| 研究領域 | プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成 |
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| 研究課題/領域番号 |
21110001
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| 研究種目 |
新学術領域研究(研究領域提案型)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
白谷 正治 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)
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| 研究分担者 |
寺嶋 和夫 東京大学, 新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
白藤 立 大阪市立大学, 工学研究科, 教授 (10235757)
佐々木 浩一 北海道大学, 工学研究科, 教授 (50235248)
伊藤 昌文 名城大学, 理工学部, 教授 (10232472)
杤久保 文嘉 首都大学東京, 理工学研究科, 教授 (90244417)
斧 高一 京都大学, 工学研究科, 教授 (30311731)
後藤 元信 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (80170471)
永津 雅章 静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授 (20155948)
小松 正二郎 物質・材料研究機構, ワイドバンドギャップ半導体グループ, グループリーダー (60183810)
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| 連携研究者 |
内田 諭 首都大学東京, 理工学研究科, 准教授 (90305417)
太田 貴之 名城大学, 理工学部, 准教授 (10379612)
古閑 一憲 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (90315127)
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| 研究期間 (年度) |
2009-07-23 – 2014-03-31
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| キーワード | プラズマナノテクノロジー / ナノ界面制御 / 相互作用ゆらぎ / プラズマ局所反応場 / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス |
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| 研究概要 |
本研究領域の課題である、①プラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎの機構解明、揺らぎを制御した②トップダウンプロセスと③ボトムアッププロセスの実現について以下の成果を得た。①反応性プラズマ揺動とナノ粒子成長ゆらぎの非線形結合モデルからプラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎの理論を構築した。②領域内連携によりドライエッチングプロセスにおける相互作用ゆらぎを解明し、従来に無い高精度なエッチングプロセスを実現した。③ボトムアッププロセスにおいては，超臨界プラズマ中の密度ゆらぎに起因する新規物質合成機構を解明した。
また、公開シンポジウムを開催して市民へ情報発信した。
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