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[文献書誌] K. Tsubouchi: "Selective Al CVD Technology for ULSI(Invited Paper)" The 2nd Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, Kyongju, Korea. (1995)
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[文献書誌] K. Masu: "Stable Operation of Single Electron Logic Circuits with Feed-Back Loop" Ext. Abst. the 1995 Int. Conf. on Sold State Devices and Materials, Osaka. 1079-1080 (1995)
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[文献書誌] H. Matsuhashi: "Mirror-Like Surface Morphology of CVD-Al on TiN by ClF_3 Pretreatment" Advanced Metallization for ULSI Applications in 1995, Tokyo. (1995)
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[文献書誌] K. Masu: "Multilevel Metallization Based on Al CVD" 1996 Symposium on VLSI Technology, Hawaii, U. S. A.(To be presented). (1996)
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[文献書誌] 坪内 和夫: "選択Al CVD法によるSi基板上へのナノ構造形成" 表面化学. 16(10). 644-650 (1995)
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[文献書誌] 松橋 秀樹: "選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF_3表面クリーニング(II)" 1995年秋季 第56回応用物理学会学術講演会(1995年8月). 26p-ZQ-12 (1995)
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[文献書誌] 後藤 晶央: "選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF_3表面クリーニング(III)" 1995年秋季 第56回応用物理学会学術講演会(1995年8月). 26p-ZQ-13 (1995)
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[文献書誌] 後藤 晶央: "選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF_3表面クリーニング(IV)" 1996年春季 第43回応用物理学関係連合講演会(1996年3月). (講演予定). (1996)
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[文献書誌] 松橋 秀樹: "ClF_3クリーニング後のTiN表面に堆積したCVD Al膜の抵抗率" 1996年春季 第43回応用物理学関係連合講演会(1996年3月). (講演予定). (1996)