研究課題/領域番号 |
22656077
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
電子・電気材料工学
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研究機関 | 早稲田大学 |
研究代表者 |
大木 義路 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70103611)
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連携研究者 |
劉 昇俊 早稲田大学, 理工学術院, 助手 (90516668)
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研究期間 (年度) |
2010 – 2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
3,340千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
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キーワード | イオン照射 / 屈折率上昇 / 高分子導波路 / 光制御材料 / 高密度化 / 絶縁材料 / 非晶質 |
研究概要 |
本研究は、高分子光導波路においても非晶質シリカガラスと同様に、イオン照射により屈折率上昇を誘起させられ、デバイスの開発につなげられるかどうかを検証することを目的としている。フッ素化ポリイミドに加速エネルギー1.0 MeVのH+イオンを照射し、ハロゲンランプを励起源とした分光エリプソメトリによって屈折率を実測したところ、屈折率上昇は、3.3%とシリカガラスにイオンを注入した場合に生じる屈折率の最大変化量1.0%をはるかに超える大きな値となり、高分子光導波路の高機能化に十分寄与できる可能性があることが分かった。
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