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on-terraceグラフォエピタキシによる有機ナノワイヤ成長機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 21K04144
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関大阪工業大学

研究代表者

廣芝 伸哉  大阪工業大学, 工学部, 准教授 (40635190)

研究分担者 熊代 良太郎  東北大学, 材料科学高等研究所, 特任准教授 (00396417)
良知 健  地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 機械・材料技術部, 主任研究員 (70521037)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2023年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2022年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2021年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードナノワイヤ / 有機薄膜成長 / 斜入射X線回折 / 分子動力学シミュレーション / 初期形成過程 / ナノ構造評価 / チエノチオフェン / ナノ構造制御 / グラフォエピタキシ / 薄膜成長 / GIXD / MDシミュレーション / 有機グラフォエピタキシ / 有機半導体 / リソグラフィ技術 / 有機半導体ナノワイヤ / 有機トランジスタ
研究開始時の研究の概要

本研究では、サイズ制御性を有した有機半導体ナノワイヤ(NW)の基板上に配列構造を可能とする作製技術を確立する。p型、n型、HOMO-LUMO準位の異なる多種多様な分子系に対し、有機半導体NWの基板温度,蒸着速度など各種作製パラメータの違いによる形成過程を比較する。実験結果と理論モデルの比較を行い有機半導体NWの成長過程と制御指針を明らかにする。 また、作製した基板上に配列した有機半導体NWの両端に金属電極を形成し電界効果トランジスタ(FET)構造の作製を行い、そのFETデバイス特性および分光特性など各種物性評価を実施し、有機半導体NWデバイス作製技術の基礎技術を確立する。

研究成果の概要

本研究では、有機半導体ナノワイヤ(NW)のサイズ制御性を有し、基板上に配列構造の構築を可能とする作製技術を確立する。p型、n型、HOMO-LUMO準位の異なる多種多様な分子系に対しNW作製技術の確立を目指し研究を推進した。また、有機半導体NWの形成過程を実験的に調査し、分子動力学シミュレーションを適応する事により、分子性固体の結晶成長過程とその制御指針を明らかにした。また、作製した基板上に配列した均一な有機半導体NWのトランジスタ特性、発光特性などデバイス物性評価を目指し、有機半導体NWデバイス作製技術の基礎パラメータの決定と成長モデルを構築した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究において分子動力学シミュレーションを適応する事により、分子性固体の結晶成長過程とその制御指針を明らかにした。有機半導体デバイス作製技術の基礎パラメータの決定と成長モデルを構築した.その結果,有機半導体NWの形成はこれまで考えられたいた以上に,多くの制御パラメータが存在することが明らかとなった.有機半導体デバイス作製において重要な,高い電界効果移動度を示すチエノチオフェン系材料の初期過程を明快に解明したことは特筆に値し,今後の高移動度を示す有機FET作製に有益な基礎知見を提供した.また,MDシミュレーションと組み合わせた薄膜成長のシミュレーション技術も構築した.

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (32件)

すべて 2024 2023 2022 2021 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (17件) (うち国際学会 1件、 招待講演 4件) 備考 (7件)

  • [雑誌論文] MOD法によるガラス基板上へのVO<sub>2</sub>薄膜の低温成膜2024

    • 著者名/発表者名
      Hideo Wada, Taito Fukawa, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike, Masami Kawahara
    • 雑誌名

      材料

      巻: 73 号: 2 ページ: 172-177

    • DOI

      10.2472/jsms.73.172

    • ISSN
      0514-5163, 1880-7488
    • 年月日
      2024-02-15
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 腎機能指標クレアチニン検出用酵素膜の作製と拡張ゲートFET型バイオセンサー応用2023

    • 著者名/発表者名
      廣芝伸哉,牧野賀成,道端 涼,広藤裕一,小池一歩
    • 雑誌名

      電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌)

      巻: 143 号: 4 ページ: 498-503

    • DOI

      10.1541/ieejeiss.143.498

    • ISSN
      0385-4221, 1348-8155
    • 年月日
      2023-04-01
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MOD法によるガラス基板へのVO<sub>2</sub>薄膜成長と特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      和田英男,扶川泰斗,豊田和晃,小山政俊,廣芝伸哉,小池一歩
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 143 号: 2 ページ: 54-62

