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原子層モアレ超格子系におけるフォノン物性の解明と制御

研究課題

研究課題/領域番号 21H01017
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分13020:半導体、光物性および原子物理関連
研究機関立命館大学

研究代表者

毛利 真一郎  立命館大学, 理工学部, 准教授 (60516037)

研究分担者 荒木 努  立命館大学, 理工学部, 教授 (20312126)
藤井 高志  立命館大学, 総合科学技術研究機構, 教授 (60571685)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2023年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2022年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 12,090千円 (直接経費: 9,300千円、間接経費: 2,790千円)
キーワードモアレ超格子 / フォノン物性 / 熱伝導 / グラフェン / 原子層材料 / 原子層半導体 / 遷移金属ダイカルコゲナイド / MoS2 / フォノン / ツイストグラフェン
研究開始時の研究の概要

グラフェンやMoS2などの原子層材料を積層した『ファンデルワールスヘテロ構造』では、ナノスケールのポテンシャル変調構造である『モアレ超格子構造』が現れ、その電子状態を反映したさまざまな特異物性が発現することで大きな注目を集めている。
本研究では、電子線回折による積層角度の決定とフォノン物性計測を同時に行える実験系を構築し、『原子層の積層とツイストによるナノスケールのポテンシャル変調が新しいフォノン物性発現の場となりうるか?』という課題の解決を目指す。具体的には、TEMグリッド上に架橋ツイスト原子層を作製し、基板の影響を排してツイスト角度の変化に依存した光学特性を解明する。

研究成果の概要

顕微ラマン分光を用いて、グラフェンモアレ超格子系の熱伝導度の角度依存性を調べた。架橋ツイスト2層グラフェンでは積層角度が大きいと熱伝導度が低下する傾向にあることが示された。また、グラフェン/h-BNモアレ超格子系では、わずかな積層角度の変化で熱伝導度が大きく変化することが観測された。フォノン物性変調を目指し、モアレ超格子系への金属ガリウムナノ粒子の蒸着を行ったところ、積層角度によってフォノン物性の変化に違いが出ることが分かった。さらに、周期分極反転構造を利用した原子層材料へのリモートキャリアドーピングにおいて、h-BN中間層の厚みの影響を明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

原子層材料は次世代の省エネ電子デバイス応用のキーになる材料であり、そのフォノン物性や熱物性の解明は、省エネ性能向上に資する点で社会意義が大きい。本研究で、積層角度によって熱伝導度が変化する様子を実験的に明らかにすることができた点は、基礎科学的観点から大きな意義があるとともに、今後の省エネデバイスの設計指針を与える成果でもある。また、金属ナノ粒子の蒸着によりフォノン物性を制御できる可能性を見出した点も応用上重要な成果であると考えている。また、分極反転構造を用いたキャリアドーピングの成果は、低損失な原子層半導体デバイス応用への道を開く成果であり、今後そのデバイス応用にも取り組んでいきたい。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (52件)

すべて 2024 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件) 学会発表 (48件) (うち国際学会 9件) 図書 (1件)

  • [国際共同研究] Rajshahi大学/Dhaka大学/Sheikh Fojilatunnesa Mujib 科学技術大学(バングラデシュ)

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [雑誌論文] 原子層モアレ超格子系におけるフォノン物性制御2024

    • 著者名/発表者名
      毛利真一郎、荒木努
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 93 号: 3 ページ: 174-177

    • DOI

      10.11470/oubutsu.93.3_174

    • ISSN
      0369-8009, 2188-2290
    • 年月日
      2024-03-01
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective isolation of mono to quad layered 2D materials via sonication-assisted micromechanical exfoliation2024

    • 著者名/発表者名
      T. Nakamoto, K. Matsuyama, M. Sakai, C.-T. Chen, Y.-L. Chueh, S. Mouri, T. Yoshimura, N. Fujimura, D. Kiriya
    • 雑誌名

      ACS NANO

      巻: 18 号: 3 ページ: 2455-2463

    • DOI

      10.1021/acsnano.3c11099

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Van der Waals epitaxy of Transferable InGaN Thin Film by RF-MBE Method2024

    • 著者名/発表者名
      Riku Nambu, Shota Hattori, Tsutomu Araki, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      第66回フラーレンナノチューブグラフェン学会総合シンポジウム(FNTG)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Impact of Twist Angle for Raman Shift of Suspended Twisted Bilayer Graphene by Metal Deposition2024

