| 研究課題/領域番号 |
23510121
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノ構造科学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
高野 秀和 兵庫県立大学, 物質理学研究科, 助教 (50366548)
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| 連携研究者 |
辻 卓也 日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究センター, 任期付研究員 (80596007)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2013年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2011年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | X線レンズ / フレネルゾーンプレート / X線集光 / 斜入射全反射 / ナノ集光 / ゾーンプレート / ナノビーム / X線顕微鏡 |
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| 研究概要 |
本研究は、現存のX線集光素子と比べて作製が比較的容易かつ高い集光性能を有する、「全反射ゾーンプレート」の開発を行った。1次元集光を行う線集光タイプについて、5 nm以下の理論性能をもつ素子の設計、作製を行い、20 nm以下の集光サイズを達成し、従来の性能を上回る集光効率を達成した。また、2つの線集光タイプを利用した、50 nm以下の点集光にも成功した。さらに、2次元集光を行う点集光タイプについての提案を行い、理論計算によりその有用性を実証した。その作製法についての検討も行い、実際に円筒基板を利用したプロトタイプ素子の試作に成功した。
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