| 研究課題/領域番号 |
23360137
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
浦岡 行治 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (20314536)
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| 研究分担者 |
木村 睦 龍谷大学, 理工学部, 教授 (60368032)
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| 連携研究者 |
石河 泰明 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成 科学研究科, 准教授 (70581130)
西田 貴司 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (80314540)
堀田 昌宏 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (50549988)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
19,760千円 (直接経費: 15,200千円、間接経費: 4,560千円)
2013年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2012年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2011年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円)
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| キーワード | 薄膜トランジスタ / レーザ結晶化 / 無機EL / ディスプレイ / シリコン薄膜 / プローブ顕微鏡 / ホットキャリア / マイクロ波 / レーザー照射 / 水中レーザ / 結晶化 / 結晶粒 / 欠陥 / 水素化 / シリコン / レーザ照射 / 多結晶シリコン / 硫化亜鉛 / 高圧水蒸気処理 |
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| 研究概要 |
高性能な薄膜トランジスタの開発及び無機ＥＬ蛍光体の低温形成を提案した。薄膜トランジスタの形成においては、水中レーザによるシリコン薄膜の結晶化、チャネル表面欠陥の不活性化、不純物の活性化を中心に研究を展開、蛍光体の形成に関しては、マイクロ波照射に伴う輝度向上ならびに微粒化による蛍光体層の薄膜化を中心に研究を行った。特に、性能・信頼性の評価には、プローブ顕微鏡を用いた局所的電気評価、発光解析手法を用いたホットキャリア劣化解析を実施することで、プラスチック基板上に単結晶ＬＳＩ並みの駆動回路を実現した。最終年度には、それぞれのテーマの合体により、パネルデバイスの試作と動作実証を行った。
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