| 研究課題/領域番号 |
25800237
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生物物理・化学物理・ソフトマターの物理
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
吉元 健治 京都大学, 学際融合教育研究推進センター, 特定准教授 (00645278)
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| 研究協力者 |
谷口 貴史 京都大学, 大学院工学研究科化学工学専攻, 准教授 (60293669)
大嶋 正裕 京都大学, 大学院工学研究科化学工学専攻, 教授 (60185254)
深渡瀬 健 京都大学, 大学院工学研究科化学工学専攻
堀 義宗 京都大学, 大学院工学研究科化学工学専攻
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | DSA / 誘導自己組織化 / ブロック共重合体 / 欠陥構造 / 欠陥ダイナミクス / 大規模シミュレーション / ホールシュリンク / ブロックコポリマー / シミュレーション / モデル / リソグラフィ / 微細加工 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、新しい微細加工技術として注目されている「ジブロック共重合体の誘導自己組織化」に着目し、そのプロセスで問題となっている欠陥パターンがどのように発生するかをシミュレーションにより解明した。簡易化モデルを用い、パラメータの値を実験データとの合せ込みで決めることで、欠陥パターンの生成ダイナミックスを比較的大きな系でも予測できるようになった。その結果、化学修飾した基板上では、欠陥密度が時間とともに指数関数的に減少することが明らかになった。また、ナノスケールの穴の中で行う誘導自己組織化では、壁との親和性が欠陥生成に大きな影響を及ぼすことやバルクとは異なる相分離構造が形成されること等が分かった。
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