反応性イオンエッチング法によるポリマー表面のモフォロジー制御とその応用

• 研究課題/領域番号: 22510132
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 富山県工業技術センター
• 研究代表者: 鍋澤 浩文 富山県工業技術センター, 中央研究所, 主任研究員 (50416145)
• 研究分担者: 関 実 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80206622)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円); 2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2010年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
• キーワード: プラズマ加工 / マイクロ・ナノデバイス / 反応性イオンエッチング / ポリマー / ポリマー微細加工 / コロイダルリソグラフィー

研究概要

本研究では,ポリマー基板の表面形態を平滑面からグラス表面まで制御できる反応性イオンエッチング法を開発し,表面形態がマイクロマスク濃度に依存するメカニズムを解明した。本技術にコロイダルリソグラフィを応用し,配列した微粒子をエッチングマスクとして用いることにより,マイクロ・ナノ構造アレイの形成技術を開発した。更に,円錐アレイ構造を用いたプロテインチップの試作を行い,微細構造がタンパク質検出に有効であることを示した。

研究成果

• [学会発表] マイクロ流体技術を用いた新規な化学反応・分離法の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 関実
  • 学会等名: 化学工学会関西支部セミナー
  • 発表場所: 東レエンジニアリング(株)滋賀事業所
  • 年月日: 2012-10-26
• [学会発表] バイオプロセス開発のためのマイクロシステムの利用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 関実
  • 学会等名: 化学工学会第44回秋季大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2012-09-20
• [学会発表] マイクロ流体システムにおける微量操作と分離法に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 関実
  • 学会等名: 化学工学会第77年会
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 2012-03-17
• [学会発表] マイクロ流体システムにおける微量操作と分離法に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 関実
  • 学会等名: 化学工学会第77年会
  • 発表場所: 工学院大学(研究賞受賞記念講演)(招待講演)
  • 年月日: 2012-03-17
• [学会発表] Microfluidic Separation of Particles and Its Applications (2012)
  • 著者名/発表者名: Minoru SEKI
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] Microfluidic Separation of Particles and Its Applications (2012)
  • 著者名/発表者名: Minoru Seki
  • 学会等名: 化学工学会第77年会
  • 発表場所: 工学院大学(招待講演)
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] コロイダルリソグラフィ一によるポリマープレートの微細加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 蛭間崇元, 鍋澤浩文, 人母岳, 若林傑, 関実
  • 学会等名: 第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2010-11-17
• [学会発表] コロイダルリソグラフィーによるポリマープレートの微細加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 蛭間崇元, 鍋澤浩文, 人母岳, 若林傑, 関実
  • 学会等名: 第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
  • 発表場所: 名古屋大学医学部(愛知県)
  • 年月日: 2010-11-17
• [学会発表] バイオプロセス開発のためのマイクロシステムの利用
  • 著者名/発表者名: 関実
  • 学会等名: 化学工学会第44回秋季大会
  • 発表場所: 東北大学川内キャンパス
  • 招待講演
• [学会発表] マイクロ流体技術を用いた新規な化学反応・分離法の開発
  • 著者名/発表者名: 関実
  • 学会等名: 化学工学会関西支部セミナー
  • 発表場所: 東レエンジニアリング（株）滋賀事業所
  • 招待講演