| 研究課題/領域番号 |
21K18618
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| 研究種目 |
挑戦的研究(萌芽)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
中区分14:プラズマ学およびその関連分野
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
比村 治彦 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 教授 (30311632)
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| 研究分担者 |
三瓶 明希夫 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 准教授 (90379066)
神吉 隆司 海上保安大学校(国際海洋政策研究センター), 国際海洋政策研究センター, 教授 (40524468)
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| 研究期間 (年度) |
2021-07-09 – 2023-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
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| 配分額 *注記 |
6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2022年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2021年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
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| キーワード | 高周波プラズマ / ナノプロセス装置 / 反応性粒子 / 3次元微細加工技術 / 負イオン / ナノプロセス / 反応性イオン / リモートプラズマ / 一様エネルギー / プラズマナノプロセス |
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| 研究開始時の研究の概要 |
世界はテレワークが普通に行われる時代へと急変し、世界中で大量のメモリーが必要とされている。小さくて容量の大きなメモリーを作るためには、ナノメートルの長さで正確な3次元の造作技術が必要である。ところが、ナノメートルで超微細な改質や加工を行う普遍的な方法がない。本研究では、電気的中性条件が破れた非中性プラズマ研究を通じて得た知見を反応性プラズマから負イオンだけを抽出する技術と荷電粒子ビームを電磁場で正確に制御する技術に組み合わせる。これより、エネルギーが揃えられた反応性負イオンによって原子層内の元素濃度と位置を制御して、多積層の立体ナノ構造を正確に加工する新しいナノプロセス方式の創成に挑戦する。
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| 研究成果の概要 |
スマートフォンなどの電子機器の小型化や高性能化に伴い、それら電子機器内で使われる部品の大きさはナノメートル（髪の毛の太さの1000分の1程度）にまで微細化されている。このような微細な部品の加工は原子が10層程度重なりあうレベルの小ささのため、この加工には反応性の原子やイオンが用いられるのが現在の主流である。しかし、これら反応性粒子をプラズマから作り出すと、それらの粒子、特に反応性イオンが様々な速度をもつ。そこで、本研究では、この速度のバラツキを抑えて均一にする加工方法を探求した。研究の結果、900MHz帯の高周波を用いるプラズマ生成から均一なイオンを引き出すことができそうなことを突き止めた。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
世界はテレワークやビッグデータの時代に入っている。このために、人類は21世紀で大量のメモリや電子機器を必要としている。同じスペースで大容量メモリを作り出すためには、メモリの形を2次元平面型から3次元立体型にする必要がある。ここに新しい微細立体加工技術が求められており、そのための一つが本研究テーマであった。本研究でそのような新しい微細立体加工技術を実現する端緒につくことができた。この研究をさらに進化させて、カーボンニュートラルとも併せたタイムスケジュールで実機へと展開させる目途も得た。
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