| 研究課題/領域番号 |
22760223
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
大橋 雄二 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50396462)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | 超音波計測 / 酸化亜鉛単結晶 / 酸化亜鉛薄膜 / 抵抗率評価 |
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| 研究概要 |
精密超音波計測による酸化亜鉛のバルク単結晶および薄膜の評価法についての基礎を構築した。高精度に音響関連物理定数を決定したバルク単結晶を標準試料として用いて、薄膜の評価を行う手法を開発した。異方性を考慮した抵抗率の評価を行うために、一方の抵抗率のみが関与する超音波の伝搬モードと二つの抵抗率が関与する伝搬モードの位相速度および伝搬減衰を計測することでそれらを決定する手法を開発した。
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