| 研究課題/領域番号 |
21K14053
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| 研究種目 |
若手研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
本山 央人 東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 助教 (00822636)
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| 研究期間 (年度) |
2021-04-01 – 2023-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2021年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | 高次高調波 / EUVミラー / EUV / レーザー加工 / 光学素子 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
極端紫外領域(波長10~30 nm)のフェムト秒光パルスを高精度な非球面集光素子でサブミクロンサイズまで集光して固体試料に照射することにより，ナノメートルレベルの空間分解能を有するレーザー加工プロセスを確立する．加工閾値を超えるフルエンスを実現するために極端紫外光発生プロセスを最適化して光源強度を増強する．また，加工痕形状のフルエンス依存性を調査し，ナノメートル分解能を実現するための最適照射条件を探索する．
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は、フェムト秒EUVレーザーを用いたナノメートル分解能レーザー加工の確立である。フェムト秒レーザーの高次高調波としてEUVレーザーを発生させ、高精度に加工したWolterミラーでサブミクロンサイズまで集光し、試料表面に照射する。種々の金属試料に対して加工テストを実施し、照射箇所を原子間力顕微鏡で計測したところ、サブミクロン加工が進行していることを確認した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の成果により、フェムト秒EUVレーザーを用いた物質のナノメートル分解能レーザー加工が可能であることが実証された。EUVは、物質への光侵入深さが極めて短いことから、可視光よりも少ないパルスエネルギーで加工を進行させることができる。すなわち、被加工物へと投入される熱量を低減させることができる。加工装置全体を真空中に設置する必要があるものの、熱影響を避ける必要のある微細加工の需要に応えうる技術であり、産業応用への展開が期待される。
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