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酸化亜鉛透明トランジスタと積層式色分離型光電変換素子からなる光デバイスの創成

研究課題

研究課題/領域番号 23560408
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関高知工科大学

研究代表者

古田 守  高知工科大学, 工学部, 教授 (20412439)

研究分担者 浦岡 行治  奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (20314536)
木村 睦  龍谷大学, 理工学部, 教授 (60368032)
研究期間 (年度) 2011 – 2013
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2011年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワード先端機能デバイス / 電子・電気材料 / 半導体物性 / 酸化物半導体 / 透明回路 / イメージセンサ / イメージセンサー / 薄膜トランジスタ / デバイスシミュレーション
研究概要

本研究はワイドバンドギャップ酸化物半導体による透明トランジスタの実現に向けたものであり、酸化物半導体や絶縁膜と半導体界面の格子欠陥が電気特性や信頼性に及ぼす影響を明らかにすると同時に欠陥の不活性化手法を検討した。
本研究により可視光照射下においても電気的特性の変化のない、真の透明トランジスタを実現し、透明トランジスタからなる信号読み出し回路を有する新たな積層式色分離型光電変換素子を実証した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (98件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (32件) (うち査読あり 31件) 学会発表 (55件) (うち招待講演 6件) 図書 (3件) 備考 (8件)

  • [雑誌論文] Suppression of degradation induced by negative gate bias and illumination stress in amorphous InGaZnO thin-film transistor by applying negative drain bias2014

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, M. Furuta, 他計5名(5番)
    • 雑誌名

      ACS applied Materials and Interfaces

      巻: 6 号: 8 ページ: 5713-5718

    • DOI

      10.1021/am500300g

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High performance solution-processed InGaZnO thin-film Transistor fabricated by ozone-assisted atmospheric pressure mist deposition2014

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 他計5名(1番)
    • 雑誌名

      Journal of Display Technology (IEEE)

      巻: (in-press) 号: 11 ページ: 934-938

    • DOI

      10.1109/jdt.2013.2294967

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Negative bias illumination stress induced electron trapping at back-channel interface of InGaZnO thin-film transistor2014

    • 著者名/発表者名
      M. P. Hung, M. Furuta, 他計4名(4番)
    • 雑誌名

      Electrochemical and Solid-State Letters

      巻: 3(3) 号: 3 ページ: Q13-Q16

    • DOI

      10.1149/2.010403ssl

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultrasonic-assisted mist chemical vapor deposition of II-oxide and related oxide compounds2014

    • 著者名/発表者名
      Shizuo Fujita, Kentaro Kaneko, Takumi Ikenoue, Toshiyuki Kawaharamura and Mamoru Furuta
    • 雑誌名

      Physica status solidi (c)

      巻: 未定 号: 7-8 ページ: 1225-1228

    • DOI

      10.1002/pssc.201300655

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of drain bias on negative gate bias and illumination stress induced degradation in amorphous InGaZnO thin-film transistors2014

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, M.-P. Hung, J. Jiang, T. Toda, C. Li, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 3S1 ページ: 03CC01-03CC01

    • DOI

      10.7567/jjap.53.03cc01

    • NAID

      210000143469

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low temperature deposition of SiOx insulator film with newly developed facing electrodes chemical vapor deposition2014

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuda, M. Furuta, T. Hiramatsu, H. Furuta, T. Kawaharamura, and T. Hirao
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 101 ページ: 189-192

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2013.08.003

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Substrates on Formation of Zinc Oxide Nanostructures by a Novel Reducing Annealing Method2014

    • 著者名/発表者名
      X. Li, C. Li, T. Kawaharamura, D. Wang, N. Nitta, M. Furuta, H. Furuta, and A. Hatta
    • 雑誌名

      Nanoscience and Nanotechnology Letters

      巻: 6 号: 2 ページ: 174-180

    • DOI

      10.1166/nnl.2014.1708

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermal analysis of amorphous oxide thin-film transistor degraded by combination of joule heating and hot carrier effect2013

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, M. Furuta, Y. Uraoka, 他計11名(8番)
    • 雑誌名

      Applie Physics letters

      巻: 102 号: 5

    • DOI

      10.1063/1.4790619

    • NAID

      120005254613

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The deterioration phenomenon of amorphous InSnZnO transistors derivered from the process of annealing2013

