| 研究課題/領域番号 |
62550033
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
物理計測・光学
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| 研究機関 | 日本女子大学 |
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研究代表者 |
小舘 香椎子 (小館 香椎子) 日本女子大学, 一般教育課程, 教授 (20060668)
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| 研究分担者 |
恒川 久子 日本女子大学, 計算研究所, 研究員 (50060687)
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1988年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
1987年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
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| キーワード | 深紫外リソグラフィー / 軟X線リソグラフィー微小光学素子 / フレネルブーンプレート / 高効率格子 / 軟X線リソグラフィー / 微小光学素子 / フレネルゾーンプレート / 深紫外リソグラフィ / 軟X線リソグラフィ / S(O)R光 / 光パルス遅延回路 / 光電子集積回路への応用 |
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| 研究概要 |
次世代の光応用システムにおける光回路などの集積用光科学部品として微小光学素子のうち、平面構造、小型高機能をもつフレネルゾーンプレートを中心に次のような諸点の研究を行った。
(1) 写真レクチエル法で作成したCrマスクを用いて深紫外リソグラフィ法で高効率化をはかった複合化フレネルゾーンプレートにより光遅延回路を構成し、40ピコ病のFWHMの拘束光パネル光源に対し300ピコ秒の遅延量に相当する10cmの光路長変化を示すごとを試作Ga-Asの光AND回路を用い検出した。
(2) 回析格子型微小光学素子の実用化の為の高効率に関し薄膜内の光干渉効果とBragg効果の重畳を考えFloquet-Bloch展開理論を用いた厳密解とラメラ方位相格子を用い定量的検討を行なった。
(1) (2) の成果にもとづき光回路おおける半導体レーザと多数本光ファイバとの同時接続用として斜入射配置の高効率な分岐・結保機能を併せもつ空間分割型ビームスプリッタについて光線追跡法による計算シュミレーションを行い2光干渉法と深紫外リソグラフィ法により試作実験を伴い有効性を確めた。
(4) 更にこの空間分割型ビームスプリッタを用いた多数個のOEIC用光学光分岐、結合素子としての最適配置と作成条件の数値検討を行ない。実現の可能性を確かめた。
(5) 東京大学物性研究シンクロトロン軌道放射施設の協同利用研究により光源の斜入射るよるゾーンプレートのブレーズ氏の予備実験を行なった。又動施設で軟X線領域での短波長光源を用いるための真空チェンバーの産科を終了し、予備的データの検討をとこなった。
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