研究課題/領域番号 |
26630361
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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研究機関 | 長岡技術科学大学 |
研究代表者 |
斉藤 秀俊 長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80250984)
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研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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キーワード | 溶射 / EDTA / フレーム / イットリア / エルビア / セラミックス膜 / 酸化物 / 水素 / Y2O3 / キレート / セラミックス / 膜 / 気孔率 |
研究成果の概要 |
エチレンジアミン四酢酸塩EDTAの中心金属イオンにイットリウムイオンを担持させたEDTA・Y・Hを原料にして、回転治具を用いて製膜を行った結果、膜厚が89.1 μm、膜中の2次元気孔率が33.1 %のY2O3膜を作製出来た。この際、製膜終了直後の温度は646 ℃となった。さらに製膜中の熱量を低下させるために、水シャワーを用いて製膜を行った。冷却剤に水を用いてその蒸発熱を利用することで20.89 kJ/sもの熱量を基板から奪うことができる。製膜終了後の温度は453℃とさらに低くなり、膜厚は42.7μm、2次元気孔率も22.8%と最も低い数値となった。
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