| 研究課題/領域番号 |
21760577
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
辻 俊宏 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (70374965)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
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| キーワード | 超音波原子間力顕微鏡 / レーザー顕微鏡 / 剥離 / スパッタリング成膜 / スピンコート / ボールSAWセンサ / 感度 / 検出限界 / 燃料電池 / 水素ガス / 水蒸気 / 弾性表面波センサ / ZnO / Pt / マグネトロンスパッタリング / 原子間力顕微鏡 |
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| 研究概要 |
デバイスの機能の解明にはサブμm厚さの薄膜の非破壊評価が必要である。そこで剥離が問題となっている弾性表面波の感応膜について、剥離を生じない感応膜の開発と超音波原子間力顕微鏡やレーザー顕微鏡による評価の有用性を実証することを目的とした。センサ感度と膜観察の両面から評価をした結果、ここで開発した感応膜は剥離をおこさず高感度な弾性表面波センサの開発に有用なことがわかった。このように本課題の目的を達成できた。
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