    • 著者名/発表者名
      Shinichiro Mouri, Yuta Kawase, Riku Nanbu, Kosei Beniya, Yusuke Kodama, Tsutomu Araki
    • 学会等名
      第66回フラーレンナノチューブグラフェン学会総合シンポジウム(FNTG)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Growth of MoS2 on Al1-xTixOy by Chemical Vapor Deposition2024

    • 著者名/発表者名
      Koshiro Kawakami, Syunsuke Yamamura, Abdul Kuddus, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      第66回フラーレンナノチューブグラフェン学会総合シンポジウム(FNTG)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Performance Analysis of MoS2/WSe2 Complementary Field-Effect Transistors2024

    • 著者名/発表者名
      Yeasin Arafat Pritom, Abdul A Kuddus, Jaker Hossain, Md Rasidul Islam, Shinichiro Mouri, Mainul Hossain
    • 学会等名
      2024年春季第71回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ミストCVD法によるα-Ga2O3のリモートヘテロエピタキシー2024

    • 著者名/発表者名
      神田 将熙、金子 健太郎、毛利 真一郎
    • 学会等名
      2024年春季第71回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Nanolaminated Mist CVD High-κ AlOx/TixAl1-xOy/TiO2 films on P+-Si for TMDCs-MOSFETs2024

    • 著者名/発表者名
      Abdul A Kuddus, Kojun Yokoyama, Mainul Hossain, Jaker Hossain, Rasidul Islam, keiji Ueno, Shinichiro Mouri, Hajime Shirai
    • 学会等名
      2024年春季第71回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] MBE法を用いたファンデルワールスエピタキシーによる転写可能なInGaN成長2024

    • 著者名/発表者名
      南部 利矩、服部 翔太、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      2024年春季第71回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Modulation of carrier density of 1L-MoS2 using periodically polarization-inversed structure2023

    • 著者名/発表者名
      Kaipeng Rong, Ryosuke Noro, Hayato Nishigaki, Mingda Ding, Yao Yao, Taiki Inoue, Ryuji Katayama, Yoshihiro Kobayashi, Kazunari Matsuda, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      The 23th International Conference on the Science and Applications of Nanotubes and Low-Dimensional Materials (NT23)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 二酸化炭素をエッチングガスとして用いた窒化ガリウム上へのグラフェンCVD成長2023

    • 著者名/発表者名
      植野 康大, 薮田 翔平, 荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] GaN上形成ピットを活用したMoS2のCVD成長2023

    • 著者名/発表者名
      流石 新生,河瀬 流星,荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Few-Layer MoS2 and WS0.3Se1.7 on AIN and AlTiO/P+-Si for Energy Device Applications2023

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, K. Yokoyama, K. Ueno, H. Shirai, S. Mouri
    • 学会等名
      Graphene 2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mist CVD Atomic Few-Layer 2D Transition Metal-Dichalcogenides: MoS2,WS2 and WS2Se2-x for Electronic and Photovoltaic Devices2023

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, K. Yokoyama, K. Ueno, S. Mouri, H. Shirai
    • 学会等名
      2D Transition metal dichalcogenides
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Few-Layer WS2Se2-x on High-κ AlxTi1-xOy Dielectric Using Consistent Mist CVD and Applied in MOSFETs Devices2023

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, K. Yokoyama, K. Ueno, S. Mouri, H. Shirai
    • 学会等名
      第65回フラーレンナノチューブグラフェン学会総合シンポジウム(FNTG)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Remote charge density modulation of monolayer MoS2 using periodically polarization-inversed ferroelectric substrate2023

    • 著者名/発表者名
      Kaipeng Rong, Ryosuke Noro, Hayato Nishigaki, Mingda Ding, Yao Yao, Taiki Inoue, Ryuji Katayama, Yoshihiro Kobayashi, Kazunari Matsuda, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      第65回フラーレンナノチューブグラフェン学会総合シンポジウム(FNTG)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] CVD法による架橋2層h-BN上へのグラフェンナノ構造成長2023

    • 著者名/発表者名
      利根川 舜、河瀬 裕太、毛利 真一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Remote charge modulation effect of monolayer MoS2 using periodically polarization-inverted structure and hBN spacer layer2023

