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ECRプラズマCVDチタニアコーティングを応用した機能性修復物の開発

研究課題

研究課題/領域番号 25861824
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 補綴・理工系歯学
研究機関東北大学

研究代表者

丸森 亮太朗  東北大学, 歯学研究科(研究院), 大学院非常勤講師 (80534065)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードプラズマCVD / チタニア / 光触媒 / プラズマCVD法
研究成果の概要

最先端成膜プロセス技術の一つ、マイクロ波プラズマCVD (Chemical Vapor Deposition)成膜技術により、白金加金表面へのチタニアコーティングを試みた。マイクロ波として0.8 kw、1.0 kw、1.2 kwにてそれぞれ成膜した基板において、ロックウェル試験を行った。その結果、SEMによる微細組織観察では、等方性の結晶組織が観察されたが、結晶構造が粗造であり組織的にはまだ脆弱であった。

報告書

(3件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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