ＩｎＧａＮ量子構造活性層を内在する超薄膜ＧａＮナノウォール発光デバイスの研究

• 研究課題/領域番号: 24310106
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 一部基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 上智大学
• 研究代表者: 菊池 昭彦 上智大学, 理工学部, 教授 (90266073)
• 連携研究者: 岸野 克己 上智大学, 理工学部, 教授 (90134824)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 20,020千円 (直接経費: 15,400千円、間接経費: 4,620千円); 2015年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2014年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2013年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円); 2012年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
• キーワード: ナノ光デバイス / 量子構造 / 化合物半導体 / ナノ結晶 / ナノ加工 / 窒化物半導体 / 発光ダイオード / エッチング / ＧａＮ / ナノウォール / ナノコラム / GaN

研究成果の概要

窒化物半導体GaNナノウォール結晶を中心に、形状制御限界に迫る微細ナノ結晶（<50nm）の実現と光デバイス応用技術の開発を目標とした。GaNの低損傷エッチング技術である水素雰囲気異方性熱エッチング法を開発し、幅28nmのInGaN/GaNナノウォールやナノピラーの作製、青色ナノLEDの室温電流注入発光、および直径10nmのGaNナノピラーの作製を実証し、研究目標を達成した。
また、世界最高水準の広帯域（波長315～780nmの平均透過率88.2%）と高導電性（7.6Ω/sq.）を有するMgZnO/Ag(Al)/MgZnO透明度電膜と新しい機能性薄膜の堆積技術（ナノミスト堆積法）を開発した。

研究成果

• [雑誌論文] Deposition characteristics of small-molecule CBP:PBD:TPD:Ir(mppy)3 organic thin films using a modified electrospray deposition method (2016)
  • 著者名/発表者名: Yoshiki Niinuma, Yusuke Takatsuka, Ryo Terada, Hiroyuki Ueda and Akihiko Kikuchi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 55 号: 4S ページ: 04EL01-04EL01
  • DOI: 10.7567/jjap.55.04el01
  • NAID: 210000146386
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] High-quality cubic and hexagonal InN crystals studied by micro-Raman scattering and electron backscatter diffraction (2016)
  • 著者名/発表者名: Jumpei Kamimura, Manfred Ramsteiner, Uwe Jahn, Cheng-Ying James Lu, Akihiko Kikuchi, Katsumi Kishino and Henning Riechert
  • 雑誌名: Journal of Physics D: Applied Physics 巻: 49 号: 15 ページ: 155106-155106
  • DOI: 10.1088/0022-3727/49/15/155106
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Thermal durability of AZO/Ag(Al)/AZO transparent conductive films (2016)
  • 著者名/発表者名: Yukiko Sugimoto, Kanae Igarashi, Shinya Shirasaki, and Akihiko Kikuchi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 55 号: 4S ページ: 04EJ15-04EJ15
  • DOI: 10.7567/jjap.55.04ej15
  • NAID: 210000146378
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Effect of Al doping in the Ag layer of MgZnO/Ag/MgZnO dielectric/metal/dielectric UV-visible transparent conductive films (2016)
  • 著者名/発表者名: Yukiko Sugimoto, Kanae Igarashi, Shinya Shirasaki, and Akihiko Kikuchi
  • 雑誌名: Physica Status Solidi C 巻: online 号: 7-9 ページ: 1-1
  • DOI: 10.1002/pssc.201510290
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Growth of very large InN microcrystals by molecular beam epitaxy using epitaxial lateral over growth (2015)
  • 著者名/発表者名: J. Kamimura, K. Kishino and A. Kikuchi
  • 雑誌名: J. Appl. Phys 巻: 117 号: 8 ページ: 084314-084314
  • DOI: 10.1063/1.4913626
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of hydrogen environment anisotropic thermal etching and application to GaN nanostructure fabrication (2015)
  • 著者名/発表者名: Ryo Kita, Ryo Hachiya, Tomoya Mizutani, Hiroki Furuhashi and Akihiko Kikuchi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 54 号: 4 ページ: 046501-046501
  • DOI: 10.7567/jjap.54.046501
  • NAID: 210000144936
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Two-photon absorption induced anti-stokes emission in single InGaN/GaN quantum-dot-like objects (2013)
