研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究では、走査型マイクロビーム装置と、ウエーブガイド付きのX線検出器を組み合わせた3次元元素分析装置を開発した。ウエーブガイドにより、ウエーブガイドと平行な面内から発生したX線のみが検出されるため、ウエーブガイドと垂直な面内のビームの位置が深さ方向の情報を持つ。そのため得られた二次元元素分布は、深さ情報も含んでおり、試料の移動を組み合わせることにより、簡単に3次元元素分布を導出する事が可能となる。深さ分解能はおよそ60um程度であり、X線の吸収により、後面からのX線収量は半分程度に減少してしまうため、空間構造をもち、自己吸収の影響が少ない試料の分析には有効であると考えられる。
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すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (9件)
International Journal of PIXE
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