    • 著者名/発表者名
      S. Tomai, M. Furuta, 他計10名(10番)
    • 雑誌名

      Electrochemical and Solid-State Letters

      巻: 2(12) 号: 12 ページ: P107-P109

    • DOI

      10.1149/2.003312ssl

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth and electrical properties of AlOx grown by mist chemical vapor deposition2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawaharamura, M. Furuta, 計4名(4番)
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 3(3) 号: 3

    • DOI

      10.1063/1.4798303

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermal Distribution in Amorphous InSnZnO Thin-Film Transistor2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Urakawa, Shigekazu Tomai, Yoshihiro Ueoka, Haruka Yamazaki, Masashi Kasami, Koki Yano, Dapeng Wang, Mamoru Furuta, Masahiro Horita, Yasuaki Ishikawa, and Yukiharu Uraoka
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi C

      巻: 10 号: 11 ページ: 1561-1564

    • DOI

      10.1002/pssc.201300253

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancing carrier mobility of IGZO TFT fabricated by non-vacuum mist CVD with O3 assistance2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawaharamura, T. Uchida, M. Sanada, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Physica status solidi (c)

      巻: 10 号: 11 ページ: 1565-1568

    • DOI

      10.1002/pssc.201300247

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thin-Film Transistors Using Uniform and Well-Aligned Single-Walled Carbon Nanotubes Channels by Dielectrophoretic Assembly2013

    • 著者名/発表者名
      T. Toda, H. Furusawa, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 3S ページ: 03BB09-03BB09

    • DOI

      10.7567/jjap.52.03bb09

    • NAID

      210000141915

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Trap Densities in ZnO TFTs with SiNx/SiOx Stacked Gate Insulators Fabricated Using Several N2O Flow Rate during SiOx Deposition2013

    • 著者名/発表者名
      Mutsumi Kimura, Tokiyoshi Matsuda, Mamoru Furuta, Takahiro Hiramatsu, Hiroshi Furuta, Chaoyang Li, Takashi Hirao, Yudai Kamada, and Shizuo Fujita
    • 雑誌名

      ECS Transaction

      巻: 54 (1) 号: 1 ページ: 121-126

    • DOI

      10.1149/05401.0121ecst

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] (Invited) Negative-Bias with Illumination Stress Induced State Creation in Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, M. P. Hung, J. Jiang, D. Wang, S. Tomai, H. Hayasaka, amd K. Yano
    • 雑誌名

      ECS Transaction

      巻: 54 (1) 号: 1 ページ: 127-134

    • DOI

      10.1149/05401.0127ecst

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thin-Film Transistors Using Dielectrophoretic Assembly of Single-Walled Carbon Nanotubes2013

    • 著者名/発表者名
      T. Toda, T. Kawaharamura, H. Furusawa, and M. Furuta
    • 雑誌名

      ECS Transaction

      巻: 50 (8) 号: 8 ページ: 223-228

    • DOI

      10.1149/05008.0223ecst

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A-InGaZnO Thin-Film Transistor with Non-Vacuum Processed InGaZnO/AlOx Gate Dielectric Stack2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, T. Kawaharamura, T. Toda, and D. Wang
    • 雑誌名

      ECS Transaction

      巻: 50 (8) 号: 8 ページ: 95-100

    • DOI

      10.1149/05008.0095ecst

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Stoichiometry Control of ZnO Thin Film by Adjusting Working Gas Ratio during Radio Frequency Magnetron Sputtering2013

    • 著者名/発表者名
      C. Li, D. Wang, Z. Li, X. Li, T. Kawaharamura, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Journal of Materials

      巻: 2013 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ミストCVD法によるAlOx薄膜作製に対するO3支援の効果2013

    • 著者名/発表者名
      内田貴之, 川原村敏幸, 古田守, 眞田克
    • 雑誌名

      日本材料学会誌

      巻: 62 ページ: 663-667

    • NAID

      130003384101

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] Electrical Properties of the Thin-Film Transistor With an Indium–Gallium–Zinc Oxide Channel and an Aluminium Oxide Gate Dielectric Stack Formed by Solution-Based Atmospheric Pressure Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, T. Kawaharamura, D. Wang, T. Hirao, T. Toda, and G. T. Dang
    • 雑誌名

