| 研究課題/領域番号 |
21K04100
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21030:計測工学関連
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
野里 英明 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長 (60415726)
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| 研究分担者 |
下田 智文 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 (60880763)
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| 研究期間 (年度) |
2021-04-01 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2023年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2022年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2021年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 三軸加速度センサ / 評価技術 / デジタル出力 / 微小変位 / レーザ干渉計 / 加速度センサ / 微小変位計測 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では、「①三軸微小変位発生装置の開発とそれを計測するレーザ干渉計のノイズ低減、および長時間計測への対応」、「②加速度センサから出力されるデジタル信号とレーザ干渉信号の同期計測」、「③三台のヘテロダイン式レーザ干渉計の応答性を評価して、デジタイザ出力型三軸加速度センサへ入力される正確な三軸方向の変位測定」を行い、デジタル出力型三軸加速度センサを評価可能な三軸微小変位計測システムを開発する。
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| 研究成果の概要 |
低ノイズのMEMS三軸加速度センサへの入力値を測定するレーザ干渉計や信号収録装置・プログラムを改良した。またホプキンソン棒に対して、積層型圧電素子を用いた再現性の高い微小変位の発生可能な電気的な加振方法を開発した。さらに、SPIのデジタル信号を収録するモジュールと振動変位を計測するレーザ干渉信号を収録するモジュールの同期計測を可能とし、デジタル出力型加速度センサの感度だけでなく、位相シフトも評価可能なシステムを製作した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年ダムやビル、橋梁等の社会インフラの老朽化が進んでおり、我が国の社会問題となっている。これら社会インフラの劣化診断を行う有力なツールの一つとして、安価で大量生産が可能となってきたMEMS型加速度センサを用いた常時モニタリングがある。そのため、低周波で微小変位を計測するためのMEMS三軸加速度センサの周波数応答に対する評価技術を確立することは重要な技術課題である。
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