| 研究課題/領域番号 |
26390104
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
有吉 哲也 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 助教 (60432738)
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| 研究分担者 |
有馬 裕 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 教授 (10325582)
馬場 昭好 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 准教授 (80304872)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2015年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2014年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
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| キーワード | X線センサー / トレンチ構造型フォトダイオード / 低被曝線量 / 半導体デバイス / X線CT / 直接変換型X線センサ / 側面X線検出 |
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| 研究成果の概要 |
CTスキャナなどの医療用X線画像診断はX線被曝の問題が付きまとう。X線センサーの感度を従来よりも桁違いに高くしてX線被曝線量を桁違いに抑えることで、高度で安全で様々なX線画像診断を気軽に制限なく誰もが受けることができる。本研究ではトレンチ構造型フォトダイオードを採用した次世代の直接変換型シリコンX線センサーを提案する。この提案X線センサーは高感度・高速応答・長デバイス寿命・低消費電力・高エネルギー分解能の特徴を並立する。提案X線センサーを試作し、理論限界に迫る吸収X線－電流信号変換効率を実証した。
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