  • 著者名/発表者名: R. Bardoux, M. Funato, A. Kaneta, Y. Kawakami, A. Kikuchi and K. Kishino
  • 雑誌名: Physica Status Solidi-Rapid Research Letters 巻: 7 号: 5 ページ: 344-347
  • DOI: 10.1002/pssr.201307067
  • 査読あり
• [雑誌論文] Complex strain distribution in individual facetted InGaN/GaN nano-columnar heterostructures (2013)
  • 著者名/発表者名: R. Bardoux, M. Funato, A. Kaneta, Y. Kawakami, A. Kikuchi, and K. Kishino
  • 雑誌名: Optical Materials Express 巻: 3 号: 1 ページ: 47-53
  • DOI: 10.1364/ome.3.000047
  • NAID: 120005540813
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fundamental optical properties of InN grown by epitaxial lateral overgrowth method (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Kametani, J. Kamimura, Y. Inose, H. Kunugita, A. Kikuchi, K. Kishino, and K. Ema
  • 雑誌名: AIP Conf. Proc. 巻: 1,566 ページ: 107-108
  • DOI: 10.1063/1.4848308
  • 査読あり
• [雑誌論文] Raman scattering from surface phonons in GaN nanostructures (2013)
  • 著者名/発表者名: R. Iwaya, Y. Komatsu, S. Mitsui, H. Kuroe, T. Sekine, K. Yamano, T. Kouno, A. Kikuchi and K. Kishino
  • 雑誌名: AIP Conference Proceedings 巻: 1566 ページ: 494-494
  • DOI: 10.1063/1.4848501
  • 査読あり
• [雑誌論文] Anderson localization of light in two-dimensional random arrays of semiconductor nanocolumns (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Inose, K. Ema, M. Sakai, A. Kikuchi. K. Kishino, and T. Ohtsuki
  • 雑誌名: AIP Conf. Proc. 巻: 1566 ページ: 548-549
  • DOI: 10.1063/1.4848528
  • 査読あり
• [雑誌論文] Confinement of Optical Phonons Observed by Raman Scattering in GaN/AIN Multiple Quantum Disk Nanocolumns (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Sekine
  • 雑誌名: J. Phys. Soc. Jpn 巻: 82 号: 1 ページ: 14604-14604
  • DOI: 10.7566/jpsj.82.014604
  • 査読あり
• [雑誌論文] Breakdown of the Selection Rule of Raman Spectra in a Single GaN Nanocolumn (2012)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Mitsui, Haruhiko Kuroe, Tomoyuki Sekinel, Akihiko Kikuchi, Katsumi Kishino
  • 雑誌名: e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 巻: 10 号: 0 ページ: 321-324
  • DOI: 10.1380/ejssnt.2012.321
  • NAID: 130004438814
  • ISSN: 1348-0391
  • 査読あり
• [雑誌論文] Optical Properties of InGaN/GaN Nanocolumns in Yellow-to-Red region (2012)
  • 著者名/発表者名: J. Naka
  • 雑誌名: Phys. Stat. Soli. (c) 巻: 9 号: 12 ページ: 2477-2480
  • DOI: 10.1002/pssc.201200317
  • 査読あり
• [学会発表] 水素雰囲気熱処理InGaN/GaN多重量子井戸層の発光特性評価及び水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法によるナノ構造の作製 (2016)
  • 著者名/発表者名: 石嶋駿、小川航平、水谷友哉、蜂屋諒、菊池昭彦
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東工大大岡山キャンパス，目黒区，東京
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法によるInGaN/GaN単一量子ディスクナノLEDの作製 (2016)
  • 著者名/発表者名: 小川航平、蜂屋諒、水谷友哉、石嶋駿、菊池昭彦
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東工大大岡山キャンパス，目黒区，東京
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] ナノミスト堆積法によるAlq3/NPB低分子積層構造の成膜特性 (2016)
  • 著者名/発表者名: 上田裕之、高塚祐輔、新沼佳樹、寺田諒、菊池昭彦
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東工大大岡山キャンパス，目黒区，東京
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] ナノミスト堆積法による低分子有機薄膜の成膜条件依存性 (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺田諒、新沼佳樹、高塚祐輔、上田裕之、菊池昭彦
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東工大大岡山キャンパス，目黒区，東京
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] AMZO/Ag(Al)/AMZO-DMDにおける薄膜Ag層のAlドープ効果 (2016)
