数で応用が可能な微細導波管回路素子を構成する技術の開発を試みた.これにより,曲がりや不連続を集積した形状のアイリス結合バンドパスフィルタおよび空気領域ポストを持つ十字形3dB方向性結合器を放射光直接エッチングとAuスパッタ・電解メッキで完成させ,本加工法の有用性を明らかにした.
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