      IEEE Electron Devices Letters

      巻: 33 号: 6 ページ: 851-853

    • DOI

      10.1109/led.2012.2192902

    • NAID

      120005254627

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Photoleakage current of TFTs with ZnO channels formed at various oxygen partial pressure under visible light irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      S. Shimakawa, M. Furuta, 他計8名(8番)
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 3S ページ: 03CB04-03CB04

    • DOI

      10.1143/jjap.51.03cb04

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書 2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A 128×96 Pixel, 50 mm Pixel Pitch Transparent Readout Circuit using InGaZnO4 Thin Film Transistor Array with Indium-Tin-Oxide Electrodes for Organic Image Sensor2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sakai, H. Seo, S. Aihara, M. Kubota, N. Egami, D. Wang, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 1R ページ: 010202-010202

    • DOI

      10.1143/jjap.51.010202

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書 2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Photo Induced Negative Bias Instability of Zinc Oxide Thin-Film Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      S. Shimakawa, D. Wang, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 10R ページ: 108003-108003

    • DOI

      10.1143/jjap.51.108003

    • NAID

      210000073028

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystallization Using Biomineralized Nickel Nanodots of Amorphous Silicon Thick Films Deposited by Chemical Vapor Deposition, Sputtering and Electron Beam Evaporation2012

    • 著者名/発表者名
      Takashi Nishida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 3S ページ: 03CA01-03CA01

    • DOI

      10.1143/jjap.51.03ca01

    • NAID

      210000140373

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Well-arrayed ZnO nanostructure formed by multi-annealing processes at low temperature2012

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, Z. Li, T. Kawaharamura, M. Furuta, T. Narusawa, and C. Li
    • 雑誌名

      physica status solidi (c)

      巻: 9 号: 2 ページ: 194-197

    • DOI

      10.1002/pssc.201100271

    • NAID

      120005729026

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Practical Guidance of Parameter Extraction for Device Simulation of Thin-Film Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      M. Kimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 5R ページ: 054302-054302

    • DOI

      10.1143/jjap.51.054302

    • NAID

      40019280399

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature-Processed Zinc Oxide Thin-Film Transistors Fabricated by Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Yumi Kawamura
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 号: 2S ページ: 02BF04-02BF04

    • DOI

      10.1143/jjap.51.02bf04

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extraction of Trap Densities in ZnO Thin-film Transistors and Dependence on Oxygen Partial Pressures during Sputtering of ZnO Films2011

    • 著者名/発表者名
      M. Kimura, M. Furuta,他計9名(2番)
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Electron Devices

      巻: 58 号: 9 ページ: 3018-3024

    • DOI

      10.1109/ted.2011.2158546

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Trap Densities in ZnO Thin-Film Transistors with SiOx Gate Insulators by Several Deposition Conditions2011

    • 著者名/発表者名
      M. Kimura, M. Furuta, 他計9名
    • 雑誌名

      Electrochemical and Solid-State Letters

      巻: 14 号: 9 ページ: H365-H365

    • DOI

      10.1149/1.3601058

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ZnO Thin Films Fabricated by Plasma-Assisted Atomic, Layer Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      Yumi Kawamura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.50 号: 4S ページ: 04DF05-04DF05

    • DOI

      10.1143/jjap.50.04df05

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Successful growth of conductive highly-crystalline Sn-dopedα-Ga2O3 thin films by fine channel mist chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      T. Kawaharamura, Giang T. Dang, and M. Furuta
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.51 号: 4R ページ: 40207-40207

    • DOI

      10.1143/jjap.51.040207

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Unque Phenomenon in Degradation of Amorphous In_2O_3-Ga_2O_3-ZnO Thin-Film Transistors under Dynamic Stress2011

    • 著者名/発表者名
      Mami Fujii
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Express

