研究課題/領域番号 |
25630278
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
無機材料・物性
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研究機関 | 静岡大学 |
研究代表者 |
脇谷 尚樹 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (40251623)
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研究分担者 |
鈴木 久男 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (70154573)
坂元 尚紀 静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (80451996)
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連携研究者 |
篠崎 和夫 東京工業大学, 大学院理工学研究科, 教授 (00196388)
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研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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キーワード | hemispherical / shell / PZT / pyroelectric / array / セラミックプロセッシング / ミリサイズ / 球殻状セラミックス厚膜 / 焦電性 / アレイ / スリップキャスティング / テンプレート / 高分子球 / スリップキャスティング法 |
研究成果の概要 |
直径が数 mmの半球の球殻構造のセラミックスは、(1)高分子球をテンプレートに用いる方法、(2)スリップキャスティング法の2種類の方法で作製を試みた。(1)では直径が数mmの高分子球を2次元に最密充填させたテンプレート上にセラミックス薄膜を堆積後、これをアニールした際に球殻構造の維持ができなかった。これに対して、(2)では目的とする半球の球殻構造のセラミックス(チタン酸ジルコン酸鉛)の作製に成功した。作製した半球の球殻状セラミックスは熱源を近づけた際に明瞭な焦電特性を示すことが示された。また、これらの半球の球殻状セラミックスを複数個並べたアレイ構造も作製した。
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