• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

自転/公転型研磨法による高精度形状修正研磨の研究

研究課題

研究課題/領域番号 22360062
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関群馬大学 (2011-2012)
秋田県立大学 (2010)

研究代表者

林 偉民  群馬大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60321840)

研究分担者 藤本 正和  秋田県立大学, システム科学技術学部, 助教 (00581290)
呉 勇波  秋田県立大学, システム科学技術学部, 教授 (10302176)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2011年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円)
2010年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円)
キーワード機械工作・生産工学 / 加工学 / 精密研磨 / 精密部品加工 / 修正研磨加工 / 砥石 / 固定砥粒研磨 / 超音波援用研磨 / 研磨工具 / 研磨砥石 / 研磨エリア
研究概要

本提案研究は光学部品や高精度金型部品の高精度,安定的な研磨加工法のための新しい研磨法である自転/公転型研磨法を提案した.本研究において,自転/公転型研磨法の原理を明らかにし,自転/公転型研磨ユニットを試作した.また,試作した研磨装置による研磨実験を行い,ガラス材料や金型材料を対象に基礎研磨実験を行った.各種研磨実験により研磨加工効果の確認と共に,研磨加工除去量の安定性の確認を行い,高精度形状修正研磨法として応用できることを確認した.

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (52件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (12件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (40件)

  • [雑誌論文] Development of Micro Polishing System Using Piezoelectric Actuator Incorporated with Mechanical Amplitude Magnified Mechanism2013

    • 著者名/発表者名
      Sze Keat Chee, Hirofumi Suzuki, Takeshi Yano, Toshiro Higuchi and Weimin Lin
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology (IJAT)

      巻: 7, 1 ページ: 71-82

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Experimental Investigation on Hybrid Technology of Ultrasonic Vibration Assisted Chemo-Mechanical Grinding (CMG) Silicon Wafer2013

    • 著者名/発表者名
      Weiping Yang, Yongbo Wu and Jun Liu
    • 雑誌名

      Applied Mechanics and Materials

      ページ: 2290-2294

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 自転/公転型研磨法の研究2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民
    • 雑誌名

      日本機械学会誌

      巻: 115, 4 ページ: 44-44

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [雑誌論文] 自転/公転型研磨法の新提案と高精度形状研磨の基礎研究2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,大村元志,藤本正和,呉勇波,山形豊
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 56,6 ページ: 44-49

    • NAID

      10030539350

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 低周波振動援用による微細構造を持つ金型の研磨法の研究2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
    • 雑誌名

      型技術

      巻: 27,7 ページ: 118-119

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Investigation into Chemo-Mechanical Fixed Abrasive Polishing of Fused Silica with the Assistance of Ultrasonic Vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Y. G. Li, Y. Wu, L. Zhou, H. Guo, J.Cao, M. Fujimoto, M. Kemmochi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Chemo-Mechanical Manufacturing of Fused Silica by Combining Ultrasonic Vibration with Fixed-Abrasive Pellets2012

    • 著者名/発表者名
      Yaguo Li, Yongbo Wu, Libo Zhou, Masakazu Fujimoto, Jian Wang, Qiao Xu, Shoichi Sasaki1, and Masaaki Kemmochi
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: 13, 12 ページ: 2163-2172

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 低周波振動援用による微細構造を持つ金型の研磨法の研究2012

    • 著者名/発表者名
      林 偉民,徐 世傑, 矢野 健, 藤本正和,呉 勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
    • 雑誌名

      型技術

      巻: 27 ページ: 116-117

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] Investigation into Chemo-Mechanical Fixed Abrasive Polishing of Fused Silica with the Assistance of Ultrasonic Vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Y.G. Li, Y. Wu, L. Zhou, H. Guo, J. Cao, M. Fujimoto, M. Kemmochi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523-524 ページ: 155-160

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tentative investigation towards precision polishing of optical components with ultrasonically vibrating bound-abrasive pellets2012

    • 著者名/発表者名
      Yaguo Li, Yongbo Wu, Jian Wang, Wei Yang, Yinbiao Guo and Qiao Xu
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 20 ページ: 568-575

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 自転/公転型研磨法の新提案と高精度形状研磨の基礎研究2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民, 大村元志, 藤本正和, 呉勇波, 山形豊
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 56 ページ: 44-49

    • NAID

      10030539350

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 自転/公転型研磨法の研究2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民
    • 雑誌名

      型技術

      巻: 26,12 ページ: 70-71

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] 金属製中性子ミラーの研磨2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,森田晋也,山形豊
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会材料加工部門講演会MP2012
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-12-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 超音波援用固定砥粒加工による石英ガラスのポリシング2012

