| 研究課題/領域番号 |
24360046
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 神戸大学 |
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研究代表者 |
磯野 吉正 神戸大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (20257819)
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| 研究分担者 |
花崎 逸雄 神戸大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10446734)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2014年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2013年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2012年度: 11,440千円 (直接経費: 8,800千円、間接経費: 2,640千円)
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| キーワード | 実験ナノメカニクス / MEMS / ナノワイヤ / マルチフィジックス |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、次世代の高感度力学センサの素子として期待される、Silicon Nanowire（SiNW）の機械-電気連成特性評価を実施した。長さ10um、直径80nmのSiNW単体に対して、単軸歪みを付与しながら電気特性を調べたところ、歪み3%において、<111>方向SiNWの電気伝導率が5倍@3%，<112>方向のそれは1.53倍@3%に達した。また、SiNWのゲージ率は、<111>方向SiNWが-170.7@0.2%を示し、また、<112>方向SiNWは-128.9@0.1%となった。この値はバルクSiより大きな値であり、次世代力学センサ素子として、SiNWは有効であることが示唆された。
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