| 研究課題/領域番号 |
62890002
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
広領域
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
矢田 慶治 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (60006129)
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| 研究分担者 |
浜 清 早稲田大学, 人間科学部, 教授 (90028267)
片桐 信二郎 電子光学研究所, 所長
高橋 昭一 東北大学, 科学計測研究所, 助手 (70006138)
山戸 吉雄 東北大学, 科学計測研究所, 講師 (20006141)
KATAGIRI Shinjiro Research Institute of Electron Optics, President.
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| 研究期間 (年度) |
1987 – 1988
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| 研究課題ステータス |
完了 (1988年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 5,200千円)
1988年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1987年度: 4,500千円 (直接経費: 4,500千円)
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| キーワード | X線顕微鏡 / 投影型 / 電界放射 |
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| 研究概要 |
パルス電界電子源によりX線強度を飛躍的に増強して、光学顕微鏡よりすぐれた分解能をもつ投影型X線顕微鏡を開発するため、次の諸課題を実施した。
1.X線顕微鏡本体の製作、超高真空排気
電界放射電子鏡及び静電型電子レンズを備えたX線顕微鏡本体の設計製作を終了し、目下超高真空排気の実験を続けている。
2.パルス高圧電源の組立て調整
パルス波、鋸歯状波などを発生できるファンクションゼネレータに増巾器を結合し、さらに高周波トランスで増巾して10KVまでの引出し電圧兼レンズ電圧を得た。
3.最適のターゲット材料の選定
0.1μmよりも良い分解能で生物試料の微細構造をX線的に観察する際、如何にして充分な像コントラストをつけるかが問題で、この目的のためターゲット材料を再検討した。その結果、Ge、Ta、Auが適していることが解った。すなわち、Taは10KVで用いると在来すぐれた材料として本研究者が用いてきたTiよりすぐれた結果が得られること、さらに空気によるX線の吸収を減らすことによって10〓の波長を出すGeの特徴が生かされ、無染色の細胞や筋組織もその微細構造がコントラストよく観察できるようになった。また、0.1μmより良い分解が金の2000本/mmの透過型廻析格子を用いて実証された。
4.電界放射型X線顕微鏡の予備実験
古い市販の電界電子放射型走査顕微鏡の鏡体及び電源を改造して投影型X線顕微鏡として予備実験を行った。その結果、加速電圧5-6KVの電界放射ビームとAuターゲットを用いて極めてコントラストの良いX線像を得ることができた。
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