| 研究課題/領域番号 |
24560305
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 東京電機大学 |
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研究代表者 |
古谷 涼秋 東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
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| 研究分担者 |
小崎 美勇 東京電機大学, 大学院工学研究科, 助教 (80550590)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| キーワード | 三次元ステージ / 運動軸の形状偏差 / 参照鏡の形状偏差 / 測定フレーム / 位置座標測定 / 形状測定 / 変位測定 / レーザー干渉計 / XYステージ / ステージ |
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| 研究成果の概要 |
直交2軸をもつステージのそれぞれの軸に平面鏡を参照鏡として配置し，軸の形状と参照鏡の形状を含んだ変位信号を直交する2方向からレーザー干渉測長器により取得した．これにより，軸の形状偏差及び参照鏡の形状誤差がなかったならば，ステージの位置を測定することが可能となる．軸の形状偏差及び参照鏡の形状誤差を測定するために，ステージの位置を変えながらレーザー干渉測長器から変位信号を取得した．レーザー干渉測長器から得られた変位信号から，直交2軸の運動精度及び平面鏡の形状誤差を分離した．
上の成果に，1軸を追加し3方向からの軸の運動精度及び平面鏡の形状誤差を分離した．
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