| 研究課題/領域番号 |
25820320
|
|---|
| 研究種目 |
若手研究(B)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
金属物性・材料
|
|---|
| 研究機関 | 東京大学 |
|---|
研究代表者 |
徳本 有紀 東京大学, 生産技術研究所, 講師 (20546866)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
|
|---|
| キーワード | 転位 / 窒化物半導体薄膜 / 超微小硬さ試験 / ひずみ |
|---|
| 研究成果の概要 |
III族窒化物薄膜の機械特性値の正確な評価のための研究を進めた。超微小硬さ試験を行い硬度および弾性率を測定した。また、透過型電子顕微鏡内で超微小硬さ試験を行い、貫通転位と超微小硬さ試験により導入される転位の相互作用をその場観察し、超微小硬さ試験により導入される転位の伝搬に対する影響を明らかにした。透過型電子顕微鏡内外の超微小硬さ試験の結果から、薄膜の表面状態、極性、薄膜に含まれる貫通転位密度、ひずみとの相関を解明した。
|