    • 著者名/発表者名
      李亜国,呉勇波,藤本正和,周立波
    • 学会等名
      日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘
    • 年月日
      2012-10-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 超音波援用化学機械複合固定砥粒加工によるSiウェハの高能率鏡面加工2012

    • 著者名/発表者名
      宇野文智,呉勇波,藤本正和,野村光由,周立波
    • 学会等名
      日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘
    • 年月日
      2012-10-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 中性子ミラーの超精密研磨2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,森田晋也,山形豊
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会講演
    • 発表場所
      由利本荘
    • 年月日
      2012-10-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用による微細構造を持つ形状物の研磨2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘
    • 年月日
      2012-10-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] A feasibility study of silicon wafer edge treatment by ultrasonic assisted fixed-abrasive CMP (UF-CMP)2012

    • 著者名/発表者名
      Yongbo Wu, Weiping Yang, Masakazu Fujimoto
    • 学会等名
      the International Conference of Manufacturing Technology Engineers 2012
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2012-10-10
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振 動テーブルの試作とそれによる振動援用 研磨効果2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民, 徐世傑, 矢野健, 藤本正和, 呉 勇波, 鈴木浩文, 樋口俊郎
    • 学会等名
      2012 年度精密工学会秋季大 会学術講演会
    • 発表場所
      北九州
    • 年月日
      2012-09-15
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法研磨加工安定性の検討2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,藤本正和,呉勇波
    • 学会等名
      2012年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2012)
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2012-08-31
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Hybrid Polishing of Fused Silica Glass with Bound-Abrasive Polishers in Conjunction with Vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Yaguo Li and Yongbo Wu
    • 学会等名
      SPIE
    • 発表場所
      USA
    • 年月日
      2012-08-20
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on die polishing method of micro structured molds applying low frequency vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Weimin Lin, Chee Sze Keat, Takeshi Yano, Hirofumi Suzuki, and Toshiro Higuchi
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2012-07-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Polishing fused silica glass by incorporating ultrasonic vibration into fixed abrasive polishers2012

    • 著者名/発表者名
      Yaguo Li, Yongbo Wu, Masakazu Fujimoto, Libo Zhou
    • 学会等名
      the 12th euspen International Conference
    • 発表場所
      Stockholm
    • 年月日
      2012-06-22
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Precision Manufacturing of Fused Silica Glass by Combining Bound-Abrasive Polishing with Ultrasonic Vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Yaguo Li, Yongbo Wu
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies (AOMATT 2012)
    • 発表場所
      Xiamen, China
    • 年月日
      2012-04-27
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on die plishing method of micro structured molds applying low frequency vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Weimin Lin, Chee Sze Keat, Takeshi Yano, Hirofumi Suzuki, and Toshiro Higuchi
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
    • 発表場所
      Wako, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法の研究2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民
    • 学会等名
      型技術ワークショップ2011in岐阜
    • 発表場所
      岐阜
    • 年月日
      2011-11-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法の研究2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民
    • 学会等名
      型技術ワークショップ2011in岐阜
    • 発表場所
      岐阜市
    • 年月日
      2011-11-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法による加工特性について2011

    • 著者名/発表者名
      大村元志,佐々木宇宙,藤本正和,呉勇波,林偉民
    • 学会等名
      2011年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2011-10-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動を援用した自転/公転型研磨法の開発に関する基礎検討2011

    • 著者名/発表者名
      小林直貴,佐藤光平,藤本正和,呉勇波,林偉民,徐世傑,矢野健,山形豊,樋口俊朗,鈴木浩文,牧野俊清
    • 学会等名
      2011年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2011-10-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法による加工特性について2011

    • 著者名/発表者名
      大村元志, 佐々木宇宙, 藤本正和, 呉勇波, 林偉民
    • 学会等名
      2011年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      2011-10-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低周波振動を援用した自転/公転型研磨法の開発に関する基礎検討2011

    • 著者名/発表者名
      小林直貴, 佐藤光平, 藤本正和, 呉勇波, 林偉民, 徐世傑, 矢野健, 山形豊, 樋口俊朗, 鈴木浩文, 牧野俊清
    • 学会等名
      2011年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      2011-10-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法による修正研磨法の基礎研究2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民, 大村元志, 藤本正和, 呉勇波, 山形豊
    • 学会等名
      砥粒加工学会ABTEC2011
    • 発表場所
      春日市
    • 年月日
      2011-09-09
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨法による金型材料の加工効果2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民, 小林直樹, 藤本正和, 呉勇波, 徐世傑, 矢野健, 鈴木浩文
    • 学会等名
      砥粒加工学会ABTEC2011
    • 発表場所
      春日市
    • 年月日
      2011-09-09
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨法による金型材料の加工効果2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民,小林直樹,藤本正和,呉勇波,徐世傑,矢野健,鈴木浩文
    • 学会等名
      2011年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2011)
    • 発表場所
      春日
    • 年月日
      2011-09-08
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法による修正研磨法の基礎研究2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民,大村元志,藤本正和,呉勇波,山形豊
    • 学会等名
      2011年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2011)
    • 発表場所
      春日
    • 年月日
      2011-09-08
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨による金型材料の加工特性2011