  • 著者名/発表者名: 五十嵐佳苗、杉本悠紀子、菊池昭彦
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東工大大岡山キャンパス，目黒区，東京
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] Low-damage top-down fabrication of InGaN/GaN single quantum disk nanopillars by hydrogen environment anisotropic thermal etching (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Hachiya, Tomoya Mizutani, Shun Ishijima, and Kouhei Ogawa
  • 学会等名: 4th Nano Today Conference
  • 発表場所: Dubai, Emirate of Dubai
  • 年月日: 2015-12-06
  • 国際学会
• [学会発表] Investigation of modified electrospray deposition technique for fabricating small-molecule based organic multilayer structures (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Yoshiki Niinuma, Yusuke Takatsuka, Hiroyuki Ueda, and Ryo Terada
  • 学会等名: 2015 Materials research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
  • 発表場所: Boston, MA, USA
  • 年月日: 2015-11-29
  • 国際学会
• [学会発表] Lasing action in floated connection type AlGaN microdisks (2015)
  • 著者名/発表者名: Sho Suzuki, Tetsuya Kouno, Hoshi Takeshima, Akihiko Kikuchi, Katsumi Kishino, Masaru Sakai, and Kazuhiko Hara
  • 学会等名: The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6)
  • 発表場所: Act City Hamamatsu, Hamamatsu, Shizuoka, Japan
  • 年月日: 2015-11-08
  • 国際学会
• [学会発表] Optical property of InGaN/GaN single quantum disk nano-pillars fabricated by hydrogen environment anisotropic thermal etching (HEATE) (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomoya Mizutani, Ryo Hachiya, Kohei Ogawa, Shun Ishijima, and Akihiko Kikuchi
  • 学会等名: The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6)
  • 発表場所: Act City Hamamatsu, Hamamatsu, Shizuoka, Japan
  • 年月日: 2015-11-08
  • 国際学会
• [学会発表] High-quality cubic and hexagonal InN crystals studied by micro-Raman scattering and electron backscatter diffraction (2015)
  • 著者名/発表者名: Jumpei Kamimura, Manfred Ramsteiner, Uwe Jahn, Cheng-Ying James Lu, Akihiko Kikuchi, Katsumi Kishino, and Henning Riechert
  • 学会等名: The 6th International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-6)
  • 発表場所: Act City Hamamatsu, Hamamatsu, Shizuoka, Japan
  • 年月日: 2015-11-08
  • 国際学会
• [学会発表] AlGaN Microdisks on Top of Supporting GaN Columns Fabricated using Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Suzuki, T. Kouno, H. Takeshima, A. Kikuchi, K. Kishino, M. Sakai and K. Hara
  • 学会等名: The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015)
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo, Hokkaido, Japan
  • 年月日: 2015-09-27
  • 国際学会
• [学会発表] Study on Thermal Durability of AZO/Ag(Al)/AZO Transparent Conductive Film (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Sugimoto, K. Igarashi and A. Kikuchi
  • 学会等名: The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015)
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo, Hokkaido, Japan
  • 年月日: 2015-09-27
  • 国際学会
• [学会発表] Deposition Characteristics of Small Molecule Organic Thin Film (CBP:PBD:TPD:Ir(Mppy)3) by Modifid Electrospray Deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Niinuma, D. Nishi, J. Ishino and A. Kikuchi
  • 学会等名: The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015)
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo, Hokkaido, Japan
  • 年月日: 2015-09-27
  • 国際学会
• [学会発表] Effect of Al doping in Ag layer of MgZnO/Ag/MgZnO dielectric/metal/dielectric (DMD) UV-visible transparent conductive films (2015)
