| 研究課題/領域番号 |
26630012
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
平方 寛之 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40362454)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | マイクロ・ナノ材料力学 / ナノマイクロ材料力学 / ナノ構造 / 薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，斜め蒸着法により内部構造異方性を有するTiおよびCuナノポーラス薄膜を作製した．ナノポーラス薄膜は傾斜したナノ要素が連結した構造を有し，コラム傾斜方向には離散的，それと直交する方向には連続的な構造となった．ナノポーラス薄膜を基板から自立させると，薄膜の2次元形状によらずコラム傾斜方向に曲げ変形が生じた．すなわち，構造異方性付与により薄膜の曲げ変形方向を制御できた．また，ナノポーラス薄膜は均質薄膜と同程度の高い引張強度およびクリープ強度を示した．本技術により，高強度ナノポーラス薄膜を素材として，コイルばね等の3次元外部形状を有するこれまでにない微小機械要素の創製が可能になった．
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