      巻: 4 号: 10 ページ: 104103-104105

    • DOI

      10.1143/apex.4.104103

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Negative bias with illumination stress induced state creation in a-InGaZnO TFT2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 計7名(1番)
    • 学会等名
      International Conference of Semiconductor Technology for ULSI and TFT
    • 発表場所
      Grenoble, France
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] High performance oxide Thin-Film Transistor fabricated using atmospheric pressure deposition method2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 計1名(1番)
    • 学会等名
      International Conference on Advanced Materials
    • 発表場所
      Qingdao, China
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Atmospheric pressure Processed InGaZnO Thin-film transistors2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 計2名(1番)
    • 学会等名
      IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] High Mobility Atmospheric-Pressure-Processed IGZO TFT with AlOx/IGZO Stack Fabricated by Mist Chemical Vapor Deposition2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, T. Kawaharamura, T. Kaida, and D. Wang
    • 学会等名
      The 20th International Display Workshops (IDW’13)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Reaction Mechanism for Fabrication of High Quality IGZO Thin Films Grown by Non-Vacuum Mist CVD with O3 Assistance2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawaharamura, T. Kaida, and M. Furuta
    • 学会等名
      2013 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, MA, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Single Crystalline ZnO Nanorods Fabricated by Mist Chemical Vapor Deposition for Optical Applications2013

    • 著者名/発表者名
      C. Li, X. Li, D. Wang, T. Kawaharamura, M. Furuta, and A. Hatta
    • 学会等名
      The 20th International Display Workshops (IDW’13)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Influence of Charge Trapping on Hysteresis of InGaZnO Thin-Film Transistors under Negative Bias and Illumination Stress2013

    • 著者名/発表者名
      M. P. Hung, D. Wang, J. Jiang, and M. Furuta
    • 学会等名
      The 20th International Display Workshops (IDW’13)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] High-performance oxide thin-film transistors fabricated using atmospheric pressure deposition method2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, T. Kawaharamura
    • 学会等名
      International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM2013)
    • 発表場所
      Qingdao, China.
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Effect of Active Layer Thickness on Negative Bias and Illumination Stress Induced Degradation in Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors2013

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, J. Jiang, M. P. Hung, T. Toda, C. Li, and M. Furuta
    • 学会等名
      International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM2013)
    • 発表場所
      Qingdao, China.
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Developing a Novel Hybrid Method for Fabricating Well-aligned Zinc Oxide Nanorod2013

    • 著者名/発表者名
      X. Li, E. Pradeep, T. Kawaharamura, D. Wang, A. Hatta, M. Furuta, and C. Li
    • 学会等名
      International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM2013)
    • 発表場所
      Qingdao, China.
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Investigation of Degradation Mechanism in Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors under Negative Bias and Illumination Stress by Simulation2013

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, J. Jiang, M. P. Hung, T. Toda, C. Li, and M. Furuta
    • 学会等名
      The 13th International Meeting on Information Display (IMID 2013)
    • 発表場所
      Daegu, Republic of Korea
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] High Mobility IGZO TFT fabricated by Solution-Based Non-Vacuum Mist Chemical Vapor Deposition2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawaharamura and M. Furuta
    • 学会等名
      4th International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors
    • 発表場所
      Villard-de-Lans (Grenoble area), France
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Negative-Bias with Illumination Stress Induced State Creation in a-InGaZnO TFT2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, M. P. Hung, J. Jiang, D. Wang, S. Tomai, H. Hayasaka, K. Yano
    • 学会等名
      4th International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors
    • 発表場所
      Villard-de-Lans (Grenoble area), France
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Effect of Drain Bias on Negative Gate Bias and Illumination Stress Induced Degradation in Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors2013

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, M. P. Hung, J. Jiang, C. Li, and M. Furuta
    • 学会等名
      The Twentieth International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD 13)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of High Conductive ITO Thin Film for Photovoltaic Applications2013

    • 著者名/発表者名
      X. Li, C. Li, D. Wang, C. Pradeep, M. Furuta, and A. Hatta
    • 学会等名
      The Twentieth International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD 13)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Thermal Degradation and Theoretical Analysisof Amorphous Oxide Thin-Film Transistor2013

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, S. Tomai, M. Kasami, K. Yano, D. Wang, M. Furuta, M. Kimura, M. Horita, Y. Ishikawa, and Y. Uraoka
    • 学会等名
      The Twentieth International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD 13)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Morphology Controlled Single-crystal ZnO Nanostructures Fabricated by a Novel Mist Chemical Vapor Deposition2013

    • 著者名/発表者名
      C. Li, X. Li, D. Wang, T. Kawaharamura, N. Nitta, M. Furuta, and A. Hatta
    • 学会等名
      Society for Information Display (SID2013)
    • 発表場所
      Vancouver, Canada
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Trap States in Amorphous In-Sn-Zn-O Thin-Film Transistors Analyzed Using Dependence on Channel Thickness2013

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuda, M. Kimura, J. Jiang, D. Wang, M. Furuta, M. Kasami, S. Tomai, and K. Yano
    • 学会等名
      Society for Information Display (SID2013)
    • 発表場所
      Vancouver, Canada
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Atmospheric Pressure Processed InGaZnO Thin-Film Transistors2013

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, T. Kawaharamura
    • 学会等名
      International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Enhancing carrier mobility of IGZO TFT fabricated by Mist CVD with O3 assistance2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawaharamura, T. Uchida, D. Wang, M. Sanada, and M. Furuta
    • 学会等名
      The 40th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2013)
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Thermal Distribution in Amorphous InSnZnO Thin-Film Transistor2013

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, S. Tomai, Y. Ueoka, H. Yamazaki, M. Kasami, K. Yano, D. Wang, M. Furuta, M. Horita, Y. Ishikawa, and Y. Uraoka
    • 学会等名
      The 40th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2013)
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バックチャネル欠陥準位がa-InGaZnO薄膜トランジスタ特性及び信頼性に与える影響2013

    • 著者名/発表者名
      戸田達也,Dapeng Wang,Jingxin Jiang,Phi Hung Mai,古田守
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京都)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 酸化物薄膜トランジスタにおける発熱効果および劣化現象のサイズ依存性2013

    • 著者名/発表者名
      浦川哲,笘井重和,笠見雅司,矢野公規,Wang Dapeng,古田守,堀田昌宏,石河泰明,浦岡行治
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京都)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] ZnSnO薄膜トランジスタにおけるMgOドーピング効果2013

    • 著者名/発表者名
      竹之内良太, 王大鵬, 石井林太郎, 高橋広己, 久保田高史, 古田守
    • 学会等名
      第9回薄膜材料デバイス研究集会
    • 発表場所
      龍谷大学アバンティ響都ホール(京都)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] オゾン支援ミストCVD法による高移動度(>10cme/Vs)IGZO TFT~TFT特性のチャネル組成依存性~2013

    • 著者名/発表者名
      介田忠宏, 川原村敏幸, 古田守
    • 学会等名
      第9回薄膜材料デバイス研究集会
    • 発表場所
      龍谷大学アバンティ響都ホール(京都)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Degradation Phenomena in Amorphous Oxide Thin-Film Transistor by Self-Heating Effect2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Urakawa, Shigekazu Tomai, Yoshihiro Ueoka, Haruka Yamazaki, Masashi Kasami, Koki Yano, Dapeng Wang, Mamoru Furuta, Masahiro Horita, Yasuaki Ishikawa, Yukiharu Uraoka
    • 学会等名
      The 9th International Thin-Film Transistor Conference 2013 (ITC2013)
    • 発表場所
      The University of Tokyo, Tokyo, Japan.
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Influence of Front- and Back-Channel Traps on Electrical Properties of Oxide TFTs with Various Channel Thicknesses2013

    • 著者名/発表者名
      Jingxin Jiang, Dapeng Wang, Mamoru Furuta
    • 学会等名
      The 9th International Thin-Film Transistor Conference 2013 (ITC2013)
    • 発表場所
      The University of Tokyo, Tokyo, Japan.
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] High performance a-InGaZnOx Thin-Film Transistors fabricated by Solution-Based Atmospheric Pressure Deposition Method2013

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Furuta, Toshiyuki Kawaharamura, T. Uchida, Dapeng Wang, M. Sanada
    • 学会等名
      The 9th International Thin-Film Transistor Conference 2013 (ITC2013)
    • 発表場所
      The University of Tokyo, Tokyo, Japan.
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Solution-Based Atmospheric Pressure Deposition Method for Oxide TFTs2012

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 計3名(1番)
    • 学会等名
      The 19th International Display Workshops
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Oxide Thin-Film Transistors for Flat Panel Displays and Transparent Electronics2012

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 計1名(1番)
    • 学会等名
      20th International Conference on Composites or Nano Engineering
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Optical Properties of Nanostructured ZnO Films Influenced by Different Gas Ratio Deposition with Radio Frequency Magnetron Sputtering2012

    • 著者名/発表者名
      Chaoyang Li, Xin Li, Dapeng Wang, Toshiyuki Kawaharamura, Mamoru Furuta, Akimitsu Hatta
    • 学会等名
      The 19th International Display Workshops in conjunction with Asia Display 2012 (IDW/AD’12)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Solution-Based Atmospheric Pressure Deposition Method for Oxide TFTs2012

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Furuta, Toshiyuki Kawaharamura, Dapeng Wang
    • 学会等名
      The 19th International Display Workshops in conjunction with Asia Display 2012 (IDW/AD’12)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] a-InGaZnO Thin-Film Transistor with Non-Vacuum Processed InGaZnO/AlOx Gate Dielectric Stack2012

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Furuta, Toshiyuki Kawaharamura, Tatsuya Toda, Dapeng Wang
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science (PRiME2012)
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Self-Organized Growth ZnO Based Nanorods for Photonic Device Application2012

    • 著者名/発表者名
      Chaoyang Li, Dapeng Wang, Xin Li, Toshiyuki Kawaharamura, Mamoru Furuta, Akimitsu Hatta
    • 学会等名
      The 12th International Meeting on Information Display (IMID2012)
    • 発表場所
      Daegu, Korea
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Floating Body Effects in High-Mobility Oxide Thin-film Transistor2012

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Furuta, Dapeng Wang, Jingxin Jiang, Toshiyuki Kawaharamura, Chaoyang Li
    • 学会等名
      The 12th International Meeting on Information Display (IMID2012)
    • 発表場所
      Daegu, Korea
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Extraction of trap density on oxide thin-film transistors with various channel thickness2012

    • 著者名/発表者名
      Jingxin Jiang, Dapeng Wang, Chaoyang Li, Mamoru Furuta
    • 学会等名
      20th Annual International Conference on Composites or Nano Engineering (ICCE-20)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Influence of substrate on zinc oxide nanostructrues grown by thermal annealing2012

    • 著者名/発表者名
      Xin Li, Chaoyang Li, Toshiyuki Kawaharamura, Dapeng Wang, Hiroshi Furuta, Mamoru Furuta, Akimitsu Hatta
    • 学会等名
      The 20th Annual International Conference on Composites or Nano Engineering (ICCE-20)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Oxide Thin-film Transistors for Flat Panel Display and Transparent Electronics Applications2012

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Furuta
    • 学会等名
      The 20th Annual International Conference on Composites or Nano Engineering (ICCE-20)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Influence of Active Layer Thickness on Performance and Reliability of InSnZnO Thin-Film Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      Dapeng Wang, Chaoyang Li, Mamoru Furuta, Shigekazu Tomai, Misa Sunagawa, Mami Nishimura, Emi Kawashima, Masashi Kasami, Koki Yano
    • 学会等名
      The Nineteenth International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD 12)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Structural and Electrical Properties of Al2O3 Film Grown by Mist Chemical Vapour Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Kawaharamura, Dapeng Wang, Tetsuya Toda, Chaoyang Li, Mamoru Furuta
    • 学会等名
      The Nineteenth International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD 12)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Synthesis and photoluminescence properties of vertically well-aligned ZnO nanostructures2012

    • 著者名/発表者名
      Chaoyang Li, Dapeng Wang, Toshiyuki Kawaharamura, Zeming Li, Noriko Nitta, Mamoru Furuta, Akimitsu Hatta
    • 学会等名
      Information Display's Display Week 2012 (SID 2012)
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Electrical properties of oxide TFT with an IGZO/AlOx stack grown by solution-based non-vacuum mist chemical vapour deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Kawaharamura, Dapeng Wang, Mamoru Furuta
    • 学会等名
      Information Display's Display Week 2012 (SID 2012)
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor with solution-based atmospheric pressure deposited IGZO/AlOx Gate Dielectric Stack2012

