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高速性と低消費電力性を両立するフッ化グラフェンデバイスの創製

研究課題

研究課題/領域番号 24656202
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

波多野 睦子  東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (00417007)

研究分担者 岩崎 孝之  東京工業大学, 大学院理工学研究科, 助教 (80454031)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2012年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワードグラフェン / 低消費電力デバイス / 化学修飾グラフェン
研究概要

高速性と低消費電力性を両立するグラフェンをベースとしたデバイスの実現を目的とし、新規な2次元カーボン膜であるフッ化グラフェンの作製プロセスを構築し、その特異なキャリア輸送機構の解明と電界での制御性を検証した。キャリアの輸送は2次元の可変領域ホッピングで説明でき、電気抵抗はグラフェンと比較すると最大2桁以上増大し、ゲート電圧により局在(絶縁体的)-非局在(金属的)転移が起こることがわかった。

報告書

(3件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (30件)

すべて 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (27件) (うち招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Asymmetric transport property of fluorinated graphene2013

    • 著者名/発表者名
      K. Tahara, T. Iwasaki, S. Furuyama, A. Matsutani, M. Hatano
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett

      巻: 103 号: 14

    • DOI

      10.1063/1.4823798

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fluorination of Graphene by Reactive Ion Etching System Using Ar/F2 Plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Matsutani, Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 6S ページ: 06GD11-06GD11

    • DOI

      10.7567/jjap.52.06gd11

    • NAID

      210000142349

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of radical Mutsuko Hatano fluorination on mono- and bi-layer graphene in Ar/F2 plasma2012

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 101 号: 16 ページ: 163105-163105

    • DOI

      10.1063/1.4760268

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 横型フッ化グラフェン‐グラフェンヘテロ構造の作製2014

    • 著者名/発表者名
      成木航, 田原康佐, 岩崎孝之, 古山聡子, 松谷晃宏, 波多野睦子
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 横型フッ化グラフェン‐グラフェンヘテロ構造の作製2014

    • 著者名/発表者名
      成木航, 田原康佐, 岩崎孝之, 古山聡子, 松谷晃宏, 波多野睦子
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Carrier Transport Properties of Fluorinated Graphene2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Satoko Furuyama, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      IEEE EDS WIMNACT-37, Future Trend of Nanodevices and Photonic
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2013-02-18
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] フッ化グラフェンの磁気抵抗効果2013

    • 著者名/発表者名
      田原康佐, 岩崎孝之, 松谷晃宏, 山口智弘, 石橋幸治, 波多野睦子
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Low Temperature Transport Properties of Fluorinated Graphene FET Controlled by Ionic Liquid Gating2013

    • 著者名/発表者名
      Satoko Furuyama, Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Asymmetric transport properties in fluorinated grapheme2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Satoko Furuyama, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Magnetotransport properties of fluorinated grapheme2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani, Tomohiro Yamaguchi, Koji Ishibashi, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      RPGR2013
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Monolayer diamond FETs consist of fluorinated graphene channel2013

    • 著者名/発表者名
      Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      International Conference on Semiconductor technology for ultra large scale integrated circuits and thin film transistors
    • 発表場所
      Villard-de-Lans(フランス(グルノーブル)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Crystal and Twisted Graphene Layers on Metal Films2013

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Iwasaki
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Research
    • 発表場所
      Ramanda Plaza (韓国)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Characteristics of Fluorinated Graphene Field Effect Transistors2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Satoko Furuyama, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2013
    • 発表場所
      Kobe Convention Center(兵庫県)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] フッ化グラフェンFETの温度特性2013

    • 著者名/発表者名
      田原康佐, 岩崎孝之, 古山聡子, 松谷晃宏, 波多野睦子
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] イオン液体ゲートを用いたフッ化グラフェン電界効果トランジスタ2013

    • 著者名/発表者名
      古山聡子, 田原康佐, 岩崎孝之, 松谷晃宏, 波多野睦子
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Fluorinated Graphene FETs Controlled by Ionic Liquids Gate2013

    • 著者名/発表者名
      Satoko Furuyama, Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      The 9th International Thin-Film Transistor Conference
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] フッ化グラフェンの磁気抵抗効果2013

    • 著者名/発表者名
      田原康佐,岩崎孝之,松谷晃宏,山口智弘,石橋幸治,波多野睦子
    • 学会等名
      第74回応用物理学会周期学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Magnetotransport properties of fluorinated graphene2013

    • 著者名/発表者名
      K.Tahara, T.Iwasaki, A.Matsutani, T.Yamaguchi, K.Ishibashi, M.Hatano
    • 学会等名
      RPGR2013
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Monolayer diamond FETs consist of fluorinated graphene channel2013

    • 著者名/発表者名
      Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      International Conference on Semiconductor technology for ultra large scale integrated circuits and thin film transistors
    • 発表場所
      Villard-de-Lans(フランス(グルノーブル))
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Characteristics of Fluorinated Graphene Field Effect Transistors2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Satoko Furuyama, Akihiro matsutani, Mutsuko Hatano.
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2013
    • 発表場所
      Kobe Convention Center(兵庫県
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] フッ化グラフェンFETの温度特性2013

    • 著者名/発表者名
      田原康佐,岩崎孝之,古山聡子,松谷晃宏,波多野睦子
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] イオン液体ゲートを用いたフッ化グラフェン電界効果トランジスタ2013

    • 著者名/発表者名
      古山聡子,田原康佐,岩崎孝之,松谷晃宏,波多野睦子
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Fluorinated Graphene FETs Controlled by Ionic Liquids Gate2013

    • 著者名/発表者名
      Satoko Furuyama, Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      The 9th International Thin-Film Transistor Conference
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Fluorination of Mono- and Bi-layer Graphene by Ar/F2 Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani, Satoko Furuyama, Yasuhide Ohno, Kazuhiko Matsumoto, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      2012 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center(アメリカ)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Fluorination Process of Graphene using Ar/F2 Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Matsutani, Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      MNC 2012, 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      神戸メリケンパークオリエンタルホテル(兵庫県)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] フッ化グラフェンのキャリア輸送特性2012

    • 著者名/発表者名
      田原康佐, 岩崎孝之, 松谷晃宏, 古山聡子, 大野恭秀, 松本和彦, 波多野睦子
    • 学会等名
      第73回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      松山大学(愛媛県)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Fluorination of Mono- and Bi-layer Graphene by Ar/F2 Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Akihiro Matsutani, Satoko Furuyama, Yasuhide Ohno, Kazuhiko Matsumoto, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      2012 MRS Fall Meeting,
    • 発表場所
      Hynes Convention Center(アメリカ)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Fluorination Process of Graphene using Ar/F2 Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Matsutani, Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      MNC 2012, 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      神戸メリケンパークオリエンタルホテル(兵庫県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] フッ化グラフェンのキャリア輸送特性2012

    • 著者名/発表者名
      田原康佐,岩崎孝之,松谷晃宏,古山聡子,大野恭秀,松本和彦,波多野睦子
    • 学会等名
      第73回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      松山大学(愛媛県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Carrier Transport Properties of Fluorinated Graphene

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Satoko Furuyama, Akihiro Matsutani, Mutsuko Hatano
    • 学会等名
      IEEE EDS WIMNACT-37, Future Trend of Nanodevices and Photonics
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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