研究課題
挑戦的萌芽研究
インジウムスズ酸化物/極薄シリコン酸化膜/極薄シリコン層/埋込シリコン酸化膜デバイスから、シリコン層厚さが薄くなるとエネルギーが高くなるエレクトロルミネッセンスピークを観測した。ピークは、二次元構造における量子閉じ込め効果に因ることを示している。プロジェクター縮小光学系を使用し、N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングにより所定表面領域の極薄シリコン層厚さ均一性を向上させる薄膜化法を開発した。
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すべて 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (2件) 備考 (1件)
Micro and Nanostructures
巻: 166 ページ: 207228-207228
10.1016/j.micrna.2022.207228
Microelectronic Engineering
巻: 印刷中
http://www-pm.prec.eng.osaka-u.ac.jp