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固体内液相マイグレーションを用いたシリコンの革新的高純度化

研究課題

研究課題/領域番号 24656455
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 金属生産工学
研究機関東京大学

研究代表者

吉川 健  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (90435933)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード太陽電池用シリコン / マイグレーション / 不純物液相
研究概要

太陽電池用シリコン原料の革新的製造技術の開発へ向け、固体シリコン内の不純物濃化相を選択的に抽出除去するための、不純物液相のマイグレーション技術について、以下の基礎検討を行った。
マイグレーションによる精製効果について熱力学計算による検討を行い、P・B・Al・Fe以外の不純物成分を、いずれも1ppmw以下まで低減可能であることが分かった。
次いで、不純物液相のマイグレーション挙動を調査するため、1250~1350℃にて温度勾配制御下でのシリコンの熱処理を行った。マイグレーション速度は熱処理温度の上昇に伴い増加し、1350℃にて50μm/minに達し、十分高速で処理可能であることが分かった。

報告書

(3件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] Purification of Silicon by Using the Liquid Migration Technique under Temperature Gradient2013

    • 著者名/発表者名
      Kunitoshi Matsunaga, Takeshi Yoshikawa, Kazuki Morita
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 750 ページ: 240-243

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 固体Si中不純物液相のマイグレーション挙動の調査2013

    • 著者名/発表者名
      松永邦俊, 吉川健, 森田一樹
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • 年月日
      2013-03-28
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Solar Grade Silicon Purification Using Liquid Phase Migration Technique2013

    • 著者名/発表者名
      Kunitoshi Matsunaga, Takeshi Yoshikawa, Kazuki Morita
    • 学会等名
      TMS annual meeting, Solar Cell Silicon
    • 発表場所
      San Antonio
    • 年月日
      2013-03-05
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Purification of Silicon by Using the Liquid Migration Technique under Temperature Gradient2012

    • 著者名/発表者名
      Kunitoshi Matsunaga, Takeshi Yoshikawa, Kazuki Morita
    • 学会等名
      8th International Forum on Advanced Materials Science and Technology
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      2012-08-03
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Solar Grade Silicon Purification Using Liquid Phase Migration Technique

    • 著者名/発表者名
      Kunitoshi Matsunaga, Takeshi Yoshikawa, Kazuki Morita
    • 学会等名
      TMS annual meeting, Solar Cell Silicon
    • 発表場所
      San Antonio, USA
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 固体Si中不純物液相のマイグレーション挙動の調査

    • 著者名/発表者名
      松永 邦俊, 吉川 健, 森田 一樹
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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