研究課題
基盤研究(C)
本研究課題は次世代3次元LSIにおける縦型・微細な導電配線に関連する。これまでに、光アシスト効果を用いて溶液中から新奇な金属/導電性ポリマー複合体を創出し、先行技術の10倍以上の速さで導電配線を形成できることを見出した。課題はさらなる低抵抗化のための材料原理の確立であり、本研究においては、金属の存在状態(含有率、サイズ、形状)と導電率との関係を解明した。この成果は、金属ナノ粒子を利用することで、金属/ポリマー複合体の導電性に関する新たな複合則を提案したという学術的特色をもち、現状数時間かかる導電配線の形成が数分まで短縮され、次世代3次元LSIの生産効率が大きく向上することに寄与する。
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