    • 著者名/発表者名
      Kaipeng Rong, Ryosuke Noro, Hayato Nishigaki, Mingda Ding, Yao Yao, Taiki Inoue, Ryuji Katayama, Yoshihiro Kobayashi, Kazunari Matsuda, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      JSPA-OSA jyoint symposia 2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Decomposition and Size Distribution Monitoring of AlTiO and MoS2 Precursor Mist Particles using a Fast-Scanning Mobility Particle Sizer2023

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, K. Yokoyama, K. Ueno, S. Mouri, H. Shirai,
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Thermal conductivity of graphene/h-BN moire superlattice2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kodama, J. Doi, S. Mouri
    • 学会等名
      The 42nd Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Spatial and remote charge density modulation methodfor MoS2 using periodically polarization inversed MgO: LiNbO32023

    • 著者名/発表者名
      Kaipeng Rong, Ryosuke Noro, Hayato Nishigaki, Mingda Ding, Yao Yao, Taiki Inoue, Ryuji Katayama, Yoshihiro Kobayashi, Kazunari Matsuda, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Direct Synthesis of MoS2 and WS2Se2-x on High-κ AlxTi1-xOy Using Mist CVD Toward Transfer-free MOSFETs Devices2023

    • 著者名/発表者名
      Abdul Kuddus, Kojun Yokoyama, Keiji Ueno, Shinichiro Mouri, Hajime Shirai
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mist CVD Modulated High-κ a-Al1-xTixOy Films for p-WS0.3Se0.7-channel MOSFETs2023

    • 著者名/発表者名
      Abdul Kuddus, Kojun Yokoyama, Keiji Ueno, Shinichiro Mouri, Hajime Shirai
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CVD成長による窒化物半導体上へのMoS2直接成長における基板アニーリング効果2023

    • 著者名/発表者名
      河瀬 流星, 流石 新生, Kuddus Abdul, 三宅 秀人, 荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      第52回結晶成長国内会議
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Ar/O2キャリアガスを用いた窒化物半導体上へのMoS2のCVD成長2023

    • 著者名/発表者名
      河瀬 流星、流石 新生、Rong Kaipeng、Kuddus Abdul、三宅 秀人、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      2023年春季第70回応用物理学会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Synthesis of Few-layer 2D Transition Metal-Dichalcogenides for Electronics and Optoelectronics: A2023

    • 著者名/発表者名
      Abdul A Kuddus、Kojun Yokoyama、Shinichiro Mouri、Hajime Shirai
    • 学会等名
      2023年春季第70回応用物理学会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Growth of Nanographene on the Suspended Bilayer h-BN Membrane2023

    • 著者名/発表者名
      Shun TONEGAWA, Yuta KAWASE, Tomohiro ASADA, Shinichiro MOURI
    • 学会等名
      The 64st Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Doping effect of MoS2 using periodically polarization-inversed structure2023

    • 著者名/発表者名
      Kaipeng Rong, Ryosuke Noro, Hayato Nishigaki, Mingda Ding, Yao Yao, Taiki Inoue, Ryuji Katayama, Yoshihiro Kobayashi, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      The 64st Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] CVD法によるGaN上への原子層半導体MoS2成長 における基板極性の影響2022

    • 著者名/発表者名
      河瀬 流星, 流石 新生, Rong Kaipeng, 荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      第14回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Surface Potential Measurement of MoS2 on Ga-face and N-face GaN substrates by KFM2022

    • 著者名/発表者名
      K. Rong, T. Araki, and S. Mouri
    • 学会等名
      41th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 二酸化炭素を炭素源とする窒化ガリウム上へ のグラフェン成長へ向けた検討2022

    • 著者名/発表者名
      浅田 智浩、植野 康大、薮田 翔平、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 金属ナノ粒子の蒸着による架橋2層グラフェンラマンスペクトルの変調2022

    • 著者名/発表者名
      河瀬 裕太、多田村 充、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] KFMによる+c面及び-c面GaN基板上MoS2の表面電位測定2022

    • 著者名/発表者名
      栄 凱蓬、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 自立GaN基板上にRF-MBE法で再成長したGaNの発光特性2022

    • 著者名/発表者名
      中山 大輝、今村 涼、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Surface Potential Measurement of MoS2 on +c-plane and -c-plane GaN substrates by KFM2022

    • 著者名/発表者名
      Kaipeng Rong, Tsutomu Araki, Shinichiro Mouri
    • 学会等名
      The 63st Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] KPFMによるGaN基板上MoS2の表面電位測定2022

