異方性を持つIII－V窒化物半導体の複素誘電率を絶対測定する真空紫外エリプソの改良

• 研究課題/領域番号: 23560006
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 応用物性・結晶工学
• 研究機関: 福井大学
• 研究代表者: 福井 一俊 福井大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80156752)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円); 2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円); 2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
• キーワード: 異方性 / 窒化物半導体 / 放射光 / エリプソメータ / 真空紫外光 / III-V窒化物半導体

研究概要

今日、可視光だけでなく紫外線の領域でもLEDや受光素子など半導体素子への期待は大きい。しかし、紫外に使う半導体材料の光学的な性質を知るには、紫外線でもエネルギーの高い真空紫外光(VUV)の領域まで調べることが必要である。そこで材料の基本的な光学的定数である複素屈折率をVUVでも絶対測定できる世界でも珍しいエリプソメータを、理想的な紫外光源であるシンクロトロン放射光の研究施設で運用することを目標にそれに適したエリプソ装置の開発を行った。その結果、測定システムの構築にほぼ目処を付けることが出来るところまで達した。

研究成果

• [雑誌論文] Vacuum ultraviolet ellipsometer using inclined detector as analyzer to measure stokes parameters and optical constants–With results for AlN optical constants (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Saito, K. Ozaki, K. Fukui, H. Iwai, K. Yamamoto, H. Miyake and K. Hiramatsu
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: (in press) ページ: 559-559
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vacuum ultraviolet ellipsometer using inclined detector as analyzer to measure stokes parameters and optical constants ― With results for AlN optical constants (2014)
  • 著者名/発表者名: T.Saito, K.Ozaki, K.Fukui,H.Iwai,K.Yamamoto,H.Miyake, K.Hiramatsu
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 559 ページ: 517-521
  • DOI: 10.1016/j.tsf.2014.02.099
  • 査読あり
• [学会発表] 紫外・真空紫外分光エリプソメトリーの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 久保賢洋、福井一俊、齋藤輝文、堀米利夫
  • 学会等名: UVSOR Symposium 2013
  • 発表場所: 分子科学研究所
  • 年月日: 2013-12-07
• [学会発表] 紫外・真空紫外分光エリプソメトリーの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 中村康寛、尾崎恭介、福井一俊、齋藤輝文、堀米利夫
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2013-01-12
• [学会発表] 斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータによるストークス・パラメータおよび光学定数測定 (2012)
  • 著者名/発表者名: 齋藤輝文、尾崎恭介、福井一俊、岩井浩紀、山本晃司、三宅秀人、平松和政
  • 学会等名: 第8回偏光計測研究会
  • 発表場所: 東京都千代田区
  • 年月日: 2012-06-29
• [学会発表] AlGaN混晶薄膜の複素屈折率 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久保友宏、岩井浩紀、中村康寛、山本晃司、福井一俊
  • 学会等名: 2011年度日本物理学会北陸支部定例学術講演会
  • 発表場所: 福井大学文京キャンパス
  • 年月日: 2011-11-26
• [学会発表] 紫外・真空紫外分光エリプソメトリーの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 中村康寛、尾崎恭介、山本晃司、福井一俊、齋藤輝文
  • 学会等名: 2011年度UVSORユーザーズミーティング
  • 発表場所: 分子科学研究所
  • 年月日: 2011-11-18
• [学会発表] 斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータ–不確かさ評価- (2011)
  • 著者名/発表者名: 齋藤輝文、尾崎恭介、福井一俊
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学小白川キャンパス
  • 年月日: 2011-08-31
• [学会発表] VUVエリプソメトリーを用いたAlNの光学定数 (2011)
  • 著者名/発表者名: 尾崎恭介、福井一俊、岩井浩紀、山本晃司、齋藤輝文、三宅秀人、平松和政
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学小白川キャンパス
  • 年月日: 2011-08-30
• [学会発表] VUV エリプソメトリーを用いたAlN の光学定数 (2011)
  • 著者名/発表者名: 尾崎 恭介, 福井 一俊, 岩井 浩紀, 山本 晃司, 齊藤 輝文, 三宅 秀人, 平松 和政
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学小白川キャンパス
• [学会発表] 斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータ -不確かさ評価- (2011)
  • 著者名/発表者名: 齊藤 輝文, 尾崎 恭介, 福井 一俊
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学小白川キャンパス
• [学会発表] 紫外・真空紫外分光エリプソメトリーの開発
  • 著者名/発表者名: 中村康寛, 尾崎恭介, 福井 一俊, 齋藤輝文, 堀米利夫
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学
• [学会発表] 斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータによるストークス・パラメータおよび光学定数測定
  • 著者名/発表者名: 齋藤輝文, 尾﨑恭介, 福井 一俊, 岩井浩紀, 山本 晃司, 三宅秀人, 平松和政
  • 学会等名: 第8回偏光計測研究会
  • 発表場所: 東京都千代田区