研究課題
基盤研究(C)
パルス静電応力（PEA）法は，絶縁材料中の電荷分布を非破壊で測定する方法で,絶縁材料の開発や性能評価に広く利用されている。PEA法では試料にパルス電界を印加した時に内部に分布する電荷に働く静電気力により発生する音波を利用している。このため試料や電極の音響的特性が測定精度に影響する。本研究では，音響特性による誤差を補正する方法について調査を行った。その結果，PEA法による空間電荷分布測定装置に音響インピーダンス顕微鏡（AIM）の仕組みを組み込み，試料と電極の音響特性と空間電荷分布信号を同時に測定し，信号処理することでこれらの誤差を補正する方法を見出した。
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