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2013 年度 研究成果報告書

プラズマとナノ界面の相互作用に関する総括研究

総括班

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研究領域プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成
研究課題/領域番号 21110001
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関九州大学

研究代表者

白谷 正治  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)

研究分担者 寺嶋 和夫  東京大学, 新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
白藤 立  大阪市立大学, 工学研究科, 教授 (10235757)
佐々木 浩一  北海道大学, 工学研究科, 教授 (50235248)
伊藤 昌文  名城大学, 理工学部, 教授 (10232472)
杤久保 文嘉  首都大学東京, 理工学研究科, 教授 (90244417)
斧 高一  京都大学, 工学研究科, 教授 (30311731)
後藤 元信  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (80170471)
永津 雅章  静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授 (20155948)
小松 正二郎  物質・材料研究機構, ワイドバンドギャップ半導体グループ, グループリーダー (60183810)
連携研究者 内田 諭  首都大学東京, 理工学研究科, 准教授 (90305417)
太田 貴之  名城大学, 理工学部, 准教授 (10379612)
古閑 一憲  九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (90315127)
研究期間 (年度) 2009-07-23 – 2014-03-31
キーワードプラズマナノテクノロジー / ナノ界面制御 / 相互作用ゆらぎ / プラズマ局所反応場 / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス
研究概要

本研究領域の課題である、①プラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎの機構解明、揺らぎを制御した②トップダウンプロセスと③ボトムアッププロセスの実現について以下の成果を得た。①反応性プラズマ揺動とナノ粒子成長ゆらぎの非線形結合モデルからプラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎの理論を構築した。②領域内連携によりドライエッチングプロセスにおける相互作用ゆらぎを解明し、従来に無い高精度なエッチングプロセスを実現した。③ボトムアッププロセスにおいては,超臨界プラズマ中の密度ゆらぎに起因する新規物質合成機構を解明した。
また、公開シンポジウムを開催して市民へ情報発信した。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (5件) 学会発表 (7件) (うち招待講演 4件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, T.Matsunaga, K.Nakahara, H.Seo, K.Kamataki, G.Uchida, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: Vol.228 ページ: S550

  • [雑誌論文] In situ analysis of size dispersion of nano-particles in reactive plasma using two dimentional laser light scattering method2012

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, Y.Morita, M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki
    • 雑誌名

      J. Inst.

      巻: Vol.7 ページ: C04017

  • [雑誌論文] Nano-factories in plasma : present status and outlook2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, S.Iwashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 雑誌名

      J. Phys. D : Appl. Phys.

      巻: Vol.44 ページ: 174038

  • [雑誌論文] Fluctuation Control for Plasma Nanotechnologies2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 雑誌名

      Proc. IEEE TENCON 2010

      巻: XII

  • [雑誌論文] Academic Roadmap of Plasma Process Technologies2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 63rd Annual Gaseous Electronics Conf.

      ページ: FT.00004

  • [学会発表] Impacts of global collaborationson plasma science and technology2013

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 学会等名
      The Global Research and Development Centers (GRDC) Symposium 2013
    • 発表場所
      Ewha Womans University, Korea
    • 年月日
      2013-10-29
    • 招待講演
  • [学会発表] Frontier science of interactions between plasmas and nano‐interfaces2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, G.Uchida, H.Seo, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga
    • 学会等名
      4th International Conference on Advanced Plasma Technologies
    • 発表場所
      Hotel Salinera Strunjan, Slovenia (Plenary)
    • 年月日
      2011-09-12
  • [学会発表] Fluctuation Control towards Ultimate Plasma Nanotechnologies2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 発表場所
      大阪大学,大阪 (Keynote)
    • 年月日
      2011-07-19
  • [学会発表] Fluctuation Control for Plasma Nanotechnologies2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      International technical conference of IEEE Region 10
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Fukuoka(日本) (Keynote Speech)
    • 年月日
      2010-11-22
  • [学会発表] プラズマナノ界面の学理と産業応用2010

    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会 第96回研究会
    • 発表場所
      弘済会館、東京
    • 年月日
      2010-05-21
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマプロセス揺らぎの制御を目指して2010

    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-17
    • 招待講演
  • [学会発表] Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2010

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K.Koga
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
    • 発表場所
      Nagoya Institute of Technology, (日本)
    • 年月日
      2010-03-12
    • 招待講演
  • [備考]

    • URL

      http://mm4.ed.kyushu-u.ac.jp/kyudai/

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公開日: 2015-06-25  

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