  • 著者名/発表者名: Yukiko Sugimoto and Akihiko Kikuchi
  • 学会等名: 17th International Conference on II-VI Compounds and Related Materials
  • 発表場所: Paris, France
  • 年月日: 2015-09-13
  • 国際学会
• [学会発表] ナノミスト堆積（多電極型静電塗布）法による低分子Alq3成膜特性における噴霧モードの影響 (2015)
  • 著者名/発表者名: 高塚祐輔、新沼佳樹、上田裕之、寺田諒、菊池昭彦
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場, 名古屋，愛知
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法によって作製したInGaN/GaN単一量子ディスクナノピラーの光学特性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 水谷友哉、蜂屋諒、小川航平、石嶋駿、菊池昭彦
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場, 名古屋，愛知
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Fabrication of InGaN/GaN quantum well based nanostructures by hydrogen environment anisotropic thermal etching (HEATE) (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Hachiya, and Tomoya Mizutani
  • 学会等名: Workshop on Frontier Photonic and Electronic Materials and Devices - German-Japanese-Spanish Joint Workshop -
  • 発表場所: Shiran-Kaikan, Kyoto University, Kyoto, Japan
  • 年月日: 2015-07-11
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Enhanced Photoluminescence Emission of InGaN/GaN Nanopillars Fabricated by Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE) (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Kita, Ryo Hachiya, Tomoya Mizutani, and Hiroki Furuhashi
  • 学会等名: The 57th Electronic Materials Conference （EMC）
  • 発表場所: Ｏhio State University, OH, USA
  • 年月日: 2015-06-24 – 2015-06-26
• [学会発表] Fabricationof GaN based nanostructures by hydrogen environment anisotropic thermal etching(HEATE) (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Kita, Ryo Hachiya, and Tomoya Mizutani
  • 学会等名: The 7th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS 2015)
  • 発表場所: Seoul, Korea
  • 年月日: 2015-05-17 – 2015-05-20
• [学会発表] Fabrication of GaN based nanostructures by hydrogen environment anisotropic thermal etching (HEATE) (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Kita, Ryo Hachiya, and Tomoya Mizutani
  • 学会等名: The 7th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors
  • 発表場所: Seoul, Korea
  • 年月日: 2015-05-17
  • 国際学会
• [学会発表] 窒化物半導体ナノ結晶デバイス作製に向けた水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法の検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 菊池昭彦、蜂屋諒、水谷友哉
  • 学会等名: 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 平成26年度第1回研究会（第145委員会協賛）
  • 発表場所: プラザエフ, 千代田区, 東京
  • 年月日: 2015-04-23
  • 招待講演
• [学会発表] 窒化物半導体ナノ結晶デバイス作製に向けた水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法の検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 菊池 昭彦、蜂屋 諒、水谷友哉
  • 学会等名: 日本学術振興会将来加工技術第136委員会 平成２７年度第１回研究会
  • 発表場所: 主婦会館プラザエフ（東京・四ツ谷）
  • 年月日: 2015-04-23
  • 招待講演
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチングによる超微細ナノGaN構造の作製 (2015)
  • 著者名/発表者名: 喜多 諒、蜂屋 諒、菊池 昭彦
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学湘南キャンパス（神奈川・平塚）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] GaNの水素雰囲気熱エッチングにより作製したAlGaNベースマイクロディスク微小光共振器 (2015)
  • 著者名/発表者名: 鈴木 翔，光野 徹也，菊池 昭彦，酒井 優，岸野 克巳，原 和彦
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学湘南キャンパス（神奈川・平塚）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるInGaN/GaN多重量子井戸ナノ構造の作製 (2015)
  • 著者名/発表者名: 水谷 友哉，蜂屋 諒，古橋 洋樹，喜多 諒，菊池 昭彦
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学湘南キャンパス（神奈川・平塚）
