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[文献書誌] K.Tsubouchi: "Area-Selective CVD of Metals(Invited Paper)" Thin Solid Films. 228. 312-318 (1993)
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[文献書誌] K.Masu: "Contribution of Free Electron to Al CVD on Si Surface by Photo-Excitation" Appl.Surface Science. (to be published). (1994)
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[文献書誌] K.Tsubouchi: "Effects of Hydrogen Terminated Substrate Surface on Succeeding Selective Deposition(Invited Paper)" Material Research Society Symposium Proceedings,“Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing". 315. 59-70 (1993)
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[文献書誌] K.Tsubouchi: "Metal CVD Technology(Invited Paper)" The 3rd IUMRS International Conference on Advanced Materials. S3-1 (1993)
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[文献書誌] K.Masu: "Contribution of Free Electron to Al CVD on Si Surface by Photo-Excitation" First international Conference on Photo-Excited Processes and Applications,Sendai. 99 (1993)
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[文献書誌] K.Masu: "Schottky Barrier Height of Single Crystal CVD-Al/Si Contact" Advanced Metallization for ULSI Applications,Japan Conference,Tokyo. 27-28 (1993)
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[文献書誌] K.Tsubouchi: "Area Selective Al CVD Technology(Invited Paper)" Proceedings of International Conference on Advanced Microelectronic Devices and Processing,Sendai. 77-84 (1994)
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[文献書誌] H.Matsuhashi: "Single Crystal CVD-Al/Si Schottky Contact" Proceedings of International Conference on Advanced Microelectronic Devices and Processing,Sendai. 495-500 (1994)
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[文献書誌] K.Tsubouchi: "Precursor Design and Selective Aluminum CVD(Invited Paper)" 4th European Vacuum Conference and 1st Swedish Vacuum Meeting,Uppsala,Sweden. (to be presented). (1994)
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[文献書誌] K.Masu: "Atomic Hydrogen Resist Process with Electron Beam Lithography for Selective Al Patterning(Invited Paper)" The 38th International Symposium on Electron,Ion and Photon Beams(EIPB'94)New Orleans. (to be presented). (1994)
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[文献書誌] 坪内和夫: "選択Al CVD技術" 平成5年 電気学会 電子・情報・システム部門大会 シンポジウム(半導体プロセスの高性能化技術)(1993年7月16日). 133-136 (1993)
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[文献書誌] 坪内和夫: "選択Al・CVD技術" 磁性材料研究会・電子材料表面処理技術部会 合同例会資料(1993年7月16日、17日). (1993)
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[文献書誌] 坪内和夫: "水素終端Si表面のAl選択成長" 日本学術振興会 極限構造電子物性第151委員会、(1993年12月13,14日). 28-35 (1993)
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[文献書誌] 坪内和夫: "シングルエレクトロンデバイスのためのプロセス技術" 1993年秋季 第54回応用物理学会学術講演会(1993年9月). 28p-HB-7 (1993)
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[文献書誌] 松橋秀樹: "選択Al-CVDにおける表面自由電子の寄与" 1993年秋季 第54回応用物理学会学術講演会(1993年9月). 29a-ZE-8 (1993)
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[文献書誌] 松橋秀樹: "DMAHを用いた選択Al-CVDによる単結晶AlとSi界面のショットキー障壁高さ" 1994年春季 第41回応用物理学関連連合講演会(1994年3月). (講演予定). (1994)