| 研究課題/領域番号 |
22360311
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
金属生産工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
三村 耕司 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (00091752)
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| 研究分担者 |
一色 実 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20111247)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
11,700千円 (直接経費: 9,000千円、間接経費: 2,700千円)
2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2011年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2010年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
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| キーワード | 高純度金属 / 高純度精製 / 水素プラズマ溶解 / モリブデン / バナジウムジルコニウム / 減圧水素プラズマ / 高融点金属 / ジルコニウム / 不純物 / プラズマ溶解 / 水素プラズマ / バナジウム / 不純物除去 / 金属生産工学 |
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| 研究概要 |
ULSI等電子デバイス製造に必須なスパッタリング・ターゲット用高純度金属(Mo,V,Zr)を対象に、特殊溶解法〔水素プラズマ溶解(HPAM),電子ビーム溶解(EBM)等〕による高純度化を検討した。HPAMは常圧溶解であるにも拘らず、高真空EBMと同様に高蒸気圧の金属不純物(Fe,Al,Cr等)の蒸発除去に優れ、さらに目的の高融点金属の蒸発損失を低く抑えた効率的な高純度精製が可能な事を実証した。また、減圧HPAMでは常圧HPAMより一層精製効果が向上する事を初めて明らかにした。
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