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] Fabrication of GaN/InGaN/GaN single quantum well nano-structures by hydrogen environment anisotropic thermal etching (HEATE) (2014)
  • 著者名/発表者名: R. Hachiya, R. Kita, and A. Kikuchi
  • 学会等名: 10th international Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices (ISSLED2014)
  • 発表場所: Kaohsiung, Taiwan
  • 年月日: 2014-12-14 – 2014-12-19
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるInGaN/GaN量子井戸ナノ構造の作製 (2014)
  • 著者名/発表者名: 水谷友哉、蜂屋諒、古橋洋樹、喜多諒、菊池昭彦
  • 学会等名: 応用物理学会 結晶工学分科会
  • 発表場所: 学習院大学(東京・目白)
  • 年月日: 2014-11-13
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法で作製したInGaN/GaN量子井戸ナノ構造の光学特性評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 蜂屋諒，喜多諒，菊池昭彦
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道・札幌）
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるGaNナノ構造作製とその熱力学的解析 (2014)
  • 著者名/発表者名: 喜多諒，蜂屋諒，菊池昭彦
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道・札幌）
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] ナノミスト堆積法(多電極型静電塗布法)によるMgZnO薄膜の基礎的検討 (2014)
  • 著者名/発表者名: 石野隼一，新沼佳樹，菊池昭彦
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道・札幌）
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] ナノミスト堆積法（多電極型静電塗布法）によるZnO薄膜の成膜と評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 新沼佳樹，石野隼一，菊池昭彦
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道・札幌）
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] AMZO/Ag(Al)/AMZO-DMDの熱処理効果 (2014)
  • 著者名/発表者名: 杉本悠紀子，菊池昭彦
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道・札幌）
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE) of (0001) GaN for Nanostructure Fabrication (2014)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Kita, and Ryo Hachiya
  • 学会等名: The 8th International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2014)
  • 発表場所: Wroclaw, Poland
  • 年月日: 2014-08-24 – 2014-08-29
• [学会発表] Fabrication of GaN nanostructure by hydrogen environment anisotropic thermal etching (HEATE) technique (2014)
  • 著者名/発表者名: Ryo Kita, Hiroki Hachiya, Ryo Hachiya, Akihiko Kikuchi
  • 学会等名: 56th Electronic Materials Conference (EMC)
  • 発表場所: Santa Barbara, USA
  • 年月日: 2014-06-22 – 2014-06-25
• [学会発表] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるGaNナノ構造の作製 (2014)
  • 著者名/発表者名: 蜂屋諒，菊池昭彦，蜂屋太樹，喜多諒
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] Fabrication of GaN nanostructure by hydrogen environment anisotropic thermal etching (HEATE) technique (2014)
  • 著者名/発表者名: Ryo Kita, Hiroki Hachiya, Ryo Hachiya, Akihiko Kikuchi
  • 学会等名: 56th Electronic Materials Conference
  • 発表場所: Santa Barbara, CA, USA
• [学会発表] Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE) of (0001) GaN for Nanostructure Fabrication (2014)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Ryo Kita, and Ryo Hachiya
  • 学会等名: International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2014)
  • 発表場所: Wroc&#322;aw, Poland
• [学会発表] 誘電体/金属多層構造透明導電膜を用いた無機/有機複合LEDの作製と評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 菊池昭彦、島田雄平、石野隼一、喜多諒
  • 学会等名: 映像メディア学会、情報ディスプレイ研究会
  • 発表場所: 東京(招待講演)
  • 年月日: 2013-03-15
• [学会発表] Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE) of GaN for the Fabrication of High-Aspect Nanostructure (2013)
  • 著者名/発表者名: Hiroki Hachiya, and Akihiko Kikuchi
  • 学会等名: The 10th Conference on Laser and Electro-Optics Pacific Rim