    • DOI

      10.1541/ieejfms.143.54

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 年月日
      2023-02-01
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Early Stage Growth Process of Dinaphtho[2,3‐b:2',3'‐f]thieno[3,2‐b]thiophene (DNTT) Thin Film2023

    • 著者名/発表者名
      Hiroshiba Nobuya、Kawano Yuta、Ongko Richard、Matsubara Ryosuke、Kubono Atsushi、Kojima Hirotaka、Koike Kazuto
    • 雑誌名

      physica status solidi (a)

      巻: 220 号: 24 ページ: 2300252-2300252

    • DOI

      10.1002/pssa.202300252

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of the VO2 thin films grown on glass substrates by MOD2023

    • 著者名/発表者名
      Hideo Wada, Taito Fukawa, Kazuaki Toyota, Masatoshi Koyama, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike
    • 雑誌名

      Electronics and Communications in Japan

      巻: 143 号: 3 ページ: 54-62

    • DOI

      10.1002/ecj.12403

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Broadband infrared absorption spectroscopy of low-frequency inter-molecular vibrations in crystalline poly(L-lactide)2023

    • 著者名/発表者名
      Hiroshiba Nobuya、Akiraka Mitsuru、Kojima Hirotaka、Ohnishi Satoshi、Ebata Atsushi、Tsuji Hideto、Tanaka Saburo、Koike Kazuto、Ariyoshi Seiichiro
    • 雑誌名

      Physica B: Condensed Matter

      巻: 649 ページ: 414488-414488

    • DOI

      10.1016/j.physb.2022.414488

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Broadband terahertz spectroscopy of enantiomeric polylactide2023

    • 著者名/発表者名
      Ohnishi S.、Hiroshiba N.、Ebata A.、Ohnishi B.、Tsuji H.、Tanaka S.、Ariyoshi S.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SG ページ: SG1003-SG1003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acaecf

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Temperature dependent poly(l-lactide) crystallization investigated by Fourier transform terahertz spectroscopy2021

    • 著者名/発表者名
      S. Ariyoshi, S. Ohnishi, H. Mikami, H. Tsuji, Y. Arakawa, S. Tanaka, and N. Hiroshiba
    • 雑誌名

      Materials Advances

      巻: 2 号: 14 ページ: 4630-4633

    • DOI

      10.1039/d1ma00195g

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 有機メモリ応用を目指したHZOゲート絶縁膜上へのTIPS-ペンタセン成膜2024

    • 著者名/発表者名
      北村 太慈、山本 英資、河野 裕太、小池 一歩、丸山 伸伍、廣芝 伸哉
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 ( 東京都市大学 世田谷キャンパス )
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 対向ターゲット式スパッタ法で作製したHf0.5Zr0.5O2 薄膜上へのTIPS-Pentacene 薄膜作製と構造評価2024

    • 著者名/発表者名
      河野 裕太、北村 太慈、山本 英資、丸山 伸伍、小池 一歩、廣芝 伸哉
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 2023年度第3回講演会 ( 産業技術総合研究所 関西センター )
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] DNTT薄膜初期形成過程のダイナミクス2023

    • 著者名/発表者名
      廣芝 伸哉
    • 学会等名
      有機分子バイオエレクトロニクス分科会 2023年6月研究会「次世代に向けた有機分子・バイオエレクトロニクス最新研究」
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Hf0.5Zr0.5O2ゲート絶縁膜上へのTIPS-Pentacene溶液塗布成膜2023

    • 著者名/発表者名
      河野 裕太,北村 大慈,豊田 和晃,丸山 伸伍,小池 一歩,廣芝 伸哉
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 2023年 第1回講演会(大阪大学 吹田キャンパス)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Hf0.5Zr0.5O2絶縁膜上へ溶液塗布成膜したTIPS-ペンタセン薄膜の構造評価2023

    • 著者名/発表者名
      河野裕太,北村太慈,山本英資,小池一歩,丸山伸伍,廣芝伸哉
    • 学会等名
      電気学会 電子材料研究会 ( グランフロント大阪ナレッジキャピタル カンファレンスルームB07 )
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 拡張ゲートFET型クレアチニンセンサーの作製と性能評価2023

    • 著者名/発表者名
      道端 涼, 日後 太一, 前川 英輝, 楯 凱貴, 山本 青依, 広藤 裕一, 廣芝 伸哉, 小池 一歩
    • 学会等名
      電気学会 電子材料研究会 ( グランフロント大阪ナレッジキャピタル カンファレンスルームB07 )
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 溶液塗布熱分解法による酸化バナジウム薄膜の作製と高感度pHセンサー応用2023

