• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

炭化ケイ素半導体ヘテロ界面科学の再構築

研究課題

研究課題/領域番号 24H00046
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
審査区分 大区分D
研究機関大阪大学

研究代表者

渡部 平司  大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (90379115)

研究分担者 染谷 満  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員 (60783644)
小林 拓真  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (20827711)
研究期間 (年度) 2024-04-01 – 2029-03-31
研究課題ステータス 交付 (2025年度)
配分額 *注記
204,360千円 (直接経費: 157,200千円、間接経費: 47,160千円)
2025年度: 49,010千円 (直接経費: 37,700千円、間接経費: 11,310千円)
2024年度: 55,120千円 (直接経費: 42,400千円、間接経費: 12,720千円)
キーワード炭化珪素 / パワーデバイス / MOS構造 / 界面科学
研究開始時の研究の概要

炭化珪素(SiC)は優れた物性を有し、パワーデバイス用途の半導体として期待されている。近年、新幹線や電気自動車へのSiCパワーデバイスの導入がはじまったが、電界効果トランジスタ(SiC MOSFET)の性能は期待値には程遠く、材料の優位性を生かし切れていない。これはMOSFETの心臓部となる絶縁膜/SiC界面に原因があり、界面欠陥の理解とMOS構造の高品質化が望まれている。本研究では、理論計算と界面物性評価に加え、MOSFETの動作解析を通じて、SiC半導体ヘテロ界面の特異性を解き明かすと共に、その高品質化技術の構築を通じてSiCパワーデバイスの省エネ性能の向上を目指す。

報告書

(2件)
  • 2024 研究概要(採択時) ( PDF )   審査結果の所見

URL: 

公開日: 2024-04-05   更新日: 2025-06-20  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi