微小球マイクロオプティクスのオンデマンド型レーザー転写作製技術の開発

• 研究課題/領域番号: 23760062
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 応用光学・量子光工学
• 研究機関: 独立行政法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 奈良崎 愛子 独立行政法人産業技術総合研究所, 環境技術研究部門, 主任研究員 (40357687)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2011年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: 光プロセシング / レーザー転写 / 微小球 / 酸化物 / レーザープロセッシング / オンデマンド作製 / 有限要素法

研究概要

本研究では、微小球マイクロオプティクスの新たなオンデマンド作製法開発を目指し、レーザー転写を利用した酸化物微小球の調製に取り組んだ。これまで酸化物の場合、レーザー照射時の原料膜破砕や転写サイズの微細化に課題があった。そこで有限要素法による原料膜内高温分布シミュレーションを実施、条件最適化を図った結果、ミクロンサイズの酸化物微小球のオンデマンド作製に成功した。

研究成果

• [雑誌論文] On-Demand Preparation of Microdot Patterns by Laser-Induced Dot Transfer (2012)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子、黒崎諒三、佐藤正健、川口喜三、渡邊歴、新納弘之
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro Nanoengineering 巻: Vol. 7, No. 1 号: 1 ページ: 77-80
  • DOI: 10.2961/jlmn.2012.01.0015
• [学会発表] レーザー転写による酸化物マイクロドット集積化技術の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: 大阪大学接合科学研究所研究集会
  • 発表場所: 大阪大学(大阪府)
  • 年月日: 2013-03-18
• [学会発表] レーザー誘起ドット転写法における転写挙動の考察:ダブルパルス照射効果 (2013)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会 33回年次大会
  • 発表場所: 姫路商工会議所(兵庫県)
  • 年月日: 2013-01-30
• [学会発表] レーザー誘起ドット転写法の高度化研究:有限要素法による伝熱解析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: 第6回真空紫外光源およびレーザーアブレーションに関するワークショップ
  • 発表場所: 産業技術総合研究所(茨城県)
  • 年月日: 2012-03-26
• [学会発表] レーザー誘起ドット転写法における転写挙動の考察:有限要素法によるレーザー誘起高温分布シミュレーション (2012)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: レ-ザー学会学術講演会第32回年次大会
  • 発表場所: TKP 仙台カンファレンスセンター(宮城県)
  • 年月日: 2012-01-30
• [学会発表] レーザー誘起ドット転写法における転写挙動の考察：有限要素法によるレーザー誘起高温分布シミュレーション (2012)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎 愛子、佐藤 正健、新納 弘之
  • 学会等名: レ-ザー学会学術講演会第32回年次大会
  • 発表場所: ＴＫＰ仙台カンファレンスセンター(宮城県）
• [学会発表] レーザー誘起ドット転写法の高度化研究：有限要素法による伝熱解析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎 愛子
  • 学会等名: 第6回真空紫外光源およびレーザーアブレーションに関するワークショップ
  • 発表場所: 産業技術総合研究所（茨城県）
• [学会発表] On-Demand Preparationof Microdot Patterns by Laser-Induced Dot Transfer (2011)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: 第12回レーザ精密微細加工国際シンポジウム(LPM2011)
  • 発表場所: かがわ国際会議場(香川県)
  • 年月日: 2011-06-07
• [学会発表] On-Demand Preparation of Microdot Patterns by Laser-Induced Dot Transfer (2011)
  • 著者名/発表者名: 奈良崎 愛子、黒崎 諒三、佐藤 正健、川口 喜三、渡邉 歴、新納 弘之
  • 学会等名: 第12回レーザ精密微細加工国際シンポジウム(LPM2011)
  • 発表場所: かがわ国際会議場（香川県）
• [学会発表] レーザー転写による酸化物マイクロドット集積化技術の開発
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: 大阪大学接合科学研究所研究集会
  • 発表場所: 大阪大学（大阪府）
  • 招待講演
• [学会発表] レーザー誘起ドット転写法における転写挙動の考察：ダブルパルス照射効果
  • 著者名/発表者名: 奈良崎愛子
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会33回年次大会
  • 発表場所: 姫路商工会議所（兵庫県）
• [産業財産権] 酸化物ドットパターンの作製方法及び酸化物ドットパターン (2013)
  • 発明者名: 奈良崎愛子、新納弘之、佐藤正健、黒崎諒三
  • 権利者名: 独立行政法人産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 2013-049567
  • 出願年月日: 2013-03-12
• [産業財産権] 酸化物ドットパターンの作製方法 (2013)
  • 発明者名: 奈良崎 愛子, 新納 弘之, 佐藤 正健, 黒崎 諒三
  • 権利者名: 産業技術総合研究所
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2013-049567
  • 出願年月日: 2013-03-12
  • 取得年月日: 2016-11-18
  • 説明: (旧名称) 酸化物ドットパターンの作製方法及び酸化物ドットパターン ※発明の名称変更有り (H28.08.31付け【手続補正書】より)