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2017 年度 研究成果報告書

1光子検出の感度および線形・高飽和性能を有するCMOS撮像素子の創出

研究課題

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研究課題/領域番号 15H02245
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関東北大学

研究代表者

須川 成利  東北大学, 工学研究科, 教授 (70321974)

研究分担者 黒田 理人  東北大学, 工学研究科, 准教授 (40581294)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワード電子デバイス・機器 / センシングデバイス / 撮像素子 / フォトンカウンティング
研究成果の概要

1光子検出の感度と高飽和性能を有し、極低照度環境から明暗差が5ケタ以上の被写体を、1回の露光で線形応答により明瞭に撮像できるCMOS撮像素子技術の創出を目指し、過去に築いた横型オーバーフロー蓄積容量を有する広ダイナミックレンジCMOS撮像素子技術を発展させた超高感度信号読出し技術の研究に取り組んだ。光電荷を電圧に変換するフローティングディフュージョン容量の極小化と複数のゲインを有する列並列増幅器の導入により入力換算0.47電子の低ノイズ性能を得た。画素出力のマルチサンプリング、熱雑音の低減により、1光子が検出出来る入力換算ノイズ0.2電子と、5万個を超える飽和電子数が両立出来る見込みを得た。

自由記述の分野

固体電子工学

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公開日: 2019-03-29  

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