研究課題/領域番号 |
07404033
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研究種目 |
一般研究(A)
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研究機関 | 名古屋大学 |
研究代表者 |
正畠 宏祐 名古屋大学, 工学部, 教授 (60132726)
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研究分担者 |
木村 豊明 名古屋大学, 工学部, 助手 (70106631)
服部 忠 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023172)
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キーワード | 触媒化学 / 半導体 / 化学反応動力学 / 分子線 / 表面反応 |
研究概要 |
本年度は、まず表面のキャラクタリゼーションのためにOCI社の低速電子線回折装置(LEED)を購入した。これによって、金属表面及びその表面の吸着種の構造を調べることが出来るようになった。次に、サンプルホールダー回りの改良を行った。これまでは、サンプルは通電することによって加熱が出来るのみであったが、裏面より電子線衝撃加熱の方法採用することによって、グラファイトのように電気伝導度の高いサンプルも加熱できるようになった。また、真空を破らないでサンプルを交換するために改良を行っている。当初予定していた方法とは異なって、サンプルを装置上部から挿入し交換可能なようにという方式を採用した、これによって、LEEDを装着するための空間と、サンプル交換する空間との競合がなくなったが、そのために予定より工期が遅れた。 その間、原子・分子とグラファイト表面との衝突散乱過程の実験を行った。用いた気体試料は、Xe、酸素、窒素、Cl_2、SF_6等である。これまで、分子と金属表面との散乱過程の実験は、多くはないがしばしば行われている。ところが、金属表面は、分子と強い相互作用がある場合が多く、相互作用ポテンシャルは複雑となる。そこで、本研究では化学的な相互作用が期待できないような系である、グラファイトとの分子との相互作用とその衝突における動力学を明らかにするために本実験を行った。結論的に言えば、塩素分子のようにanisotropyの大きい分子が関与する衝突現象においても、並進エネルギーから回転エネルギーや固体の振動エネルギーへの移行は比較的に小さいことが分かった。塩素分子とシリコン(111)面との反応実験を行った。
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