    • 著者名/発表者名
      RONG KAIPENG、小路 悠馬、荒木 努、毛利 真一郎
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] アルコールCVD法を用いたGaN上への酸化グラフェン成長2022

    • 著者名/発表者名
      薮田翔平, 河瀬流星, 荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      2022年春季第69回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] THz-TDSEを用いたr面サファイア基板上グラフェンの電気的特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木 拓輝, 渡邉 迅登, 藤井 高志, 毛利 真一郎, 岩本 敏志, 福西 康寛, 成塚 重弥, 荒木 努
    • 学会等名
      2022年春季第69回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Supported Substrate on van der Waals Epitaxy of Nitride Semiconductors on Graphene by MBE2021

    • 著者名/発表者名
      S. Mouri, K. Matsushima, Y. Kawase, T. Araki
    • 学会等名
      NT21: International Conference on the Science and Application of Nanotubes and Low-Dimensional Materials
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] アルコールCVD法を用いたnon-Bernal積層グラフェンの作製2021

    • 著者名/発表者名
      浅田 智浩, 薮田 翔平, 荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      日本材料学会 2021年度第2回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 透過電子顕微鏡を用いたScAlMgO4基板上RF-MBE 成長GaN の極微構造評価2021

    • 著者名/発表者名
      和田 邑一, 黒田 悠弥, 栢本 聖也, 後藤 直樹, 藤井 高志, 毛利 真一郎, 白石 裕児, 福田 承生, 荒木 努
    • 学会等名
      日本材料学会 2021年度第2回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Metal Deposition on a Suspended Graphene Surface2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Kawase, K. Matsushima, J. Doi, T. Araki, S. Mouri
    • 学会等名
      The 61st Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] THz-TDSエリプソメトリを用いたグラフェンの電気的特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      鈴木 拓輝, 藤井 高志, 毛利 真一郎, 岩本 敏志, 上田 悠貴, 成塚 重弥, 中嶋 誠, 荒木 努
    • 学会等名
      2021年秋季第82回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] ラマン分光を用いた架橋ツイスト2層グラフェンの熱伝導測定2021

    • 著者名/発表者名
      土井 惇太郎, 荒木 努, 毛利 真一郎
    • 学会等名
      日本物理学会2021年秋季大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] AlNテンプレート基板上にRF-MBE法で成長したInNの発光特性2021

    • 著者名/発表者名
      中山 大輝, 毛利真一郎, 福田安莉, 高林佑介, 正直花奈子, 三宅秀人, 荒木努
    • 学会等名
      2021年秋季第82回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 架橋グラフェン上における窒化インジウムのファンデルワールスエピタキシー2021

    • 著者名/発表者名
      河瀬裕太, 松島健太, 土井惇太郎, 荒木努, 毛利真一郎
    • 学会等名
      2021年秋季第82回応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Growth and Raman Characterization of Non-Bernal Stacking Few-Layer Graphene by Alcohol CVD Method2021

    • 著者名/発表者名
      T. Asada, S. Yabuta, T. Araki and S. Mouri
    • 学会等名
      40th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Photoluminescence Properties of MBE-Regrown GaN on Free-Standing GaN Substrate2021

    • 著者名/発表者名
      D.Nakayama, R. Imamura, T. Araki, S. Mouri
    • 学会等名
      40th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Surface Potential of MoS2 Depending on the Polarity of GaN Substrate Measured by Kelvin Probe Force Microscope2021

    • 著者名/発表者名
      R. Kaipeng, Y. Komichi, T. Araki and S. Mouri
    • 学会等名
      The 12th Recent Progress in Graphene and Two-dimensional Materials Research Conference (RPGR 2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] グラフェン上での InN MBE 成長における窒素プラズマ照射時間の検討2021

    • 著者名/発表者名
      松島健太、土井惇太郎、荒木努、毛利真一郎
    • 学会等名
      第13回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [図書] ラマン分光 スペクトルデータ解析事例集 ~高分子、電池、電子デバイス、炭素材料、ガラス、医薬品、食品、細胞・組織~, 第7章,第8節2022

    • 著者名/発表者名
      毛利真一郎(分担執筆:第7章、第8節)
    • 総ページ数
      405
    • 出版者
      株式会社技術情報協会
    • ISBN
      9784861048722
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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