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粉体ターゲットスパッタリング機構による新規な機能性薄膜の試作とその機構解明

研究課題

研究課題/領域番号 23340181
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ科学
研究機関佐世保工業高等専門学校

研究代表者

川崎 仁晴  佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 教授 (10253494)

連携研究者 大島 多美子  佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 准教授 (00370049)
柳生 義人  佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 准教授 (40435483)
須田 義昭  佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 教授 (20124141)
猪原 武士  佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 助教 (30634050)
研究期間 (年度) 2011 – 2013
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
9,750千円 (直接経費: 7,500千円、間接経費: 2,250千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2011年度: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
キーワードスパッタリング / 粉体ターゲット / スパッタリング成膜 / 機能性薄膜 / プラズマプロセス / 電気電子材料
研究概要

粉体をそのままターゲットとして利用して、機能性薄膜を作製するスパッタリングによる薄膜堆積を行った。また、粉体スパッタリングプラズマの特性を静電プローブ法、発光分光法、レーザ散乱法等を用いて分析し、その成長機構を調べた。その結果、低投入電力(70W以下)の場合には通常のバルクターゲットを用いた場合に比べて膜質はほぼ同じであるにもかかわらず、成膜速度が、2~5倍程度速い場合もあることがわかった。これについて詳細に調べるため、静電プローブ法による電子密度の計測を行った、その結果、電子密度が2~5倍ほど高いことがわかった。また、Ti原子の発光強度も、粉体ターゲットを用いた場合の方が強いことがわかった。以上の結果は、バルクのターゲットに比べて、粉体ターゲットを用いた場合の方が、表面の凹凸が大きく、実質的なカソードの表面積が広いこと、スパッタイオンがターゲットへ入射する場合に、ほとんどの場合にスパッタリング率の高い斜め入射になっていること、表面温度の上昇、ホローカソード効果などが考えられる。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (104件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (16件) (うち査読あり 16件) 学会発表 (88件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文]2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu KAWASAKI, Tamiko OHSHIMA, Takeshi IHARA, Kento ARAFUNE, Daichi TANIYAMA, Yoshihito YAGYU and Yoshiaki SUDA
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Daichi Taniyama, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Yoshihito Yagyu and Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Trans. Mat. Res. Soc. Japan

      巻: 38(1) ページ: 69-72

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2013

    • 著者名/発表者名
      Fumiaki Mitsugi, Jin Furukawa, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Toshiyuki Kawasaki, Shin-ichi Aoqui and Henryka D. Stryczewska
    • 雑誌名

      Eur. Phys. J. Appl. Phys.

      巻: 61 ページ: 24308-24308

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Plasma Processing of Functional Thin Films by Sputtering Deposition Using Metal-Based Powder Target2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu KAWASAKI, Tamiko OHSHIMA, Takeshi IHARA, Kento ARAFUNE, Daichi TANIYAMA, Yoshihito YAGYU, and Yoshiaki SUDA
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NB07-11NB07

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nb07

    • NAID

      210000143101

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of UV light on Breakdown Voltage of atmosphere air2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Daichi Taniyama, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Yoshihito Yagyu and Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Trans. Mat. Res. Soc.

      巻: 38[1] ページ: 69-72

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of dynamic behavior of gliding arc discharge2013

    • 著者名/発表者名
      Fumiaki Mitsugi, Jin Furukawa, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Toshiyuki Kawasaki, Shin-ichi Aoqui and Henryka D. Stryczewska
    • 雑誌名

      Eur. Phys. J. Appl. Phys.