    • 著者名/発表者名
      小林直貴,久保田享,林偉民,呉勇波,藤本正和,徐世傑,矢野健,山形豊,樋口俊郎,鈴木浩文,牧野俊清
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2011-03-16
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨による金型材料の加工特性2011

    • 著者名/発表者名
      小林直貴, 久保田享, 林偉民, 呉勇波, 藤本正和, 徐世傑, 矢野健, 山形豊, 樋口俊郎, 鈴木浩文, 牧野俊清
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2011-03-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 自転/公転研磨法による研磨加工の基礎検討2010

    • 著者名/発表者名
      大村元志,佐藤康成,林偉民,藤本正和,呉勇波
    • 学会等名
      2010年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      盛岡
    • 年月日
      2010-11-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨における金型材料の研磨効果2010

    • 著者名/発表者名
      小林直貴,久保田亭,林偉民,藤本正和,呉勇波,徐世傑,矢野健,山形豊,樋口俊郎,鈴木浩文
    • 学会等名
      2010年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      盛岡
    • 年月日
      2010-11-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 自転/公転研磨法による研磨加工の基礎検討2010

    • 著者名/発表者名
      大村元志, 佐藤康成, 林偉民, 藤本正和, 呉勇波
    • 学会等名
      2010年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 年月日
      2010-11-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨における金型材料の研磨効果2010

    • 著者名/発表者名
      小林直貴, 久保田亭, 林偉民, 藤本正和, 呉勇波, 徐世傑, 矢野健, 山形豊, 樋口俊郎, 鈴木浩文
    • 学会等名
      2010年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 年月日
      2010-11-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 自転/公転研磨法の基礎検討2010

    • 著者名/発表者名
      林偉民,大村元志,小林直貴,呉勇波,藤本正和,山形豊
    • 学会等名
      砥粒加工学会ABTEC2010
    • 発表場所
      岡山
    • 年月日
      2010-08-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 自転/公転研磨法の基礎検討2010

    • 著者名/発表者名
      林偉民, 大村元志, 小林直貴, 呉勇波, 藤本正和, 山形豊
    • 学会等名
      砥粒加工学会ABTEC2010
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2010-08-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] A feasibility study of silicon wafer edge treatment by ultrasonic assisted fixed-abrasive CMP (UF-CMP)

    • 著者名/発表者名
      Yongbo Wu, Weiping Yang, Masakazu Fujimoto
    • 学会等名
      The International Conference of Manufacturing Technology Engineers 2012
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Polishing fused silica glass by incorporating ultrasonic vibration into fixed abrasive polishers

    • 著者名/発表者名
      Yaguo Li, Yongbo Wu, Masakazu Fujimoto, Libo Zhou
    • 学会等名
      The 12th euspen International Conference
    • 発表場所
      Stockholm
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 自転/公転型研磨法研磨加工安定性の検討

    • 著者名/発表者名
      林 偉民, 藤本 正和, 呉 勇波
    • 学会等名
      2012年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2012)
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 低周波振動テーブルの試作とそれによる振動援用研磨効果

    • 著者名/発表者名
      林 偉民, 徐 世傑, 矢野 健, 藤本正和, 呉 勇波, 鈴木浩文, 樋口俊郎
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      北九州市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 中性子ミラーの超精密研磨

    • 著者名/発表者名
      林 偉民, 森田晋也, 山形 豊
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用による微細構造を持つ形状物の研磨

    • 著者名/発表者名
      林 偉民, 徐 世傑, 矢野 健, 藤本正和, 呉 勇波, 鈴木浩文, 樋口俊郎
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 超音波援用固定砥粒加工による石英ガラスのポリシング

    • 著者名/発表者名
      李亜国,呉勇波,藤本正和,周立波
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 超音波援用化学機械複合固定砥粒加工によるSiウェハの高能率鏡面加工

    • 著者名/発表者名
      宇野文智,呉勇波,藤本正和,野村光由,周立波
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      由利本荘市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 金属製中性子ミラーの研磨

    • 著者名/発表者名
      林 偉民, 森田晋也, 山形 豊
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会材料加工部門講演会MP2012
    • 発表場所
      大阪市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

URL: 

公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi