| 研究課題/領域番号 |
26390055
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
結晶工学
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
金田 寛 九州工業大学, 大学院生命体工学研究科, 特任教授 (30418131)
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| 連携研究者 |
根本 祐一 新潟大学, 自然科学系, 准教授 (10303174)
後藤 輝孝 新潟大学, フェロー (60134053)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | シリコン / 原子空孔 / 形成エネルギー / 急冷凍結法 / ＲＴＡ |
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| 研究成果の概要 |
シリコンウェーハに対して高温熱処理を施し、ウェーハ中の単原子空孔濃度が熱平衡濃度に達している状態を実現した。この高温熱平衡状態からウェーハを急冷凍結した。急冷ウェーハに対し、低温超音波計測の方法によって、低温における弾性定数C44のソフト化の振る舞いを計測した。計測されたソフト化のデータから単原子空孔濃度の絶対値を決定した。この値を用いて、単原子空孔の形成エネルギーの評価を試みた。得られた形成エネルギーの値は従来の常識的な値よりは小さめであったが、その不一致の理由を明確にすることができた。この点を改善すれば、本実験方法の延長線上で、単原子空孔の形成エネルギーを正確に決められる見通しが付いた。
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