    • 著者名/発表者名
      楯 凱貴,道端 涼,山本 青依,広藤 裕一,熊代 良太郎, 小池 一歩,廣芝 伸哉
    • 学会等名
      電気学会 電子材料研究会 ( グランフロント大阪ナレッジキャピタル カンファレンスルームB07 )
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 有機薄膜の真空蒸着成膜:実験と計算からのアプローチ2022

    • 著者名/発表者名
      廣芝伸哉
    • 学会等名
      第2回分子エレクトロニクス若手研究会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 拡張ゲート電界効果トランジスターを用いたクレアチニンセンサーの作製(Ⅱ)2022

    • 著者名/発表者名
      道端 涼,牧野 賀成,楯 凱貴,広藤 裕一,廣芝 伸哉,小池 一歩
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会 ( 東北大学 川内北キャンパス )
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 低速蒸着法によるジナフトチエノチオフェン(DNTT)薄膜の成長過程2022

    • 著者名/発表者名
      廣芝 伸哉、河野 裕太、塩見 天利、オンコ リチャード、松原 亮介、久保野 敦史、小池 一歩
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会 ( 東北大学 川内北キャンパス )
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] クレアチニンを対象とした拡張ゲート電界効果トランジスター型バイオセンサーの作製と性能評価2022

    • 著者名/発表者名
      道端 涼,牧野 賀成,広藤 裕一,廣芝 伸哉,小池 一歩
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部第1回講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Early stage growth process of dinaphtho[2, 3-b:2', 3'-f]thieno[3, 2-b]thiophene (DNTT) thin film by slow deposition method2022

    • 著者名/発表者名
      Nobuya Hiroshiba, Yuta Kawano, Richard Ongko, Kazuto Koike, Ryosuke Matsubara, Atsushi Kubono, and Hirotaka Kojima
    • 学会等名
      The 13th International Conference on Nano-Molecular Electronics (ICNME2022)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] on-terraceグラフォエピタキシとナノ構造作製2021

    • 著者名/発表者名
      廣芝伸哉
    • 学会等名
      電気学会 エマージングフレキシブルデバイス材料技術調査専門委員会 第4回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ポリ乳酸のテラヘルツ分光と分子動力学計算2021

    • 著者名/発表者名
      廣芝伸哉
    • 学会等名
      応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会 6月研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 拡張ゲート電界効果トランジスターを用いたバイオセンサー2021

    • 著者名/発表者名
      小池一歩,広藤裕一,廣芝伸哉
    • 学会等名
      令和3年電気関係学会関西連合大会,同志社大学
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 腎機能指標クレアチ二ンを対象としたFET 型バイオセンサー開発に向けた酵素膜の作製と評価2021

    • 著者名/発表者名
      牧野賀成, 平木健太, 道端涼, 広藤裕一, 廣芝伸哉, 小池一歩
    • 学会等名
      令和3年度日本材料学会半導体エレクトロニクス部門第一回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] MOD 法による Nb,Ta 添加 VO2成膜における相転移温度の低温化2021

    • 著者名/発表者名
      扶川泰斗, 林 翔太, 小池一歩, 廣芝伸哉, 和田英男, 河原正美
    • 学会等名
      第30回 日本赤外線学会研究発表会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [備考] 廣芝伸哉(リサーチマップ)

    • URL

      https://researchmap.jp/nhiroshiba

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [備考] 大阪工業大学 工学部電子情報システム工学科 物質応用ナノシステム研究室

    • URL

      https://www.oit.ac.jp/laboratory/room/390

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [備考] 物質応用ナノシステム研究室

    • URL

      https://hiro48n.wixsite.com/hiroshiba-lab

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [備考] 大阪工業大学 廣芝研究室HP

    • URL

      https://hiro48n.wixsite.com/hiroshiba-lab

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [備考] researchmap

    • URL

      https://researchmap.jp/nhiroshiba/

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [備考] 大阪工業大学 OIT研究室ナビ(物質応用ナノシステム研究室)

    • URL

      https://www.oit.ac.jp/laboratory/room/390

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [備考] 大阪工業大学 物質応用ナノシステム(廣芝)研究室

    • URL

      https://hiro48n.wixsite.com/hiroshiba-lab

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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