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MEMS技術を用いた薄膜構造材料の力学特性評価と破壊メカニズムの解明

研究課題

研究課題/領域番号 23760103
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関立命館大学

研究代表者

安藤 妙子  立命館大学, 理工学部, 准教授 (70335074)

研究期間 (年度) 2011 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2011年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
キーワードマイクロマシン / マイクロ材料 / 破壊力学 / 半導体材料 / 単結晶シリコン / 機械的特性 / ヤング率 / 引張強度 / 不純物濃度 / マイクロ材料力学 / MEMS / 破壊特性 / 脆性延性遷移
研究概要

本研究では,マイクロ・ナノメートル領域におけるシリコン単結晶の破壊特性に影響を及ぼす要因を明らかにすることを目的としている.そのため,マイクロ・ナノスケール試料のための引張試験用マイクロデバイスの開発を行った.BとGeが不純物として同時添加されたウェハにおいて,不純物濃度の異なるものを比較試料として用いた.結果,不純物濃度の上昇とともに,ヤング率・破壊応力が減少する傾向が明らかとなった.

報告書

(3件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2013 その他

すべて 学会発表 (4件)

  • [学会発表] Dependence of Mechanical on Position in Silicon Ingot by Evaluating B and Ge Codoped Silicon2013

    • 著者名/発表者名
      T. Shirata
    • 学会等名
      The 17th InternationalConference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      バルセロナ(スペイン)
    • 年月日
      2013-06-18
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] シリコンインゴットの部位における機械特性の依存性をボロンとゲルマニウムのコドープシリコンによる評価2013

    • 著者名/発表者名
      白田竜也
    • 学会等名
      日本機械学会2013年度年次大会
    • 発表場所
      岡山大学(岡山県)
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] シリコンインゴットの部位における機械特性の依存性をボロンとゲルマニウムのコドープシリコンによる評価2013

    • 著者名/発表者名
      白田竜也
    • 学会等名
      日本機械学会 2013年度年次大会
    • 発表場所
      岡山大学津島キャンパス(岡山県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Dependence of Mechanical on Position in Silicon Ingot by Evaluating B and Ge Codoped Silicon

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Shirata
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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