| 研究課題/領域番号 |
13555242
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
南 努 大阪府立大学, 学長 (80081313)
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| 研究分担者 |
松田 厚範 大阪府立大学, 工学研究科, 講師 (70295723)
忠永 清治 大阪府立大学, 工学研究科, 助教授 (90244657)
辰巳砂 昌弘 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 (50137238)
仲間 健一 日本板硝子株式会社, 技術研究所, 主任
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| キーワード | ゾルーゲル法 / 高屈折率 / 透明 / 厚膜 / 微細パターン / 無機-有機複合 / 光照射 / マイクロレンズ |
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| 研究概要 |
以下に当該研究期間中に得られた研究成果の概要を示す。
1.高屈折率透明厚膜材料開発とキャラクタリゼーション
フェニルトリエトキシシラン、ベンジルトリエトキシシランなどを出発原料に用いて種々のシルセスキオキサン・金属酸化物系厚膜を作製した。検討を行った中で酸化物としてチタニアを加えた場合に、最も屈折率が大きくなることがわかった。
2.シルセスキオキサン・チタニア系複合体厚膜材料のキャラクタリゼーション
紫外光照射に伴うシルセスキオキサン・チタニア系複合体厚膜材料の構造、組織およぴ光学的性質の変化について検討を行った。複合化したチタニア成分が紫外光を吸収し、シルセスキオキサンのSi-C結合を開裂すると考察した。
3.高屈折率透明厚膜材料の微細パターニング
ゾルーゲル成型装置を用い型プレスを行うエンポス法によって、フェニルシルセスキオキサン・チタニア系高屈折率透明厚膜の微細パターンを転写できることを確認した。フェニルシルセスキオキサンおよびペンジルシルセスキオキサンの熱融着挙動を利用して融液の表面張力による膨らみ形状を有するマイクロレンズアレイを試作した。さらに、種々のシルセスキオキサン・チタニア系複合体厚膜材料にフォトマスクを介して、紫外光照射を行い有機官能基の種類を変えた場合の微細パターニング特性の変化を調べた。
4.ゾルーゲル微小光学素子の形状評価
ゾルーゲル成型装置などによって試作したパターンは、サプミクロンの高精細な形状を有していることがわかった。また、試作したマイクロレンズアレイは、略球面の滑らかな形状を有し、良好な集光性能を有していることがわかった。
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