研究概要 |
本研究では,カーボンナノチューブのフィールドエミッション電流制御に基づいてナノワイヤを成長制御し,ナノ構造体に基づいた超感度な加速度ナノセンサを創製することを目的とした.我々が構築してきたナノマニピュレーションシステムにより,カーボンナノチューブをアセンブリし,フィールドエミッタを作製した.そして,カーボンナノチューブエミッタから,金属ガス先駆体ガスを導入し,金属ナノワイヤ成長制御した.本ナノワイヤを用いた,制御共振振動時のフィールドエミッション電流変化に基づく,新しい原理による加速度センサを提案し,デバイスのアセンブリを行った.
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