| 研究課題/領域番号 |
01840025
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
横山 友 大阪大学, 理学部, 教授 (10028095)
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| 研究分担者 |
福本 敬夫 大阪大学, 理学部, 教務員 (10199268)
文珠四郎 秀昭 大阪大学, 理学部, 助手 (80191071)
樋上 照男 大阪大学, 理学部, 助手 (50143821)
渡辺 巌 大阪大学, 理学部, 助教授 (50028239)
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| キーワード | 光電子放射分光 / 表面分析 / 薄膜 / 仕事関数 |
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| 研究概要 |
常圧光電子放射スペクトル測定装置について次の改良を行なった。
ステッピングモ-タを用いて、紫外線の波長分光駆動をマイクロコンピュ-タにて制御できるようにした。これにより、スペクトル測定の半自動化、高速化が達成できた。また、測定室内の温度、湿度をモニタ-するため、測定室内にデジタル温湿度計を設置した。これにより、正確な実験条件の制御が可能となった。
蒸着金薄膜、シリコンウエハ、蒸着アルミニウム膜などについて常圧光電子放射スペクトルの精密測定を行なった。
金薄膜の測定より、スペクトルから求めた光電子放射しきい値は金の粒子径に依存することを見い出した。この結果から、本法により非破壊非接触、大気中で金属微粒子の粒子径を見積ることが可能であることを明らかにした。
表面酸化層の膜厚を制御したシリコンウエハ、蒸着アルミニウムの光電子放射スペクトルを解析した結果、本法における超低速光電子の脱出深さを見積ることができた。酸化シリコン中、酸化アルミニウム中の超低速電子(1〜2eV)の脱出深さはそれぞれ15A^^°,11A^^°であり、超高真空を必要とするESCAやAES等の分析法に比べ、やや小さい値であった。このことは、本法が表面に対し、極めて高感度であることを意味している。また、蒸着アルミニウム表面にシリル化剤を用いて種々のアルキル基を導入した試料についてもスペクトル測定を行ない、有機物(主に炭化水素)中の脱出深さを見積ったところ、約6A^^°という値を得た。この値は非常に小さなものであり、超低速電子はアルキル基の振動モ-ドと相互作用しているのではないかと考えられる。
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