      巻: 61 号: 2 ページ: 24308-24308

    • DOI

      10.1051/epjap/2012120408

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gas Flow Dependence on Dynamic Behavior of Serpentine Plasma in Gliding Arc Discharge System2013

    • 著者名/発表者名
      Fumiaki Mitsugi1, Jin Furukawa, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Toshiyuki Kawasaki, Shin-ichi Aoqui and Henryka D. Stryczewska
    • 雑誌名

      Transactions on Plasma Science

      巻: 61

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using a Powder Target2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki
    • 雑誌名

      Trasactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: Vol.38[1] ページ: 69-72

    • NAID

      130005004196

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of a titanium thin film using a sputtering deposition process with a powder material target2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki
    • 雑誌名

      Trasactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: Vol.37 [2] ページ: 147-150

    • NAID

      130003399070

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 異文化交流による国際的若年技術者育成事業とその効果2012

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 132 号: 12 ページ: 1086-1091

    • DOI

      10.1541/ieejfms.132.1086

    • NAID

      10031129638

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of Platinum Nanodots Using Organ-Metal Solutions2012

    • 著者名/発表者名
      Tamiko Ohshima
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.51 号: 8S1 ページ: 08HF08-08HF08

    • DOI

      10.1143/jjap.51.08hf08

    • NAID

      210000072721

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Discharge characteristics in liquid helium, liquid nitrogen and pure water preparatory to fabrication of carbon nanomaterials2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: Vol.400 号: 5 ページ: 52010-52010

    • DOI

      10.1088/1742-6596/400/5/052010

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of carbon nanotube on metal nanodots substrate for gas sensor2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Takeru Kanazawa, Shin-ichi Aoqui, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Trasactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: Vol.36[3] ページ: 455-458

    • NAID

      130003398996

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optical study of the low discharge power magnetron sputtering plasma using pure tungsten target2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Toshinobu Shigematsu, Kiminobu Imasaka, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Trasactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: Vol.36[3] ページ: 479-482

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface coating on the cylinder rod using sputtering deposition method with modulated magnetic field2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Trasactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: Vol.36[2] ページ: 495-498

    • NAID

      130003399005

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Oxygen Gas Pressure on Electrical, Optical, and Structural Properties of Al-Doped ZnO Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition for Use as Transparent Electrodes in All-Solid-State Electrochromic Devices2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.50 号: 8S1 ページ: 08JD09-08JD09

    • DOI

      10.1143/jjap.50.08jd09

    • NAID

      210000071076

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 粉体ターゲットスパッタプロセスの高速度成膜機構解明2014

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,田中雪,須田義昭
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 年月日
      2014-03-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Fungicidal effect of atmospheric pressure dielectric barrier discharge (APDBD)2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Yagyu, N. Matsumoto, N. Hayashi, T. Yamasaki, H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara and Y. Suda
    • 学会等名
      Penicillium digitatum spore on citrus ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2014-03-03
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of the ultra-violet LED light for characteristic gliding arc discharge2014

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Shinichi Aoqui, Fumiaki Mitsugi, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yoshiaki Suda
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2014-03-03
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Yagyu, N. Matsumoto, N. Hayashi, T. Yamasaki, H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara and Y. Suda
    • 学会等名
      Inactivation of Penicillium digitatum Spore on Citrus unshiu ICRP-8SPP-31
    • 発表場所
      福岡
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge Plasma on Inactivation of Penicillium digitatum Spore on Citrus un-shiu2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Yagyu, N. Matsumoto, N. Hayashi, T. Yamasaki, H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara and Y. Suda
    • 学会等名
      ICRP-8SPP-31
    • 発表場所
      福岡国際会議場
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Fungicidaleffect of atmospheric pressure dielectric barrier discharge (APDBD) on Penicillium digitatum spore on citrus2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Yagyu, N. Matsumoto, N. Hayashi, T. Yamasaki, H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara and Y. Suda
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014
    • 発表場所
      名城大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いた薄膜作製プロセスの解明 ~プローブ計測~2013