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Furuta, Toshiyuki Kawaharamura, Dapeng Wang
    • 学会等名
      8th International Thin-Film Transistor Conference (ITC 2012)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Photo-induced Bias Instability of Zinc Oxide Thin-Film Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Shimakawa, Dapeng Wang, Mamoru Furuta
    • 学会等名
      8th International Thin-Film Transistor Conference (ITC 2012)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Photo-Induced Bias Instability of Zinc Oxide Thin-Film Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      S. Shimakawa, D. Wang, and M. Furuta
    • 学会等名
      International Thin-Film Transistor Conference (ITC2012)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] a-IGZO TFT with Solution-Based Atmospheric Pressure Deposited IGZO/AlOx Gate Dielectric Stack2012

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, S. Shimakawa, D. Wang,
    • 学会等名
      International Thin-Film Transistor Conference (ITC2012)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Super Low-Temperature Crystallization of Polycrystalline Silicon Thin Films by Underwater Laser Annealing2012

    • 著者名/発表者名
      E. Machida, Y.Uraoka
    • 学会等名
      International Thin-Film Transistor Conference (ITC2012)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] High reliability a-InGaZnO thin film transistors with low hydrogen SiNx gate insulators2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Haruka, Y.Uraoka
    • 学会等名
      International Thin-Film Transistor Conference (ITC2012)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Color Image Sensor with Virtically-stacked Organic Photoconductive Films2011

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, 計7名(6番)
    • 学会等名
      The 18th International Display Workshops (IDW'11)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Photo-Leakage Current and Hysteresis of the ZnO TFTs under Visible Light Irradiation2011

    • 著者名/発表者名
      M. Furuta, Y. Kamada, T. Hiramatsu, T. Matsuda, S. Shimakawa, C. Li, S. Fujita, and T. Hirao
    • 学会等名
      International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Display and Devices
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Effects of Excimer Laser annealing of Oxide Semiconductor Films2011

    • 著者名/発表者名
      M.Fujii, Y.Uraoka
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      名古屋
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Crystallinity of Polycrystalline Silicon Formed by Underwater Laser Annealing2011

    • 著者名/発表者名
      E.Machida, Y.Uraoka
    • 学会等名
      International Meeting on Information Display
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] 酸化亜鉛薄膜トランジスタのサブギャップ準位と電気特性・信頼性への影響2011

    • 著者名/発表者名
      古田 守、島川 伸一
    • 学会等名
      シリコン材料デバイス研究会(招待講演)
    • 発表場所
      奈良
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Features and Applications of Various TFTs - Si based Matured TFTs and Oxide Semiconductor based Transparent TFTs2011

    • 著者名/発表者名
      Mutsumi Kimura
    • 学会等名
      2011 IEEE Photonics Conference(招待講演)
    • 発表場所
      USA
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] 広がる薄膜トランジスタ技術とデバイス2011

    • 著者名/発表者名
      木村 睦
    • 学会等名
      第131回電子セラミック・プロセス研究会(招待講演)
    • 発表場所
      横浜
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [図書] 応用物理, "ミスト化学気相成長法を用いた大気圧薄膜形成と酸化物機能デバイスのグリーンプロセス化"2014

    • 著者名/発表者名
      川原村敏幸, 古田守
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      応用物理学会(2014年9月号掲載決定)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [図書] 月刊ディスプレイ(2013年10月号), "溶液プロセスによる酸化物半導体TFTの大気圧形成技術"2013

    • 著者名/発表者名
      古田守, 川原村敏幸
    • 出版者
      テクノタイムス社
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [図書] 月刊ディスプレイ 2013年10月号2013

    • 著者名/発表者名
      古田 守、川原村 敏幸
    • 出版者
      (株)テクノタイムズ社
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [備考] 高知工科大学 古田研究室

    • URL

      http://www.env.kochi-tech.ac.jp/m-furuta/

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [備考] 本研究の詳細に関する公開

    • URL

      http://www.env.kochi-tech.ac.jp/m-furuta/research01.html

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [備考] 高知工科大学 古田研究室ホームページ

    • URL

      http://www.env.kochi-tech.ac.jp/m-furuta/

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [備考] 研究紹介(積層式色分離型イメージセンサ)

    • URL

      http://www.env.kochi-tech.ac.jp/m-furuta/research01.html

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [備考] 古田研究室HP 酸化物半導体による透明エレクトロニクスによる研究

    • URL

      http://www.env.kochi-tech.ac.jp/m-furuta/research01.html

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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