| 研究課題/領域番号 |
23360113
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
|
|---|
| 研究機関 | 香川大学 |
|---|
研究代表者 |
大平 文和 香川大学, 学内共同利用施設等, 教授 (80325315)
|
|---|
| 研究分担者 |
鈴木 孝明 香川大学, 工学部, 准教授 (10378797)
生津 資大 兵庫県質大学, 工学(系)研究科, 准教授 (90347526)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
|
| 配分額 *注記 |
18,330千円 (直接経費: 14,100千円、間接経費: 4,230千円)
2013年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2012年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
2011年度: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
|
|---|
| キーワード | マイクロマシン / マイクロミラー / MEMS / ポリマーデバイス / マイクロファブリケーション / 知能機械システム / マイクロメカトロニクス |
|---|
| 研究概要 |
MEMミラーデバイスの低コスト化と大偏向角化を目指し、ポリマー材料を用いたデバイス構造の提案と実現技術を研究した。構成は、感光性ポリマーを用いた電磁駆動型ミラーと、磁性粒子を含有したSU-8を用いた外部磁気駆動型ミラーである。ポリマーの機械的特性を評価しこれに基づきデバイス設計を行った。その結果、簡易化プロセスにより低コスト化が可能で、静的駆動偏向角は２０度以上可能であることを示し、目標を達成できる技術を実現した。
|