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴,須田義昭,大島多美子,柳生義人,猪原武士
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会
    • 発表場所
      九州・沖縄・山口支部、佐世保高専
    • 年月日
      2013-12-22
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on the TiO2 thin film prepared processes by sputtering deposition using powder target2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Daichi Taniyama, Satoshi Takeichi, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yuki Tanaka, Yoshiaki Suda
    • 学会等名
      第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26)
    • 発表場所
      九州大学 百年講堂
    • 年月日
      2013-09-23
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Preparation of titanium oxide and titanium nitride multilayer thin films using TiN single target2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshito Yagyu, Takeshi Ihara, Yoshiaki Suda, Sergey Khartsev, Alexander Grishin
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] プローブを用いた粉体スパッタプラズマの計測2013

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴,谷山大地、竹市悟志、大島多美子,柳生義人,猪原武士、田中雪、須田義昭
    • 学会等名
      2013年 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      2013-09-17
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Electron density measurement for sputtering deposition using metal base powder target2013

    • 著者名/発表者名
      H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara, K. Arafune, D. Taniyama, Y. Yagyu, Y. Suda
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference APPC12
    • 発表場所
      International Conference Hall, Makuhari Messe Chiba Japan, D2-PMo-14
    • 年月日
      2013-07-15
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Langmuir probe measurement for sputtering process using metal base powder target2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Daichi Taniyama, Satoshi Takeichi, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
    • 学会等名
      International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics TOEO-8
    • 発表場所
      Waseda University, Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 有機金属溶液を用いて作製したナノ微粒子に関する研究、Research on production of the nanoparticles using organometallic solution2013

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴,大島多美子,田中涼太,柳生義人,猪原武士,須田義昭
    • 学会等名
      ナノ学会第11回大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on the Processes of Thin Films using Powder Target by Pulsed Laser Deposition Method2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki SUDA, Hiroharu KAWASAKI, Satoshi TAKEICHI, Daichi TANIYAMA, Tamiko OHSHIMA, Yuki TANAKA, Yoshihito YAGYU, Takeshi IHARA
    • 学会等名
      The 35th International Symposium on Dry Process(DPS2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Hotel, Korea
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of atmospheric pressure dielectric barrier discharge irradiation to green mold spore2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yagyu, N. Matsumoto, N. Hayashi, T. Yamasaki, H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara and Y. Suda
    • 学会等名
      Penicillium digitatum, attached on citrus peel, MRSJ
    • 発表場所
      横浜開港記念館
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Langmuir probe measurement for sputtering process using metal base powder target2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Daichi Taniyama, Satoshi Takeichi, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda,
    • 学会等名
      International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics
    • 発表場所
      Waseda University, Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 有機金属溶液を用いて作製したナノ微粒子に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴、大島多美子、田中涼太、柳生義人、猪原武士、須田義昭
    • 学会等名
      ナノ学会第11 回大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスの電子密度計測2013

    • 著者名/発表者名
      竹市悟志,川崎仁晴,大島多美子,猪原武士,柳生義人,須田義昭
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いたレーザアブレーション法による薄膜作製2013

    • 著者名/発表者名
      谷山大地,大島多美子,川崎仁晴,須田義昭,柳生義人,猪原武士
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] プローブを用いた粉体スパッタプラズマの計測2013

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴,谷山大地、竹市悟志、大島多美子,柳生義人,猪原武士、田中雪、須田義昭
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧ガスプラズマを用いた農作物の殺菌特性2013

    • 著者名/発表者名
      松本直樹,柳生義人,山﨑隆志,川崎仁晴,大島多美子,猪原武士,須田義昭、林信哉、米須章
    • 学会等名
      電気学会九州支部
    • 発表場所
      熊本大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 紫外線を併用した大気圧グライディングアーク放電による滅菌2013

    • 著者名/発表者名
      嶋田雅広、川崎仁晴、大島多美子、柳生義人、猪原武士、須田義昭
    • 学会等名
      平成25年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Effect of atmospheric pressure dielectric barrier discharge irradiation to green mold spore, Penicillium digitatum, attached on citrus peel2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yagyu, N. Matsumoto, N. Hayashi, T. Yamasaki, H. Kawasaki, T. Ohshima, T. Ihara and Y. Suda
    • 学会等名
      MRSJ
    • 発表場所
      横浜開港記念館
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] プラズマの効率的生成に向けたナノ構造電極の作製2013

