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Biサーファクタントを用いたⅣ族ナノドットの低温形成並びに素子応用の研究

研究課題

研究課題/領域番号 26420264
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関弘前大学

研究代表者

岡本 浩  弘前大学, 理工学研究科, 教授 (00513342)

連携研究者 俵 毅彦  日本電信電話株式会社, NTT物性科学基礎研究所, 主任研究員 (40393798)
舘野 功太  日本電信電話株式会社, NTT物性科学基礎研究所, 主任研究員 (20393796)
章 国強  日本電信電話株式会社, NTT物性科学基礎研究所, 主任研究員 (90402247)
研究協力者 鈴木 良優  弘前大学, 大学院・理工学研究科
滝田 健介  弘前大学, 大学院・理工学研究科
対馬 和都  弘前大学, 大学院・理工学研究科
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2016年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワードナノドット / Ⅳ族半導体 / ゲルマニウム / ビスマス / Ⅳ族ナノドット / 低温形成 / サーファクタント
研究成果の概要

Ⅳ族ナノドットはSiフォトニクス用の受発光素子、新構造メモリ素子、高効率太陽電池等への応用が期待されている。本研究では申請者がビスマスサーファクタントを用いたIn(Ga)As量子ドット成長技術の研究を通じて得た知見をⅣ族材料に応用し、低温形成並びに形状制御技術を開発することを目的とした。新たに開発した手法は低温(室温~130℃程度)下におけるBi、Geの連続蒸着とそれに続く比較的低温(300℃~400℃)のアニールであり、結晶Geナノドットの形成に成功した。また、この手法によるドット形成のメカニズムは当初の予想(サーファクタント効果)とは異なる新たなものであることを検証した。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2017 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 3件、 招待講演 3件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Self-Organized Nanostructure Formation of III-V and IV Semiconductors with Bismuth2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Okamoto
    • 雑誌名

      Journal of Advances in Nanomaterials

      巻: 1 号: 2 ページ: 82-94

    • DOI

      10.22606/jan.2016.12005

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 真空蒸着と低温アニールによるBi媒介Geナノドット形成-12017

    • 著者名/発表者名
      滝田健介、対馬和都、遠田義晴、俵毅彦、舘野功太、章国強、後藤秀樹、池田高之、水野誠一郎、岡本浩
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      横浜市パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-15
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 真空蒸着と低温アニールによるBi媒介Geナノドット形成-22017

    • 著者名/発表者名
      対馬和都、滝田健介、中澤日出樹、遠田義晴、俵毅彦、舘野功太、章国強、後藤秀樹、岡本浩
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      横浜市パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-15
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] REALD形成Al2O3/GeO2/p-Ge MOSキャパシターの電気的特性に及ぼすゲート電極金属の影響2016

    • 著者名/発表者名
      山田大地, 王谷洋平, 山本千綾,山中淳二,佐藤哲也, 岡本浩,福田幸夫
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟市朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Effects of electrode metal and thermal treatment on the electrical properties of Al2O3/GeO2 gate stack grown on Ge substrate by radical-enhanced atomic layer deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Yukio Fukuda, Daichi Yamada, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Hiroshi Okamoto
    • 学会等名
      16th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2016)
    • 発表場所
      Dublin, Ireland
    • 年月日
      2016-06-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Self-organized nanostructure formation of III-V and grope IV semiconductors by using bismuth2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Okamoto
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D and Materials Research (CC3DMR)
    • 発表場所
      Incheon/Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-06-23
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Radical-enhanced ALD法によるGe-MIS構造の欠陥評価価(2);熱処理効果2016

    • 著者名/発表者名
      成田 英史、山田 大地、福田 幸夫、岡本 浩
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Effects of postdeposition treatments on the electrical properties of Al2O3/GeO2 gate stack grown on Ge substrate by radical-enhanced atomic layer deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Okamoto, Daichi Yamada, Hidefumi Narita, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, and Yukio Fukuda
    • 学会等名
      9th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku Univ., Sendai, Japan
    • 年月日
      2016-01-11
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Bi プレディポジションによる Ge ナノドットの 石英基板上への低温形成2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木良優, 滝田健介, 俵毅彦, 舘野功太, 章国強, 後藤秀樹, 岡本浩
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部 第70回学術講演会
    • 発表場所
      ホテルアップルランド(青森県平川市)
    • 年月日
      2015-12-03
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Radical-enhanced ALD法によるGe-MIS構造の欠陥評価2015

    • 著者名/発表者名
      成田 英史、山田 大地、福田 幸夫、鹿糠 洋介、岡本 浩
    • 学会等名
      第76 回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋市国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Radical-Enhanced ALD法によって形成したAlジャーマネイト/Ge界面とその近傍の欠陥評価2015

    • 著者名/発表者名
      成田英史、山田大地、福田幸夫、鹿糠洋介、岡本浩
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • 発表場所
      弘前大学(弘前市)
    • 年月日
      2015-08-10
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Formation mechanism of aluminum germanate layer on germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Okamoto, Tomoya Yokohira, Kosei Yanachi, Chiaya Yamamoto, Byeonghaku Yoo, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Toshiyuki Takamatsu, Hidefumi Narita, and Yukio Fukuda
    • 学会等名
      8th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 年月日
      2015-01-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [備考] 岡本研究室ホームページ

    • URL

      http://www.eit.hirosaki-u.ac.jp/~okamoto/home/

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [産業財産権] ナノ構造の製造方法2014

    • 発明者名
      俵毅彦、舘野功太、章国強、後藤秀樹、岡本浩
    • 権利者名
      俵毅彦、舘野功太、章国強、後藤秀樹、岡本浩
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-123112
    • 出願年月日
      2014-06-16
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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