研究課題/領域番号 |
24656455
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
金属生産工学
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
吉川 健 東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (90435933)
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研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2014-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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キーワード | 太陽電池用シリコン / マイグレーション / 不純物液相 |
研究概要 |
太陽電池用シリコン原料の革新的製造技術の開発へ向け、固体シリコン内の不純物濃化相を選択的に抽出除去するための、不純物液相のマイグレーション技術について、以下の基礎検討を行った。 マイグレーションによる精製効果について熱力学計算による検討を行い、P・B・Al・Fe以外の不純物成分を、いずれも1ppmw以下まで低減可能であることが分かった。 次いで、不純物液相のマイグレーション挙動を調査するため、1250~1350℃にて温度勾配制御下でのシリコンの熱処理を行った。マイグレーション速度は熱処理温度の上昇に伴い増加し、1350℃にて50μm/minに達し、十分高速で処理可能であることが分かった。
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