    • 著者名/発表者名
      黒崎奈菜子, 猪原武士, 大島多美子, 田中雪, 柳生義人, 川崎仁晴,須田義昭
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] イオン液体とPLD法の組み合わせによる薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      前田尭, 大島多美子, 田中雪, 川崎仁晴,須田義昭,柳生義人,猪原武士
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バラスト水殺菌装置用オゾン/酸素分離ユニット評価試験-PSA法によるオゾンの原料酸素削減の検討-2013

    • 著者名/発表者名
      狩又厚介,池田正晴,小松直矢,柳生義人,川崎仁晴、塚原康,山口まみ,馬場俊幸
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 低圧プラズマによる種子の表面殺菌特性2013

    • 著者名/発表者名
      松本直樹,柳生義人,山﨑隆志,川崎仁晴,大島多美子,猪原武士,須田義昭、林信哉、米須章
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バラスト水殺菌用オゾン生成のためのPSA式酸素/窒素ガス分離技術の効率化2013

    • 著者名/発表者名
      小松直矢
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いたスパッタリング法のプラズマ計測2013

    • 著者名/発表者名
      竹市悟志,川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 柳生義人, 須田義昭
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] [Er2O3/TiO2]m構造をもつ誘電体多層膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      村田一磨, 須田義昭, 大島多美子, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いた薄膜作製プロセスの解明 ~プローブ計測~2013

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴,須田義昭、大島多美子,柳生義人,猪原武士
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部
    • 発表場所
      佐世保高専
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] スクミリンゴガイの走電性および超音波暴露による殺傷特性2012

    • 著者名/発表者名
      柳生義人
    • 学会等名
      第56回日本応用動物昆虫学会大会
    • 発表場所
      近畿大学農学部奈良キャンパス(奈良県)
    • 年月日
      2012-03-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 高速度カメラによるグライディングアークの放電観測2012

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      2012年電気学会全国大会
    • 発表場所
      広島工業大学(広島県)
    • 年月日
      2012-03-23
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ照射による農作物の殺菌消毒2012

    • 著者名/発表者名
      柳生義人
    • 学会等名
      2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 異文化交流力涵養のための国際的技術者育成コース(6)2012

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] PLD法により作製したAZO薄膜の特性改善2012

    • 著者名/発表者名
      大島多美子
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 粉体スパッタリング法を用いたTiOx薄膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Preparation of Functional Thin Films using Powder Target by Sputtering Deposition Method2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki
    • 学会等名
      ISPlasma 2012
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] プラズマプロセスを用いた薄膜の作製とその制御法に関する研究2012

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      第14回ナノフォトニクス情報テクノロジーリサーチセンター研究会第82回磁性研ゼミナール
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学(愛知県)
    • 年月日
      2012-03-05
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作製の試み2012

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」平成23年度第3回会議
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 年月日
      2012-01-09
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Effect of LF Plasma Jet Irradiation to Oral Bacteria, S.mutans and S.salivarius2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Yagyu
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2011-12-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Preparation of the Ti thin film by the plasma process using powder material target2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2011-12-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Pulsed laser deposition of Alq3 thin films using target cooling by liquid nitrogen2011

    • 著者名/発表者名
      T.Ohshima
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2011-12-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 粉体スパッタリング法を用いた機能性薄膜の膜表面形状2011

    • 著者名/発表者名
      荒舩健人
    • 学会等名
      プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部大会
    • 発表場所
      大分大学(大分県)
    • 年月日
      2011-12-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 異文化交流力涵養のための国際的技術者育成コース(5)2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部大会
    • 発表場所
      鹿児島大学(鹿児島県)
    • 年月日
      2011-11-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] スパッタリング法による全固体ECD用Ta2O5薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      村上雄紀
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部大会
    • 発表場所
      鹿児島大学(鹿児島県)
    • 年月日
      2011-11-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ハイスピードカメラを使用したグライディングアーク放電の分析2011

