研究課題/領域番号 |
07404033
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研究種目 |
基盤研究(A)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
物理化学
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研究機関 | 名古屋大学 |
研究代表者 |
正畠 宏祐 名古屋大学, 工学部, 教授 (60132726)
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研究分担者 |
木村 豊明 名古屋大学, 工学部, 助手 (70106631)
沢邊 恭一 名古屋大学, 工学部, 講師 (80235473)
服部 忠 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023172)
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研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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キーワード | 分子線法 / エッッチング反応 / シンクロトロン放射 / 触媒反応 / 速度分布 / 固体表面 / 化学反応動力学 / 半導体表面 |
研究概要 |
1)カナダのOCI社製の(BDL600型)の低速電子線回折装置を購入・設置し、固体表面のキャラクタリゼーションできるようになった。2)真空下でサンプルを交換するためのロードロックチェンバーを取り付けた。サンプル室に取り付けているサンプルマニピュレータとのサンプルのやりとりができ、小動力で加熱できるものは良好に作動することが分かった。3)質量分析器を設置した回転検出器室の電動機構を設置し、検出器の電動回転が可能となった。4)Xe、O_2、Cl_2等とグラファイト表面の散乱過程を分子線、飛行時間法を用いて研究し、衝突によるエネルギー移動および動力学に関する詳しい知見を得た。4)Si(111)面の超熱塩素分子線によるエッチング反応の促進の実験を行い、反応速度が衝突エネルギーによって著しく上昇することを見い出した。5)Si(100)面とXeF_2のエッチング反応のシンクロトロン放射光励起効果を、質量分析検出器、飛行時間法、昇温脱離法を組み合わせて研究し、中性反応生成物の同定およびその速度分布の測定を行った。その結果、熱反応よりも8倍も厚いフッ化シリル層ができていることを見い出した。6)酸素、水蒸気雰囲気下で放射光励起することによってダイヤモンド表面微細加工が可能なことを発見し、その反応機構についても明らかにした。7)金属表面吸着種のレーザー励起による反応過程の動力学を分子線法を用いて明らかにした。特に、Pt(111)面上に吸着したメタンに193nmの光を照射すると、表面吸着したメタン分子が光を吸収して光化学反応を引き起こすことを証明した。8)各種触媒表面の各種触媒反応の活性と表面状態との関連について明らかにした。
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