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Characterization of Ag/ZnO Based Metal Dielectric Multilayer (MDM) Transparent Conductivee Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Akihiko Kikuchi, Shinya Shitrasaki, and Ryo Kita
  • 学会等名: The 16th International Conference on II-VI Compound and Related Materials (II-VI 2013)
  • 発表場所: Nagahama, Japan
• [学会発表] Ag/MgZnO-DMD紫外域透明導電性材料の作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 白崎慎也，菊池昭彦
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] GaNの水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法におけるサイドエッチング特性の評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 蜂屋大樹，菊池昭彦
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] ナノミスト堆積法(多電極型静電塗布法)による低分子α-NPD薄膜堆積における基板温度制御効果 (2013)
  • 著者名/発表者名: 入江崇之,西大紀,風間みなみ,菊池昭彦
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] ナノミスト堆積法(多電極型静電塗布法)による有機分子成膜特性の基礎的検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 風間みなみ,入江崇之,菊池昭
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] GaNの水素雰囲気異方性熱エッチング特性の評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 蜂屋大樹,菊池昭彦
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] 窒化物半導体ナノコラムにおけるレーザー発振 (2013)
  • 著者名/発表者名: 猪瀬裕太,植田裕輝,江馬一弘,酒井優, Ramesh Vadivelu,井川雄介,菊池昭彦,岸野克巳,大槻東巳
  • 学会等名: 日本物理学会第68回年次大会
  • 発表場所: 広島
• [学会発表] 2次元集団効果による光のアンダーソン局在の数値解析 (2013)
  • 著者名/発表者名: 植田裕輝,猪瀬裕太,酒井優,江馬一弘,菊池昭彦,岸野克巳,大槻東巳
  • 学会等名: 日本物理学会第68回年次大会
  • 発表場所: 広島
• [学会発表] 多電極型静電塗布法を用いた有機光デバイスの作製と評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊池昭彦、入江崇之、西大紀、風間みなみ
  • 学会等名: H24理研シンポジウム「塗布型有機電子デバイス開発の新展開」
  • 発表場所: 東京(招待講演)
  • 年月日: 2012-12-11
• [学会発表] ナノミスト堆積(NMD)法を用いた有機薄膜の成膜とOLEDへの応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊池昭彦、入江崇之
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会(OME)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-05-04
• [学会発表] Optical properties of InGaN/GaN nanocolumns in yellow-to-red region (2012)
  • 著者名/発表者名: Joji Naka, Yuta Inose, Hideyuki Kunugita, Vadivelu Ramesh, Akihiko Kikuchi, Katsumi Kishino, and Kazuhiro Ema
  • 学会等名: 5th International Conference on Optical, Optoelect ronic and Photonic Materials and Applications
  • 発表場所: Nara, Japan
• [学会発表] Myulti-layered OLED consisted of low-and high-molecular layers fabricated by Nano-Mist Deposition (NMD) technique (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Irie and A. Kikuchi
  • 学会等名: KJF International Conference on Organic Materials for Electronics and Photonics
  • 発表場所: Miyagi, Japan
• [学会発表] Nano-mist deposition (NMD) technique for fabrication of organic light emitting devices (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Iriel, M. Kazama, and A. Kikuchi
  • 学会等名: 9th International Conference on Electroluminescenee & Organic Optoelectronics (ICEL2012)
  • 発表場所: Fukuoka, Japan
• [学会発表] ナノミスト堆積(NMD)法を用いた高分子/低分子積層型OLEDの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 入江崇之,風間みなみ,菊池昭彦
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛
• [学会発表] 金属/誘電体(Ag/ZnO)多層膜(MDM)透明導電性材料の熱処理効果 (2012)
  • 著者名/発表者名: 白崎慎也,田仲晃基,西大鉈,菊池昭彦
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛
• [学会発表] 2次元転送行列法による光のアンダーソン局在の数値解析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 植田裕輝,猪瀬裕太,酒井優,江馬一弘,菊池昭彦,岸野克巳,大槻東巳
  • 学会等名: 日本物理学会2012年秋季大会
  • 発表場所: 神奈川
• [図書] ワイドギャップ半導体 あけぼのから最前線へ (2013)
  • 著者名/発表者名: 監修:吉川明彦、編集委員:菊池昭彦、他
  • 総ページ数: 404
  • 出版者: 培風館