    • 著者名/発表者名
      田島由衣
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部大会
    • 発表場所
      鹿児島大学(鹿児島県)
    • 年月日
      2011-11-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 単相グライディングアーク放電と三相グライディングアーク放電に関する研究2011

    • 著者名/発表者名
      村本郁矢
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部大会
    • 発表場所
      鹿児島大学(鹿児島県)
    • 年月日
      2011-11-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いた機能性薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      Plasma Conference2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂(石川県)
    • 年月日
      2011-11-24
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 酵母および大腸菌への大気圧プラズマ照射の影響2011

    • 著者名/発表者名
      柳生義人
    • 学会等名
      Plasma Conference2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂(石川県)
    • 年月日
      2011-11-23
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of platinum nanodots using organ-metal solution2011

    • 著者名/発表者名
      T.Ohshima
    • 学会等名
      DPS2011
    • 発表場所
      京都ガーデンパレス(京都府)
    • 年月日
      2011-11-11
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] OPTICAL STUDY ON THE MECHANISMS FOR TWO AND THREE PHASE GLIDING ARC DISCHARGE2011

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi AOQUI
    • 学会等名
      ELMECO-7
    • 発表場所
      ワルシャワ工科大(ポーランド)
    • 年月日
      2011-09-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 強制対流極低温液体ヘリウム中放電によるナノ構造物の試作2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」平成23年度第2回会議
    • 発表場所
      京都大学東京オフィース(東京都)
    • 年月日
      2011-09-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 国際的技術者育成のための少人数英語教育の試み2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      教育フロンティア研究会
    • 発表場所
      千葉工業大学(千葉県)
    • 年月日
      2011-09-14
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 粉体をターゲットに用いたスパッタ法によるTiO2薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      平成23年度第72回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 異文化交流力涵養のための国際的技術者育成コース(4)2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      平成23年度第72回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-08-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 少人数教育課程「環境・エネルギー技術者コース」の事業と成果2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      全国工業高等専門学校フォーラム講演会
    • 発表場所
      鹿児島大学(鹿児島県)
    • 年月日
      2011-08-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 選択的な滅菌を可能とするプラズマ滅菌装置の開発2011

    • 著者名/発表者名
      柳生義人
    • 学会等名
      第9回全国高専テクノフォーラム
    • 発表場所
      学術総合センター(東京都)
    • 年月日
      2011-08-04
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 有機金属溶液を用いた金属ナノ構造体の焼成温度依存性2011

    • 著者名/発表者名
      大島多美子
    • 学会等名
      九州表面・真空研究会2011(兼)第16回九州薄膜表面研究会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2011-06-11
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作製の試み2011

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」第1回全体会議
    • 発表場所
      ホテルグランディア太宰府(福岡県)
    • 年月日
      2011-05-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] プラズマプロセスを用いた薄膜の作製とその制御法に関する研究

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      第14回ナノフォトニクス情報テクノロジーリサーチセンター研究会第82回磁性研ゼミナールC-204
    • 発表場所
      豊橋技科大(愛知県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Tiの粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      豊橋技科大(愛知県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Growth of carbon nanotubes in normal 4He and superfluid 4He by arc discharge method

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      24th International Cryogenic Engineering Conference-International Cryogenic
    • 発表場所
      福岡国際会議場(福岡)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Two dimensional images of the multi electrodes gliding arc discharge

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      ICMAP2012
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いたスパッタリング法による磁性薄膜作製

    • 著者名/発表者名
      荒舩健人
    • 学会等名
      高専連携教育研究プロジェクト成果報告会
    • 発表場所
      豊橋技科大(愛知県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 有機金属溶液を用いたナノ構造体作製に関する研究

    • 著者名/発表者名
      田中涼太
    • 学会等名
      高専連携教育研究プロジェクト成果報告会
    • 発表場所
      豊橋技科大(愛知県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ照射による微生物の不活化およびメカニズムの解明

    • 著者名/発表者名
      野田美菜子
    • 学会等名
      高専連携教育研究プロジェクト成果報告会
    • 発表場所
      豊橋技科大(愛知県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Pulsed Streamer in Pressurized Carbon Dioxide including Supercritical phase

    • 著者名/発表者名
      猪原武士
    • 学会等名
      BIOELECTRICS 2012
    • 発表場所
      KKRホテル熊本(熊本)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Observation of the plasma plume in pulsed laser deposition using a Ti powder target

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      BIOELECTRICS 2012
    • 発表場所
      KKRホテル熊本(熊本)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Bactericidal Effect of Low Pressure Plasma on General Micro-organisms Attached on Agricultural Seeds

    • 著者名/発表者名
      柳生義人
    • 学会等名
      BIOELECTRICS 2012
    • 発表場所
      KKRホテル熊本(熊本)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体PLD法を用いたTiOx薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      川崎仁晴
    • 学会等名
      2012年秋季 応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      愛媛大学(愛媛)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 超臨界状態を含む加圧二酸化炭素中におけるナノ秒パルス放電現象

    • 著者名/発表者名
      猪原武士
    • 学会等名
      平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      秋田大学(秋田県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] バラスト水殺菌装置用オゾン/酸素分離ユニット評価試験

    • 著者名/発表者名
      小松直矢
    • 学会等名
      第65回電気関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] スパッタリング法によるヒートミラー用TiN薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      竹市悟志
    • 学会等名
      第65回電気関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットを用いたレーザアブション法による機能性薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      谷山大地
    • 学会等名
      第65回電気関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using a Powder Target

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu KAWASAKI
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Size and Crystallinity Dependence of Metal Nanodots Formed using Organometallic Solutions on Heating Conditions

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu KAWASAKI
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Size and Crystallinity Dependence of Metal Nanodots Formed using Organometallic Solutions on Heating Conditions

    • 著者名/発表者名
      Tamiko Ohshima
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Study on bactericidal effect of agricultural products by low-

    • 著者名/発表者名
      柳生義人
    • 学会等名
      11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology(APCPST)/25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM)2012
    • 発表場所
      京都大学ローム記念館(東京都)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Preparation of Alq3 thin films using a pulsed laser deposition method with cooling target by liquid nitrogen

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Suda
    • 学会等名
      65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      University of Texas (USA)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体純チタンターゲットを用いた光触媒薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      川崎 仁晴
    • 学会等名
      2012プラズマ核融合学会全国大会
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体スパッタリング法を用いた機能性薄膜作製と評価

    • 著者名/発表者名
      荒舩 健人
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部大会
    • 発表場所
      佐賀大学(佐賀県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] PSA法を用いたオゾン/酸素分離ユニットの性能評価および小型

    • 著者名/発表者名
      小松直矢
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部大会
    • 発表場所
      佐賀大学(佐賀県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体ターゲットのレーザアブレーション法を用いた酸化物薄膜作製

    • 著者名/発表者名
      谷山大地
    • 学会等名
      2012プラズマ核融合学会九州支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟(福岡県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Tiターゲットを用いたスパッタリング法によるTiO2/TiN/TiO2ヒートミラー薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      竹市悟志
    • 学会等名
      2012プラズマ核融合学会九州支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟(福岡県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Multi-elements Thin Film Preparation by Plasma Processes Using a Powder Target

    • 著者名/発表者名
      川崎 仁晴
    • 学会等名
      プラズマプロセッシング研究会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松・研修交流センター(静岡県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Light Scattering Measurement for Fabrication Thin Films by Sputtering Deposition Method using Powder Target

    • 著者名/発表者名
      川崎 仁晴
    • 学会等名
      ISPlasma2013
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 粉体スパッタプロセスにおけるプラズマの特性

    • 著者名/発表者名
      川崎 仁晴
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2011-04-06   更新日: 2019-07-29  

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